一种晶圆键合质量检测结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆键合质量检测结构，包括底板和晶圆本体，所述底板的上表面固定连接有L型杆，L型杆的顶部固定连接有红外镜头，所述底板的上表面固定连接有多个第一拉簧，多个所述第一拉簧的顶部固定连接有滑板，所述滑板的上表面设有对晶圆本体进行夹持固定的夹持机构，所述底板的上表面设有对滑板的高度进行调节的调节机构。本实用新型专利技术不仅能够避免晶圆与摄像头之间距离过近，导致画面模糊，提高了检测结构的检测效果，而且能够防止在对晶圆进行检测的过程中晶圆的位置发生偏移，提高了检测结构使用的稳定性，还能够减小夹持机构对晶圆带来的作用力，避免对晶圆造成损伤，提高了检测结构的使用效果。提高了检测结构的使用效果。提高了检测结构的使用效果。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆键合质量检测结构


[0001]本技术涉及泡沫板生产
，尤其涉及一种晶圆键合质量检测结构。

技术介绍

[0002]SOI晶圆由上，下晶圆定位后经压合组件压合而成，压合后，需要对晶圆进行质量检测和评估，以识别晶圆键合过程中产生的气泡等质量缺陷。
[0003]经检索，公开号为CN217035588U的中国专利，公开了晶圆键合红外检测机构，包括工业相机组件、相机转接装置、光源组件、晶圆承载组件，采用普通工业相机拍得图像，相机尺寸得以缩减，使得整个检测机构灵活性增强，并且大大降低成本，其检测方式是光源组件提供稳定、均匀的光照穿透待检测晶圆，在工业相机组件上拍出图像，通过对所拍图像的分析确定晶圆的键合质量是否合格，然而仍存在以下缺陷，其放置板和摄像头不能调节距离，当晶圆距离摄像头过近时，容易产生画面模糊，进而对晶圆的检测造成影响。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种晶圆键合质量检测结构。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0006]一种晶圆键合质量检测结构，包括底板和晶圆本体，所述底板的上表面固定连接有L型杆，L型杆的顶部固定连接有红外镜头，所述底板的上表面固定连接有多个第一拉簧，多个所述第一拉簧的顶部固定连接有滑板，所述滑板的上表面设有对晶圆本体进行夹持固定的夹持机构，所述底板的上表面设有对滑板的高度进行调节的调节机构。
[0007]作为本技术再进一步的方案，所述调节机构包括两个齿条，两个所述齿条均与底板相固定，所述滑板的两侧均转动连接有转轴，转轴的外侧键连接有齿轮，且齿轮与齿条相啮合，所述齿轮的一侧固定连接有多个凸杆，所述滑板的两侧均固定连接有固定架，固定架的一侧开设有滑口，滑口内滑动连接有滑架，滑架的一侧开设有插口，且凸杆与插口插接，所述滑架的一侧固定连接有弹簧，且弹簧与固定架相固定。
[0008]作为本技术再进一步的方案，所述夹持机构包括两个滑槽，两个所述滑槽均开设在滑板的上表面，两个所述滑槽内滑动连接有两个对晶圆本体进行夹持的夹架，其中一个所述滑槽内转动连接有双向螺纹杆，且双向螺纹杆穿过两个夹架并与两个夹架螺纹连接。
[0009]作为本技术再进一步的方案，两个所述夹架的一侧均固定连接有防护垫，另一个所述滑槽内固定连接有导向杆，且导向杆穿过两个夹架。
[0010]作为本技术再进一步的方案，所述双向螺纹杆的一端延伸出滑板固定连接有旋钮，旋钮的一侧固定连接有橡胶垫。
[0011]作为本技术再进一步的方案，所述转轴的一端固定连接有摇把，所述固定架内固定连接有伸缩杆，且伸缩杆与滑架相固定。
[0012]作为本技术再进一步的方案，所述底板的上表面固定连接有两个固定座，两个所述固定座的上表面均固定连接有减震垫，且减震垫与滑板相接触。
[0013]作为本技术再进一步的方案，所述底板的底部固定连接有多个底脚，多个所述底脚的底部均固定连接有防滑垫。
[0014]本技术的有益效果为：
[0015]1.通过调节机构的设置，通过调节机构对滑板的高度进行调节，从而对滑板上晶圆的高度进行调节，从而可以避免晶圆与摄像头之间距离过近，导致画面模糊，提高了检测结构的检测效果。
[0016]2.通过夹持机构的设置，使用夹持机构对晶圆进行夹持，能够防止在对晶圆进行检测的过程中晶圆的位置发生偏移，提高了检测结构使用的稳定性。
[0017]3.通过防护垫的设置，在夹持机构对晶圆进行夹持时，防护垫能够减小夹持机构对晶圆带来的作用力，避免对晶圆造成损伤，提高了检测结构的使用效果。
附图说明
[0018]图1为本技术提出的一种晶圆键合质量检测结构的前侧立体结构示意图；
