一种激光蚀刻装置及其蚀刻方法制造方法及图纸

技术编号:39298280 阅读:7 留言:0更新日期:2023-11-07 11:06
本发明专利技术涉及激光蚀刻技术领域,具体为一种激光蚀刻装置,包括有工作台,工作台上表面设置有放料板,放料板上设置有若干条限位槽,限位槽中设置有定位组件,放料板的上方设置活动架,活动架上设置有低烟尘的激光蚀刻机构。一种激光蚀刻装置的蚀刻方法,包括有以下步骤:S1:设定光路;S2:上料;S3:蚀刻;S4:除烟尘。本发明专利技术提出的一种激光蚀刻装置及其蚀刻方法,在对工件进行激光蚀刻的时候,因设置有定位组件,固定工件更加方便,防止工件在加工时活动,且又因设置有低烟尘的激光蚀刻机构,可大大降低蚀刻时工作环境的烟尘,避免污染工作环境、腐蚀机器的情况发生。腐蚀机器的情况发生。腐蚀机器的情况发生。

【技术实现步骤摘要】
一种激光蚀刻装置及其蚀刻方法


[0001]本专利技术涉及激光蚀刻
,具体为一种激光蚀刻装置及其蚀刻方法。

技术介绍

[0002]激光蚀刻机是一种采用高能脉冲激光束在零件表面刻蚀出宽度为10~505μm、深度为5~1001μm的微细小槽,以改善材料表面润滑特性的技术,激光蚀刻的基本原理是将高光束质量的小功率激光聚焦在极小的光点上,在焦点上形成高功率密度,使材料瞬间蒸发,形成孔、槽、槽,形成极小的功率密度,激光微纳切割、切割、腐蚀、钻孔等工艺,以激光非接触方式加工,高柔性、高速、无噪声、热影响区小、可聚焦至激光波长级的极小光斑等。
[0003]现有的激光蚀刻装置在对物件进行加工的时候,激光蚀刻处会产生大量的烟尘,既污染工作环境,也会腐蚀机器,因此需要进行改进。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种激光蚀刻装置及其蚀刻方法,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的,本专利技术提供如下技术方案:一种激光蚀刻装置,包括有工作台,所述工作台上表面设置有放料板,所述放料板上设置有若干条限位槽,所述限位槽中设置有定位组件,所述放料板的上方设置活动架,所述活动架上设置有低烟尘的激光蚀刻机构。
[0006]优选的,所述定位组件包括有活动柱,活动柱的底部设置有卡板,在限位槽的底部设置有活动卡槽,卡板活动卡接在活动卡槽内,活动柱上螺接有扭柱,扭柱上设置有压板。
[0007]优选的,所述压板的底面设置有防滑橡胶垫。
[0008]优选的,所述放料板的两侧各设置有一条侧槽,侧槽内设置有第一丝杆,工作台的一端侧壁上安装有第一电机,第一电机的输出端和第一丝杆相连接。
[0009]优选的,所述活动架的两端底部各设置有一根支柱,支柱的底端位于侧槽中,支柱的底端设置有螺纹孔,第一丝杆穿过支柱并且与螺纹孔配合连接。
[0010]优选的,所述激光蚀刻机构包括有激光蚀刻头,激光蚀刻头的上方连接有滑块,在活动架上设置有顶槽,滑块滑动设置于顶槽中,活动架的一端安装有第二电机,第二电机的输出端连接有第二丝杆,滑块的中间设置有螺纹套筒,第二丝杆贯穿滑块并且与螺纹套筒配合连接。
[0011]优选的,所述激光蚀刻头的底部连接有固定罩,固定罩的两侧各设置有一个吸尘管,吸尘管插入固定罩内部的开口朝下,固定罩的内部一端设置有风扇,吸尘管的侧壁上连接有排气软管,在吸尘管的内部设置有过滤板,固定罩的顶部安装有伸缩杆,伸缩杆的底端连接有刮板,刮板紧贴在过滤板上。
[0012]优选的,所述吸尘管的底部设置有一个缺口,缺口位于刮板的下方,缺口内设置有封板,封板为T型结构,封板底端为磁片并吸附在吸尘管的底面。
[0013]一种激光蚀刻装置的蚀刻方法,包括有以下步骤:S1:设定光路,根据需要蚀刻的
图案设定激光蚀刻机构的运动路线;
[0014]S2:上料,将待加工的工件放在放料板上,并使用定位组件将其定位安装;
[0015]S3:蚀刻,激光蚀刻头发射激光对下方物料进行激光蚀刻,第一电机启动带动第一丝杆转动,可使得支柱在侧槽内移动,进而使得活动架带动激光蚀刻头前后移动,第二电机启动带动第二丝杆转动,进而使得滑块在顶槽内移动,进而使得激光蚀刻头左右移动,即可蚀刻出相应的图案;
[0016]S4:除烟尘,在蚀刻的时候,激光蚀刻头发射的激光在接触工件的时候会产生大量的烟尘,固定罩将蚀刻处罩住,风扇启动可使得吸尘管将蚀刻处的烟尘、颗粒杂质吸入,大颗粒杂质被过滤板滤下后通过排气软管排走,当设备使用一段时间后,过滤板即将饱和,将封板取下,伸缩杆伸长可使得刮板下降将过滤板表面的杂质刮去,保持过滤板的通透性。
[0017]与现有技术相比,本专利技术的有益效果是:
[0018]本专利技术提出的一种激光蚀刻装置及其蚀刻方法,在对工件进行激光蚀刻的时候,因设置有定位组件,固定工件更加方便,防止工件在加工时活动,且又因设置有低烟尘的激光蚀刻机构,可大大降低蚀刻时工作环境的烟尘,避免污染工作环境、腐蚀机器的情况发生。
附图说明
[0019]图1为本专利技术装置结构示意图;
