导电网格的制备方法、薄膜传感器及其制备方法技术

技术编号:39315205 阅读:19 留言:0更新日期:2023-11-12 15:58
本公开提供一种导电网格的制备方法、薄膜传感器及其制备方法,属于电子器件技术领域。本公开的导电网格的制备方法,其包括:提供一介质基板;通过构图工艺,在所述介质基板上形成第一图案层;所述第一图案层具有网格状第一槽部;在所述第一图案层背离所述介质基板的一侧形成第一介质层,以形成网格状的第二槽部;其中,所述第一介质层的材料与所述第一图案层的材料中一者为有机材料,另一者为无机材料;通过构图工艺,在所述第一介质层背离所述介质基板的一侧形成位于所述第二槽部的导电材料,以形成导电网格。以形成导电网格。以形成导电网格。以形成导电网格。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员:贾孟文周健曲峰李必奇
申请(专利权)人:北京京东方技术开发有限公司
类型:发明
国别省市:

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