本发明专利技术提供了一种直线编码器测试装置及测试方法。直线编码器测试装置包括定尺安装组件、动尺安装组件和单轴运动台；定尺安装组件用于定尺，定尺安装组件设置成可使定尺沿Z向平移和沿Ry向旋转；动尺安装组件用于安装动尺，动尺安装组件设置成可使动尺沿Rx向，Rz向旋转和Y向平移；动尺安装组件安装在单轴运动台上，单轴运动台设置成可使动尺安装组件沿X向往复运动。与现有技术相比，本发明专利技术提供的直线编码器测试装置，使动尺可往复运动，并且动尺与定尺五自由度可调，从而实现对直线编码器在实际安装工况下的测试，以研究动尺与定尺相对位置对直线编码器读数的影响。将测试工作置于振动环境中，还可研究振动环境对直线编码器读数的影响。读数的影响。读数的影响。
【技术实现步骤摘要】
直线编码器测试装置及测试方法
[0001]本专利技术涉及一种编码器测试设备
，尤其涉及一种直线编码器测试装置及测试方法。
技术介绍
[0002]半导体行业中，多使用直线编码器。高精度运动使得直线编码器对它的安装和使用环境提出了更高的要求，但通常由于安装导致的机械误差或振动因素，直线编码器在使用过程会出现跳数和死数现象。研究直线编码器安装的机械误差和振动环境对其工作状态的影响，成为指导直线编码器使用的重要环节。
[0003]然而，现有的编码器测试装置结构都比较简单，无法对直线编码器的动尺与定尺相对位置进行多自由度调整，难以模拟直线编码器在实际安装工况，使得对直线编码器安装的机械误差和允许使用环境的研究难以开展。
技术实现思路
[0004]针对上述现有技术的不足，本专利技术的目的在于提供一种直线编码器测试装置，其可实现动尺与定尺五自由度调整，从而实现对直线编码器在实际安装工况下的测试。
[0005]本专利技术提供的一种直线编码器测试装置，包括定尺安装组件、动尺安装组件和单轴运动台；所述定尺安装组件用于安装直线编码器的定尺，所述定尺安装组件设置成可使所述定尺沿Z向平移和沿Ry向旋转；所述动尺安装组件用于安装直线编码器的动尺，所述动尺安装组件设置成可使所述动尺沿Rx向、Rz向旋转和Y向平移；所述动尺安装组件安装所述单轴运动台上，所述动尺在所述单轴运动台的驱动下可沿X向往复运动。
[0006]优选地，所述动尺安装组件包括第一角度调节组件、第二角度调节组件和平移调节组件；所述第一角度调节组件安装在角度调节安装板上，所述角度调节组件上安装有动尺安装板，所述动尺安装板用于安装所述动尺，所述第一角度调节组件设置成可使所述动尺沿Rz向旋转；所述第二角度调节组件设置成可使所述动尺沿Rx向旋转，所述平移调节组件与所述第二角度调节组件叠层安装，所述平移调节组件设置成可使所述动尺沿Y向平移。
[0007]优选地，所述动尺安装板上还安装有垂直限位块，所述垂直限位块具有与Z向垂直的平面，所述平面用于贴合所述动尺的顶面，以保证动尺与定尺Z向安装高度一致。
[0008]优选地，所述定尺安装组件包括定尺安装底座，所述定尺安装底座上设置有定尺安装及调节板，所述定尺安装及调节板用于安装所述定尺，所述定尺安装及调节板与所述Y向垂直；所述定尺安装及调节板的两端均设置有第一螺孔所述第一螺孔内拧入顶丝可将所述定尺安装及调节板从所述定尺安装座上顶起。
[0009]优选地，拧动顶丝使所述定尺安装及调节板的两端被顶起相同的高度以实现所述定尺沿Z向平移；拧动顶丝使调节所述定尺安装及调节板的两端被顶起不同的高度以实现所述定尺沿Ry向旋转。
[0010]优选地，所述定尺安装底座的上还安装有定尺定位板，所述定尺定位板上开设有
腰孔，锁紧螺钉可在所述腰孔内沿Z向平移；所述定尺安装及调节板的两端还设置有第二螺孔；所述锁紧螺钉穿过所述腰孔拧入所述第二螺孔内以固定所述定尺安装及调节板。
[0011]优选地，还包括工作台，所述定尺安装组件、所述动尺安装组件和所述单轴运动台设置在所述工作台上。
[0012]优选地，所述工作台包括第一工作台和第二工作台；所述动尺安装组件和所述单轴运动台设置在所述第一工作台上；所述定尺安装组件设置在所述第二工作台上。
[0013]优选地，所述第一工作台为振动台，所述第二工作台底部设置有减震调节脚。
[0014]本专利技术还提供了一种直线编码器测试装置的测试方法，通过如上所述的直线编码器测试装置来实施，包括以下步骤：
[0015]将所述测试装置放置到测试环境内；
[0016]调整测试环境参数；
[0017]将直线编码器的动尺安装到动尺安装组件上，将直线编码器的定尺安装到定尺安装组件上；
[0018]调整所述动尺和所述定尺的相对位置；
[0019]开启测试环境，启动单轴运动台，进行测试。
[0020]与现有技术相比，本专利技术提供的直线编码器测试装置，在测试环境下，使动尺可往复运动，并且动尺与定尺五自由度可调，从而实现对直线编码器在实际安装工况下的测试，以研究动尺与定尺相对位置对直线编码器读数的影响。将测试工作置于振动环境中，还可研究振动环境对直线编码器读数的影响。
