快速接线布气装置及真空镀膜设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种快速接线布气装置及真空镀膜设备，装置包括第一管道接头和第二管道接头、流量计单元，流量计单元包括气体流量计和第一航空插座接头；阀门单元，阀门单元包括电磁阀、中间继电器和第二航空插座接头；箱体，第一管道接头、第二管道接头、第一航空插座接头、第二航空插座接头皆安装在箱体的侧壁上，气体流量计和电磁阀皆安装在箱体内。本申请将气体流量计、电磁阀和中间继电器结合起来形成标准化模块，增加了现场安装的便利性，节省了安装时间，也方便后续更换和维护，提高了生产效率，同时大部分接线和管道位于箱体内部，提升了整体的美观度和简洁度，并且节约了主控柜的空间和成本。主控柜的空间和成本。主控柜的空间和成本。

【技术实现步骤摘要】
快速接线布气装置及真空镀膜设备


[0001]本技术涉及真空镀膜领域，特别涉及一种快速接线布气装置及真空镀膜设备。

技术介绍

[0002]气体流量控制单元是真空镀膜行业中必不可少的组件，位于镀膜设备的工艺部分，用于控制工艺气体的流量，通常由气体流量计和电磁阀及其充气管道组成，在常规的安装过程中，包括机械安装和电器安装部分，先将气体流量计和电磁阀固定在镀膜设备上，再进行电气接线和充气管道的连接，气体流量计有多种针头的电气接线规格，此外电磁阀的电流较大，需要在主控柜内经过中间继电器进行中转，当需要的气体流量控制单元很多时，所有的接线和管道连接都需要临时布置，现场的接线和布气安装非常麻烦，接线和管道排布杂乱也影响整体的外观，而且过多的中间继电器放置在主控柜的底板，造成主控柜体积大、成本高。

技术实现思路

[0003]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种快速接线布气装置及真空镀膜设备，能够将气体流量计、电磁阀和中间继电器结合起来形成标准化模块，方便现场安装，节省安装时间，并且节约了主控柜的空间和成本。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种快速接线布气装置，其特征在于，包括：第一管道接头(110)和第二管道接头(120)；流量计单元(200)，所述流量计单元(200)包括气体流量计(210)和第一航空插座接头(220)，所述第一管道接头(110)通过管道连接所述气体流量计(210)，所述第一航空插座接头(220)电性连接所述气体流量计(210)的信号输出端；阀门单元(300)，所述阀门单元(300)包括电磁阀(310)、中间继电器(320)和第二航空插座接头(330)，所述气体流量计(210)通过管道连接所述电磁阀(310)的一端，所述电磁阀(310)的另一端连接通过管道所述第二管道接头(120)，所述第二航空插座接头(330)电性连接所述中间继电器(320)的输入端，所述中间继电器(320)的输出端电性连接所述电磁阀(310)的控制端；箱体(400)，所述第一管道接头(110)、第二管道接头(120)、第一航空插座接头(220)、第二航空插座接头(330)皆安装在所述箱体(400)的侧壁上，所述气体流量...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈培绍，江志勇，杨诗锋，
申请(专利权)人：中山凯旋真空科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：