一种高精度晶圆分选设备及其分选方法技术

本发明专利技术公开了一种高精度晶圆分选设备及其分选方法，包括底座，底座的顶部安装有送料机构。本发明专利技术通过安装有送料机构，工作人员可以根据实际情况的需要在支座和晶圆架的支撑下启动电机，使电机带丝杆转动，同时丝杆会利用旋转动力和与螺纹环的螺纹作用推动螺纹环前后移动，使螺纹环在外力的作用下通过支杆推动推头，使推头可以在外力的作用下推动推杆前后移动，同时推杆会在其中一个晶圆架的支撑导向作用下带动另一个晶圆架一同左右移动，同时该晶圆架则会带动导杆沿着导槽一同移动，从而使两个晶圆架之间的间距可以移动到合适大小，使两个晶圆架与插槽配合可以放置相应尺寸的晶圆，从而使该装置可以方便放置不同尺寸的检测合格的晶圆。测合格的晶圆。测合格的晶圆。

【技术实现步骤摘要】
一种高精度晶圆分选设备及其分选方法


[0001]本专利技术涉及晶圆分选设备
，具体为一种高精度晶圆分选设备及其分选方法。

技术介绍

[0002]晶圆分选设备是在晶圆检测分选工作中必不可少的装置之一，其能够利用机械臂移动晶圆的位置，使摄像头和检测头配合可以对晶圆进行检测工作，检测合格的晶圆则会放置到晶圆架之间送出到外界供人们拿取移动，而不合格的晶圆则会丢弃回收，晶圆的尺寸具有多样性，有鉴于此，传统的装置不够完善，没有可以方便放置多种尺寸的晶圆的设施，只能放置固定尺寸的晶圆，比较死板，而一种高精度晶圆分选设备及其分选方法能够为上述问题提供解决方案。
[0003]现有的晶圆分选设备存在的缺陷是：
[0004]1、专利文件：CN113649297A，公开了一种高精度晶圆分选机，“包括箱体，箱体中设置有放置台，放置台上设置有分选机构，分选机构包括吸附机构，放置台上转动连接有转动座，吸附机构设置在转动座上，放置台上设置有平移机构，平移机构上设置有分选卡匣，平移机构用于带动分选卡匣平移，分选卡匣用于安装晶圆，分选机构用于分选设置在分选卡匣上的晶圆。本申请具有提升分选机构选取晶圆环上晶粒的精度的效果。”没有可以方便放置多种尺寸的晶圆的设施，只能放置固定尺寸的晶圆，降低了晶圆放置支撑的灵活性。
[0005]2、传统的装置不够完善，没有可以方便精确移动需要检测的晶圆的检测位置的设施，只能利用机械臂进行移动，不够精确。
[0006]3、传统的装置不够完善，没有可以方便收集移动检测不合格的晶圆的设施，比较麻烦。
[0007]4、传统的装置不够完善，没有可以防止键盘被误触的设施，降低了安全性。