[0021]上述技术特征可以各种适合的方式组合或由等效的技术特征来替代，只要能够达到本专利技术的目的。
附图说明
[0022]在下文中将基于仅为非限定性的实施例并参考附图来对本专利技术进行更详细的描述。其中：
[0023]图1为本专利技术一实施例提供的直线编码器测试装置的结构示意图；
[0024]图2为本专利技术一实施例提供的动尺安装组件的分解结构示意图；
[0025]图3为本专利技术一实施例提供的定尺安装组件的分解结构示意图。
[0026]附图标记说明：
[0027]1、动尺安装组件；2、定尺安装组件；3、单轴运动台；4、第一工作台；5、第二工作台；51、铝合金架；52、减震调节脚；6、动尺；7、定尺；11、第一角度调节组件；12、第二角度调节组件；13、平移调节组件；14、角度调节安装板；15、动尺安装板；16、垂直限位块；21、定尺安装底座；22、定尺安装及调节板；23、第一螺孔；24、顶丝；25、定尺定位板；26、腰孔；27、锁紧螺钉；28、第二螺孔。
具体实施方式
[0028]为使本专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将对本专利技术的技术方案进行清楚、完整的描述，基于本专利技术中的具体实施方式，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所得到的所有其它实施方式，都属于本专利技术所保护的范围。
[0029]本公开中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的部分。“包括”或者“包含”等类似的词语意指在该词前的要素涵盖在该词后列举的要素，并不排除也涵盖其他要素的可能。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。
[0030]在本公开中，当描述到特定器件位于第一器件和第二器件之间时，在该特定器件与第一器件或第二器件之间可以存在居间器件，也可以不存在居间器件。当描述到特定器件连接其它器件时，该特定器件可以与所述其它器件直接连接而不具有居间器件，也可以不与所述其它器件直接连接而具有居间器件。
[0031]本公开使用的所有术语(包括技术术语或者科学术语)与本公开所属领域的普通技术人员理解的含义相同，除非另外特别定义。还应当理解，在诸如通用字典中定义的术语应当被解释为具有与它们在相关技术的上下文中的含义相一致的含义，而不应用理想化或极度形式化的意义来解释，除非这里明确地这样定义。
[0032]如图1至图3所示，直线编码器测试装置主要包括定尺安装组件2、动尺安装组件1和单轴运动台3。
[0033]定尺安装组件2用于安装直线编码器的定尺7，在图1中，安装后的定尺7沿X向延伸，定尺安装本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种直线编码器测试装置，其特征在于，包括定尺安装组件、动尺安装组件和单轴运动台；所述定尺安装组件用于安装直线编码器的定尺，所述定尺安装组件设置成可使所述定尺沿Z向平移和沿Ry向旋转；所述动尺安装组件用于安装直线编码器的动尺，所述动尺安装组件设置成可使所述动尺沿Rx向、Rz向旋转和Y向平移；所述动尺安装组件安装所述单轴运动台上，所述动尺在所述单轴运动台的驱动下可沿X向往复运动。2.根据权利要求1所述的直线编码器测试装置，其特征在于，所述动尺安装组件包括第一角度调节组件、第二角度调节组件和平移调节组件；所述第一角度调节组件安装在角度调节安装板上，所述角度调节组件上安装有动尺安装板，所述动尺安装板用于安装所述动尺，所述第一角度调节组件设置成可使所述动尺沿Rz向旋转；所述第二角度调节组件设置成可使所述动尺沿Rx向旋转，所述平移调节组件与所述第二角度调节组件叠层安装，所述平移调节组件设置成可使所述动尺沿Y向平移。3.根据权利要求2所述的直线编码器测试装置，其特征在于，所述动尺安装板上还安装有垂直限位块，所述垂直限位块具有与Z向垂直的平面，所述平面用于贴合所述动尺的顶面，以保证动尺与定尺Z向安装高度一致。4.根据权利要求1所述的直线编码器测试装置，其特征在于，所述定尺安装组件包括定尺安装底座，所述定尺安装底座上设置有定尺安装及调节板，所述定尺安装及调节板用于安装所述定尺，所述定尺安装及调节板与所述Y向垂直；所述定尺安装及调节板的两端均设置有第一螺孔所述第一螺孔内拧入顶丝可将所述定尺安装及调节板从所述定尺安装座上...
【专利技术属性】
技术研发人员：胡海，黄承锦，
申请(专利权)人：北京优微精密测控技术研究有限公司，
类型：发明
国别省市：
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