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本实用新型公开了一种晶圆键合质量检测结构，包括底板和晶圆本体，所述底板的上表面固定连接有L型杆，L型杆的顶部固定连接有红外镜头，所述底板的上表面固定连接有多个第一拉簧，多个所述第一拉簧的顶部固定连接有滑板，所述滑板的上表面设有对晶圆本体进行...
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