技术实现思路

[0008]本专利技术的目的在于提供一种高精度晶圆分选设备及其分选方法，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0009]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种高精度晶圆分选设备及其分选方法，包括底座，底座的顶部安装有送料机构；
[0010]所述送料机构的顶部安装有支座，所述支座的一侧开设有导槽，所述导槽的内侧放置有导杆，所述导杆的左侧和支座的右侧安装有晶圆架，两个所述晶圆架相互靠近的一面开设有插槽，其中一个所述晶圆架的一侧安装有推杆，且推杆贯穿另一个晶圆架，另一个所述晶圆架的一侧安装有电机，所述电机的输出端安装有丝杆，所述丝杆的外侧螺纹安装有螺纹环，所述螺纹环的顶部安装有支杆，所述支杆的一侧安装有推头，且推头与推杆相连接。
[0011]优选的，所述底座的底部安装有万向轮，底座的顶部安装有顶框，顶框的顶部安装
有警示灯，顶框的正面贯穿安装有面板，面板的正面安装有显示屏，面板的正面安装有多个开关，开关位于显示屏的底部，面板的正面管擦在有托盘，托盘的顶部放置有键盘，托盘的顶部放置有鼠标，且鼠标位于键盘的一侧。
[0012]优选的，所述送料机构的顶部安装有托板，且托板位于支座的底部，底座的顶部安装有机械臂，且机械臂位于送料机构的左侧，底座的顶部通过支撑部件安装有摄像头，且摄像头位于机械臂的背部，底座的顶部通过支撑部件安装有检测头，且检测头位于摄像头的背部。
[0013]优选的，所述底座的顶部安装有两个支脚，两个支脚相互远离的一面安装有固板，两个支脚的内侧分别安装有两个轴座，其中一个支脚的一侧安装有马达，轴座的内部贯穿安装有传动杆，且马达的输出端与传动杆相连接，传动杆的外侧装套有两个链轮，两个支脚的相互靠近的一面安装有导框，链轮的外侧啮合装套有链条，且链条位于导框的内侧。
[0014]优选的，每两个所述链轮的外侧能够啮合装套有两个链条，两个所述链条之间安装有推块；
[0015]滑座位于导框的顶部，滑座的顶部开设有定位槽。
[0016]优选的，所述底座的顶部安装有两个安装板，安装板的内部贯穿开设有安装孔，两个安装板之间相互连接安装有收纳盒，收纳盒的正面和一侧贯穿开设有通槽，收纳盒的顶部开设有斜槽，收纳盒的内侧放置有储盒，且储盒贯穿通槽，储盒的正面安装有拉把。
[0017]优选的，所述托盘的顶部安装有框板，框板位于键盘的外侧，框板的顶部放置有顶板，顶板的顶部镶嵌安装有铁盘，框板的两侧安装有旋杆，旋杆的外侧安装有N板，且N板位于框板的正面，N板的两侧安装有绕杆，绕杆的外侧安装有H板，H板的两侧安装有另外两个绕杆，另外两个绕杆的外侧安装有盖板，盖板的底部安装有连接带，连接带的正面安装有磁铁。
[0018]优选的，晶圆分选设备的使用方法如下：
[0019]S1、首先工作人员可以根据实际情况的需要利用万向轮将该装置移动到工作地点处，并通过万向轮在底座的支撑下将该装置稳固放置到工作地点处，并为该装置通电，随后操作开关启动该装置，并打开显示屏并根据显示屏上显示的内容为参考操作键盘和鼠标调控该装置的运行参数并将需要检测的晶圆放置到底座的顶部且位于护栏的内侧对应位置处；
[0020]S2、使机械臂可以移动并抓取放置的需要检测的晶圆，并将需要检测的晶圆依次移动到摄像头和检测头的底部，使摄像头可以对晶圆进行画面拍摄，同时将拍摄到的画面传输到显示屏上显示出来供工作人员参考，同时检测头会对晶圆进行检测探测工作，进而使检测头和摄像头配合对晶圆进行检测，检测完成后且合格的晶圆则会被机械臂夹持并移动放置到两个晶圆架之间，并使晶圆架利用插槽进行定位放置，随后启动送料机构，使送料机构通过托板带动支座和晶圆架向正面移动到靠近顶框正面的边缘处供工作人员拿取；
[0021]S3、在检测前工作人员需要控制机械臂将需要检测的晶圆在滑座的支撑下放置到合适位置处的定位槽的内侧，并在支脚的支撑下启动马达，使马达带动其输出端安装的传动杆在轴座的支撑下转动，同时传动杆会带动链条一同转动，链条会利用啮合作用推动链条在导框的内侧移动，同时链条会根据链轮的旋转方向带动推块一同左右移动，同时推块会在外力的作用下带动滑座一同左右移动，使滑座利用定位槽的定位支撑作用带动放置的
需要检测的晶圆一同左右移动，使晶圆可以移动到合适位置处利用摄像头和检测头进行检测，从而使该装置可以方便工作人员精确调节需要检测的晶圆的检测位置；
[0022]S4、之后工作人员需要控制机械臂移动检测后且不合格的晶圆移动，使不合格的晶圆移动放置到斜槽的内侧，并在安装板的支撑下将使晶圆沿着斜槽利用倾斜角度滑落到收纳盒的内侧，滑落到收纳盒内侧的晶圆则会在重力的作用下落到储盒的内侧储存，工作完成后工作人员可以根据实际情况的需要握住拉把向正面拉动储盒，使储盒在外力的作用下贯穿通槽从收纳盒的内侧拔出到外界，从而使工作人员可以通过储盒移动分选收集后的不合格晶圆进行处理；
