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本发明公开了一种多轴高精度空间运动平台，包括第一线性机构和第二线性机构；以笛卡尔坐标系为基准，所述第一线性机构、所述第二线性机构分别输出X、Z轴向的第一线性自由度和第二线性自由度；一、高精度运动：该技术采用多轴高精度空间运动平台，通过多个线...
该专利属于苏州盛拓半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州盛拓半导体科技有限公司授权不得商用。

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