[0019]图2为本技术提出的一种晶圆键合质量检测结构的后侧立体结构示意图；
[0020]图3为本技术提出的一种晶圆键合质量检测结构的局部放大结构示意图。
[0021]图中：1、底脚；2、底板；3、滑板；4、红外镜头；5、晶圆本体；6、减震垫；7、固定座；8、第一拉簧；9、双向螺纹杆；10、滑槽；11、齿条；12、夹架；13、防护垫；14、旋钮；15、橡胶垫；16、固定架；17、滑架；18、伸缩杆；19、弹簧；20、齿轮；21、凸杆；22、转轴；23、摇把；24、导向杆。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0023]参照图1
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图3，一种晶圆键合质量检测结构，包括底板2和晶圆本体5，底板2的上表面通过螺栓固定有L型杆，L型杆的顶部通过螺栓固定有红外镜头4，底板2的上表面焊接有多个第一拉簧8，多个第一拉簧8的顶部焊接有滑板3，滑板3的上表面设有对晶圆本体5进行夹持固定的夹持机构，底板2的上表面设有对滑板3的高度进行调节的调节机构，将晶圆放在滑板3上后，使用夹持机构对晶圆进行夹持固定，防止在对晶圆进行检测的过程中晶圆的位置发生偏移，然后使调节机构对滑板3的高度进行调节，从而可以避免晶圆与摄像头之间距离过近，导致画面模糊，提高了检测结构的检测效果。
[0024]本技术中，调节机构包括两个齿条11，两个齿条11均与底板2相固定，滑板3的两侧均转动连接有转轴22，转轴22的外侧键连接有齿轮20，且齿轮20与齿条11相啮合，齿轮20的一侧焊接有多个凸杆21，滑板3的两侧均焊接有固定架16，固定架16的一侧开设有滑口，滑口内滑动连接有滑架17，滑架17的一侧开设有插口，且凸杆21与插口插接，滑架17的一侧焊接有弹簧19，且弹簧19与固定架16相固定，拉动滑架17进行移动，滑架17会挤压弹簧19并使伸缩杆18进行收缩，当滑架17移动到与凸杆21脱离后，转动转轴22，转轴22会带动齿轮20进行转动，此时由于齿轮20与齿条11的啮合，会使滑板3向上移动并拉伸第一拉簧8，当
滑板3移动到合适的位置后，停止转动齿轮20，松开滑架17，此时滑架17会通过弹簧19的作用力进行复位，与相对应的凸杆21进行插接，从而对滑板3的位置进行固定，夹持机构包括两个滑槽10，两个滑槽10均开设在滑板3的上表面，两个滑槽10内滑动连接有两个对晶圆本体5进行夹持的夹架12，其中一个滑槽10内转动连接有双向螺纹杆9，且双向螺纹杆9穿过两个夹架12并与两个夹架12螺纹连接，将晶圆放在滑板3上，然后转动双向螺纹杆9，双向螺纹杆9会带动两个夹架12沿着滑槽10进行相向移动，使夹架12对晶圆进行夹持固定，两个夹架12的一侧均粘接有防护垫13，且防护垫13与晶圆本体5相接触，防护垫13能够减小夹架12对晶圆产生的作用力，另一个滑槽10内通过螺栓固定有导向杆24，且导向杆24穿过两个夹架12，导向杆24对夹架12的移动起到导向的作用，双向螺纹杆9本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆键合质量检测结构，包括底板(2)和晶圆本体(5)，其特征在于，所述底板(2)的上表面固定连接有L型杆，L型杆的顶部固定连接有红外镜头(4)，所述底板(2)的上表面固定连接有多个第一拉簧(8)，多个所述第一拉簧(8)的顶部固定连接有滑板(3)，所述滑板(3)的上表面设有对晶圆本体(5)进行夹持固定的夹持机构，所述底板(2)的上表面设有对滑板(3)的高度进行调节的调节机构。2.根据权利要求1所述的一种晶圆键合质量检测结构，其特征在于，所述调节机构包括两个齿条(11)，两个所述齿条(11)均与底板(2)相固定，所述滑板(3)的两侧均转动连接有转轴(22)，转轴(22)的外侧键连接有齿轮(20)，且齿轮(20)与齿条(11)相啮合，所述齿轮(20)的一侧固定连接有多个凸杆(21)，所述滑板(3)的两侧均固定连接有固定架(16)，固定架(16)的一侧开设有滑口，滑口内滑动连接有滑架(17)，滑架(17)的一侧开设有插口，且凸杆(21)与插口插接，所述滑架(17)的一侧固定连接有弹簧(19)，且弹簧(19)与固定架(16)相固定。3.根据权利要求1所述的一种晶圆键合质量检测结构，其特征在于，所述夹持机构包括两个滑槽(10)，两个所述滑槽(10)均开设在滑板(3)的上表面，两个所述滑槽(10)内...

【专利技术属性】
技术研发人员：侯士保，王子龙，
申请(专利权)人：无锡明祥电子有限公司，
类型：新型
国别省市：