[0020]图2为本专利技术定位组件结构图;
[0021]图3为本专利技术激光蚀刻机构结构图;
[0022]图4为图3中A处放大图。
[0023]图中:工作台1、放料板2、限位槽3、活动柱4、卡板5、扭柱6、压板7、侧槽8、活动架9、支柱10、第一电机11、第一丝杆12、顶槽13、滑块14、第二电机15、第二丝杆16、激光蚀刻头17、固定罩18、吸尘管19、风扇20、过滤板21、排气软管22、伸缩杆23、刮板24、封板25。
具体实施方式
[0024]下面将结合本专利技术实施例中的附图,对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本专利技术保护的范围。
[0025]请参阅图1至图4,本专利技术提供一种技术方案:一种激光蚀刻装置,包括有工作台1,工作台1上表面设置有放料板2,放料板2上设置有若干条限位槽3,限位槽3中设置有定位组件,定位组件包括有活动柱4,活动柱4的底部设置有卡板5,在限位槽3的底部设置有活动卡槽,卡板5活动卡接在活动卡槽内,连接有一定阻力,不会随意活动,活动柱4上螺接有扭柱6,扭柱6上设置有压板7,压板7的底面设置有防滑橡胶垫。在上料的时候,将工件放在放料板2上指定位置,然后将活动柱4移动至工件的四边并抵住,然后拧动卡板5使其下降,压板7可将工件紧紧压住,即可将工件固定安装。
[0026]放料板2的上方设置活动架9,活动架9上设置有低烟尘的激光蚀刻机构。
[0027]放料板2的两侧各设置有一条侧槽8,侧槽8内设置有第一丝杆12,工作台1的一端
侧壁上安装有第一电机11,第一电机11的输出端和第一丝杆12相连接,活动架9的两端底部各设置有一根支柱10,支柱10的底端位于侧槽8中,支柱10的底端设置有螺纹孔,第一丝杆12穿过支柱10并且与螺纹孔配合连接;激光蚀刻机构包括有激光蚀刻头17,激光蚀刻头17的上方连接有滑块14,在活动架9上设置有顶槽13,滑块14滑动设置于顶槽13中,活动架9的一端安装有第二电机15,第二电机15的输出端连接有第二丝杆16,滑块14的中间设置有螺纹套筒,第二丝杆16贯穿滑块14并且与螺纹套筒配合连接。第一电机11启动带动第一丝杆12转动,可使得支柱10在侧槽8内移动,进而使得活动架9带动激光蚀刻头17前后移动,第二电机15启动带动第二丝杆16转动,进而使得滑块14在顶槽13内移动,进而使得激光蚀刻头17左右移动,可使激光蚀刻头17按照设定的路线行进,从而蚀刻处所需图案。
[0028]激光蚀刻头17的底部连接有固定罩18,固定罩18的两侧各设置有一个吸尘管19,吸尘管19插入固定罩18内部的开口朝下,固定罩18的内部一端设置有风扇20,吸尘本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种激光蚀刻装置,包括有工作台(1),其特征在于:所述工作台(1)上表面设置有放料板(2),所述放料板(2)上设置有若干条限位槽(3),所述限位槽(3)中设置有定位组件,所述放料板(2)的上方设置活动架(9),所述活动架(9)上设置有低烟尘的激光蚀刻机构。2.根据权利要求1所述的一种激光蚀刻装置,其特征在于:所述定位组件包括有活动柱(4),活动柱(4)的底部设置有卡板(5),在限位槽(3)的底部设置有活动卡槽,卡板(5)活动卡接在活动卡槽内,活动柱(4)上螺接有扭柱(6),扭柱(6)上设置有压板(7)。3.根据权利要求2所述的一种激光蚀刻装置,其特征在于:所述压板(7)的底面设置有防滑橡胶垫。4.根据权利要求1所述的一种激光蚀刻装置,其特征在于:所述放料板(2)的两侧各设置有一条侧槽(8),侧槽(8)内设置有第一丝杆(12),工作台(1)的一端侧壁上安装有第一电机(11),第一电机(11)的输出端和第一丝杆(12)相连接。5.根据权利要求1所述的一种激光蚀刻装置,其特征在于:所述活动架(9)的两端底部各设置有一根支柱(10),支柱(10)的底端位于侧槽(8)中,支柱(10)的底端设置有螺纹孔,第一丝杆(12)穿过支柱(10)并且与螺纹孔配合连接。6.根据权利要求1所述的一种激光蚀刻装置,其特征在于:所述激光蚀刻机构包括有激光蚀刻头(17),激光蚀刻头(17)的上方连接有滑块(14),在活动架(9)上设置有顶槽(13),滑块(14)滑动设置于顶槽(13)中,活动架(9)的一端安装有第二电机(15),第二电机(15)的输出端连接有第二丝杆(16),滑块(14)的中间设置有螺纹套筒,第二丝杆(16)贯穿滑块(14)并且与螺纹套筒配合连接。7.根据权利要求6所述的一种激光蚀刻装置,其特征在于:所述激光蚀刻头(17)的底部连接有固定罩(18),固定罩(18)...

【专利技术属性】
技术研发人员:苏伟陆永荣刘洁
申请(专利权)人:深圳市志凌伟业光电有限公司
类型:发明
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1