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本实用新型公开了一种快速接线布气装置及真空镀膜设备，装置包括第一管道接头和第二管道接头、流量计单元，流量计单元包括气体流量计和第一航空插座接头；阀门单元，阀门单元包括电磁阀、中间继电器和第二航空插座接头；箱体，第一管道接头、第二管道接头、第...
该专利属于中山凯旋真空科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中山凯旋真空科技股份有限公司授权不得商用。

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