一种多轴高精度空间运动平台制造技术

本发明专利技术公开了一种多轴高精度空间运动平台，包括第一线性机构和第二线性机构；以笛卡尔坐标系为基准，所述第一线性机构、所述第二线性机构分别输出X、Z轴向的第一线性自由度和第二线性自由度；一、高精度运动：该技术采用多轴高精度空间运动平台，通过多个线性模组和旋转执行器的组合实现对光学台的多维度运动和位置调整。二、平滑连贯调节：传统的并联机器人形式在光学台倾斜动作中可能存在冗余、不连贯和误差的问题。而通过引入空间调节机构的特殊布置与结构特征，该技术解决了这些问题。空间调节机构采用圆锥形排布的第三线性自由度，使得光学台的倾斜动作更加平滑和连贯，减小了误差的引入。差的引入。差的引入。

【技术实现步骤摘要】
一种多轴高精度空间运动平台


[0001]本专利技术涉及光刻机
，特别涉及一种多轴高精度空间运动平台。

技术介绍

[0002]光刻机的多维运动平台是用于实现光学透镜系统的位置和角度调整的设备。它通常由多个自由度的运动模块组成，以实现在不同方向上的运动和定位控制。光刻机中的光学透镜系统需要精确的位置和角度来确保准确的成像和光刻过程。多维运动平台提供了对光学透镜的微调功能，以使其达到所需的位置和角度。通过运动平台的控制，可以实现对光学透镜的平移、旋转和倾斜等运动。
[0003]多维运动平台的控制通常由驱动装置来实现，这可以是电机、气动装置或其他类型的执行器。驱动装置接收控制信号，并根据信号的要求来调整运动平台的位置和角度。通过精确的控制，运动平台可以将光学透镜精确定位到所需的位置，从而实现光刻机的校准和优化。在光刻机的操作过程中，运动平台可用于校准光学透镜的焦距、调整成像平面的位置、纠正光学系统中的像差等。通过对光学透镜系统的微调，可以获得更好的成像质量和精度，提高光刻过程的效果。
[0004]现有的光刻机的多维运动平台中，为了本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多轴高精度空间运动平台，其特征在于，包括第一线性机构(1)和第二线性机构(2)；所述第一线性机构(1)、所述第二线性机构(2)分别输出X、Z轴向的第一线性自由度和第二线性自由度，所述第一线性自由度调节所述第二线性自由度的行程起始点位；所述第二线性自由度连接驱动于空间调节机构(3)作方位调节，所述空间调节机构(3)包括以Y轴为旋转轴的环形阵列式排布的至少三个第三线性自由度，所有所述第三线性自由度呈圆锥形排布，所述第三线性自由度连接作用于光学台(302)作万向角度调节。2.根据权利要求1所述的多轴高精度空间运动平台，其特征在于：所述空间调节机构(3)包括架体(301)以及安装于所述架体(301)上的线性模组(304)，所述线性模组(304)驱动铰臂(305)作升降调节输出所述第三线性自由度，所述线性模组(304)由第三旋转执行器(303)驱动；所述铰臂(305)的一端部与所述光学台(302)球形铰接。3.根据权利要求2所述的多轴高精度空间运动平台，其特征在于：所述线性模组(304)和所述铰臂(305)之间呈锐角状布置，所有所述铰臂(305)相互之间共同呈圆锥形排布。4.根据权利要求2所述的多轴高精度空间运动平台，其特征在于：所述线性模组(304)为第三滚珠丝杠，所述第三旋转执行器(303)为第三伺服...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈庆生，王聪，张建坤，
申请(专利权)人：苏州盛拓半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：