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本发明公开了一种高精度晶圆分选设备及其分选方法，包括底座，底座的顶部安装有送料机构。本发明通过安装有送料机构，工作人员可以根据实际情况的需要在支座和晶圆架的支撑下启动电机，使电机带丝杆转动，同时丝杆会利用旋转动力和与螺纹环的螺纹作用推动螺纹...
该专利属于江苏弘琪工业自动化有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏弘琪工业自动化有限公司授权不得商用。

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