本发明提供了一种直线编码器测试装置及测试方法。直线编码器测试装置包括定尺安装组件、动尺安装组件和单轴运动台；定尺安装组件用于定尺，定尺安装组件设置成可使定尺沿Z向平移和沿Ry向旋转；动尺安装组件用于安装动尺，动尺安装组件设置成可使动尺沿...

本发明提供一种伺服调整系统，涉及半导体制造设备领域。该伺服调整系统，包括自下而上依次设置的基板、旋转动板和升降动板，基板上设置有旋转伺服机构，旋转伺服机构能够调整旋转动板的角度；旋转动板上设置有升降伺服机构，升降动板搭设于升降伺服机构，...

本发明涉及信号控制技术领域，本发明提供的一种用于工件台的分级控制方法、系统、设备及存储介质，该方法通过获取工件台的故障码信息；对故障码信息进行解析，得到解析结果；当根据解析结果确定所述工件台的故障等级为一级故障时，基于一级控制策略控制所...