[0023]S5、最后工作人员可以在不使用键盘时拉动连接带，使连接带在外力的作用下带动盖板以另外两个绕杆为圆心逆时针转动，同时会利用外力通过另外两个绕杆带动H板以N板两侧安装的绕杆为圆心逆时针转动，使H板可以与N板的底部平行，同时使盖板转动后放置到框板的顶部，之后在顶板的支撑下移动连接带，使连接带带动磁铁放置到铁盘的顶部，使磁铁利用本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高精度晶圆分选设备及其分选方法，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的顶部安装有送料机构(11)；所述送料机构(11)的顶部安装有支座(28)，所述支座(28)的一侧开设有导槽(29)，所述导槽(29)的内侧放置有导杆(30)，所述导杆(30)的左侧和支座(28)的右侧安装有晶圆架(31)，两个所述晶圆架(31)相互靠近的一面开设有插槽(32)，其中一个所述晶圆架(31)的一侧安装有推杆(33)，且推杆(33)贯穿另一个晶圆架(31)，另一个所述晶圆架(31)的一侧安装有电机(34)，所述电机(34)的输出端安装有丝杆(35)，所述丝杆(35)的外侧螺纹安装有螺纹环(36)，所述螺纹环(36)的顶部安装有支杆(37)，所述支杆(37)的一侧安装有推头(38)，且推头(38)与推杆(33)相连接。2.根据权利要求1所述的一种高精度晶圆分选设备及其分选方法，其特征在于：所述底座(1)的底部安装有万向轮(2)，底座(1)的顶部安装有顶框(3)，顶框(3)的顶部安装有警示灯(4)，顶框(3)的正面贯穿安装有面板(5)，面板(5)的正面安装有显示屏(6)，面板(5)的正面安装有多个开关(7)，开关(7)位于显示屏(6)的底部，面板(5)的正面管擦在有托盘(8)，托盘(8)的顶部放置有键盘(9)，托盘(8)的顶部放置有鼠标(10)，且鼠标(10)位于键盘(9)的一侧。3.根据权利要求2所述的一种高精度晶圆分选设备及其分选方法，其特征在于：所述送料机构(11)的顶部安装有托板(12)，且托板(12)位于支座(28)的底部，底座(1)的顶部安装有机械臂(13)，且机械臂(13)位于送料机构(11)的左侧，底座(1)的顶部通过支撑部件安装有摄像头(15)，且摄像头(15)位于机械臂(13)的背部，底座(1)的顶部通过支撑部件安装有检测头(16)，且检测头(16)位于摄像头(15)的背部。4.根据权利要求3所述的一种高精度晶圆分选设备及其分选方法，其特征在于：所述底座(1)的顶部安装有两个支脚(17)，两个支脚(17)相互远离的一面安装有固板(18)，两个支脚(17)的内侧分别安装有两个轴座(19)，其中一个支脚(17)的一侧安装有马达(20)，轴座(19)的内部贯穿安装有传动杆(21)，且马达(20)的输出端与传动杆(21)相连接，传动杆(21)的外侧装套有两个链轮(22)，两个支脚(17)的相互靠近的一面安装有导框(23)，链轮(22)的外侧啮合装套有链条(24)，且链条(24)位于导框(23)的内侧。5.根据权利要求4所述的一种高精度晶圆分选设备及其分选方法，其特征在于：每两个所述链轮(22)的外侧能够啮合装套有两个链条(24)，两个所述链条(24)之间安装有推块(25)；滑座(26)位于导框(23)的顶部，滑座(26)的顶部开设有定位槽(27)。6.根据权利要求4所述的一种高精度晶圆分选设备及其分选方法，其特征在于：所述底座(1)的顶部安装有两个安装板(39)，安装板(39)的内部贯穿开设有安装孔(40)，两个安装板(39)之间相互连接安装有收纳盒(41)，收纳盒(41)的正面和一侧贯穿开设有通槽(42)，收纳盒(41)的顶部开设有斜槽(43)，收纳盒(41)的内侧放置有储盒(44)，且储盒(44)贯穿通槽(42)，储盒(44)的正面安装有拉把(45)。7.根据权利要求6所述的一种高精度晶圆分选设备及其分选方法，其特征在于：所述托盘(8)的顶部安装有框板(46)，框板(46)位于键盘(9)的外侧，框板(46)的顶部放置有顶板(47)，顶板(47)的顶部镶嵌安装有铁盘(48)，框板(46)的两侧安装有旋杆(49)，旋杆(49)的外侧安装有N板(50)，且N板(50)位于框板(46)的正面，N板(50)的两侧安装有绕杆(51)，绕
杆(51)的外侧安装有H板(52)，H板(52)的两侧安装有另外两个绕杆(51)，另外两个绕杆(51)的外侧安装有盖板(53)，盖板(53)的底部安装有连接带(54)，连接带(54)的正面安装有磁铁(55)。8.根据权利要求1
‑
7任意一项所述的一种高精度晶圆分选设备及其分选方法的使用方法，晶圆分选设备的使用方法如下：S1、首先工作人员可以根据实际情况的需...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘劲松，刘泽洋，
申请(专利权)人：江苏弘琪工业自动化有限公司，
类型：发明
国别省市：