一种Ag微棱镜反光结构同侧电极LED及其制作方法技术

本发明专利技术涉及LED技术领域，具体涉及一种Ag微棱镜反光结构同侧电极LED及其制作方法，所述LED自下而上依次是蓝宝石衬底、反光膜层、Ag金属反光层、第一介质膜层、第二介质膜层、P型半导体层、P电极、MQW发光层、N型半导体层、N电极和钝化膜；所述Ag金属反光层呈微棱镜阵列方式排布。本发明专利技术通过在蓝宝石衬底表面加工具有Ag微棱镜反光结构，可提升芯片正面出光亮度，同时通过设置特殊形状和大小的微棱镜，有效提升出光角度及光型。升出光角度及光型。升出光角度及光型。

【技术实现步骤摘要】
一种Ag微棱镜反光结构同侧电极LED及其制作方法


[0001]本专利技术涉及LED
，具体涉及一种Ag微棱镜反光结构同侧电极LED及其制作方法。

技术介绍

[0002]LED（发光二极管）是一种常用的发光器件，通过电子与空穴复合释放能量发光，可高效地将电能转化为光能。随着LED高亮度化和多色化的进展,应用领域也不断扩展，从指示灯到显示屏，再从室外显示屏到中等光通量功率信号灯和特殊照明的白光光源，最后发展到高光通量通用照明光源。对于LED亮度要求，出光角度及光型的不断提升，除对配合LED芯片下游封装企业进行要求外，芯片企业也得从自身芯片工艺进行优化。
[0003]微棱镜结构是一种具有微米级别尺寸的光学元件，通常由透明材料制成，其表面具有微小的棱镜形状。微棱镜结构在光学系统中起到重要的角色，可以实现光束分束、聚焦、反射等作用。根据不同的应用需求，微棱镜结构可以设计成不同的形状和大小，从而满足各种光学要求。微棱镜结构的表面形状为反射面，具有较高的反射性能，可以有效反射光束，实现光束分束和聚焦等功能。微棱镜结构的定向性好，可以将入射光线按本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种Ag微棱镜反光结构同侧电极LED，其特征在于，所述LED自下而上依次是蓝宝石衬底、反光膜层、Ag金属反光层、第一介质膜层、第二介质膜层、P型半导体层、P电极、MQW发光层、N型半导体层、N电极和钝化膜；所述Ag金属反光层呈微棱镜阵列方式排布。2.根据权利要求1所述的一种Ag微棱镜反光结构同侧电极LED，其特征在于，所述微棱镜以共底边的方式平面分布延展，其中底边为等边三角形，边长为5μm，三条棱长均为5μm。3.根据权利要求1所述的一种Ag微棱镜反光结构同侧电极LED，其特征在于，所述反光膜层的材料为聚酯，厚度≥2μm。4.根据权利要求1所述的一种Ag微棱镜反光结构同侧电极LED，其特征在于，所述Ag金属反光层在所述反光膜层上，厚度为0.2μm
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0.4μm。5.根据权利要求1所述的一种Ag微棱镜反光结构同侧电极LED，其特征在于，所述第一介质膜层和所述第二介质膜层的材料均为SiO2，厚度为3μm
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4μm。6.根据权利要求1所述的一种Ag微棱镜反光结构同侧电极LED，其特征在于，所述P型半导体层表面为GaP结构。7.一种如权利要求1
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6任一项所述的Ag微棱镜反光结构同侧电极LED的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：S1.在GaAs衬底上，利用MOCVD生长出LED外延片；S2.在外延片上，利用碘酸粗化溶液进行P型半导体层的表面粗化；S3.在一蓝宝石衬底上，利用光刻
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蚀刻结合技术，先涂上一层光刻胶，然后通过掩模板进行光刻，显影后得到孔阵列，然...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈宝，戴文，王克来，李俊承，林擎宇，熊露，熊珊，
申请(专利权)人：南昌凯捷半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：