料盘搬运系统及料盘搬运方法技术方案

技术编号:39280744 阅读:13 留言:0更新日期:2023-11-07 10:55
本申请涉及一种料盘搬运系统及料盘搬运方法,包括:供料料仓;卸载料仓,卸载料仓用于储存已测料盘;供料托盘,每个供料托盘能够在第二方向上相对于供料料仓在装卸料盘的第一装卸位置与抓取位于其上的待测料盘中的产品的抓取位置之间移动;卸载托盘,每个卸载托盘能够在第二方向相对于卸载料仓在装卸料盘的第二装卸位置与放置产品于位于其上的空料盘中的放置位置之间移动;相互独立的第一搬运机构、第二搬运机构及第三搬运机构,第一搬运机构能够抓取供料料仓中的待测料盘并装载于供料托盘上,第二搬运机构能够抓取位于供料托盘上的空料盘并装载于卸载托盘上,第三搬运机构能够抓取位于卸载托盘上的已测料盘并放置于卸载料仓中。卸载料仓中。卸载料仓中。

【技术实现步骤摘要】
料盘搬运系统及料盘搬运方法


[0001]本申请涉及分选测试设备
,特别是涉及一种料盘搬运系统及料盘搬运方法。

技术介绍

[0002]由于半导体器件具有体积小、数量多及易损坏等特点,因此在分选测试前后需要将其盛放在料盘上,通过料盘搬运系统实现料盘的流转,以实现半导体器件的批量输送。
[0003]传统的料盘搬运系统,通常只设置一个搬运机构来实现料盘在料仓、供料托盘及卸载托盘之间的流转。当料仓与托盘(包括供料托盘与卸载托盘)的数量较少时,通过一个搬运机构搬运料盘尚且满足要求。但是,随着半导体器件检测项目的增多以及半导体器件检测结果的不断细化,托盘及料仓也随之增多,当出现多个托盘同时需要取放料盘时,采用一个搬运机构无法同时完成料盘在多个托盘的流转,从而导致工作效率较低。

技术实现思路

[0004]基于此,有必要针对传统的料盘搬运系统工作效率较低问题,提供一种能够提高工作效率的料盘搬运系统及料盘搬运方法。
[0005]一种料盘搬运系统,包括:
[0006]供料料仓,用于储存待测料盘;
[0007]卸载料仓,在第一方向上位于所述供料料仓的其中一侧,所述卸载料仓用于储存已测料盘;
[0008]供料托盘,在与所述第一方向相交的第二方向上位于所述供料料仓的上方,每个所述供料托盘能够在所述第二方向上相对于所述供料料仓在装卸料盘的第一装卸位置与抓取位于其上的待测料盘中的产品的抓取位置之间移动;
[0009]卸载托盘,在所述第二方向上位于所述卸载料仓的上方,每个所述卸载托盘能够在所述第二方向相对于所述卸载料仓在装卸料盘的第二装卸位置与放置产品于位于其上的空料盘中的放置位置之间移动;
[0010]相互独立的第一搬运机构、第二搬运机构及第三搬运机构,所述第一搬运机构能够抓取所述供料料仓中的待测料盘并装载于所述供料托盘上,所述第二搬运机构能够抓取位于所述供料托盘上的空料盘并装载于所述卸载托盘上,所述第三搬运机构能够抓取位于所述卸载托盘上的已测料盘并放置于所述卸载料仓中。
[0011]在其中一个实施例中,所述料盘搬运系统具有第一运动区域、第二运动区域及第三运动区域,所述第一搬运机构、所述第二搬运机构及所述第三搬运机构在所述第一方向上分别在所述第一运动区域、所述第二运动区域及所述第三运动区域运动;
[0012]其中,所述第一运动区域在所述第一方向上涵盖全部所述供料托盘,所述第二运动区域在所述第一方向上涵盖全部所述供料托盘及全部所述卸载托盘,所述第三运动区域在所述第一方向上涵盖全部所述卸载托盘。
[0013]在其中一个实施例中,所述料盘搬运系统还包括空盘料仓,所述空盘料仓在所述第一方向上位于所述供料料仓与所述卸载料仓之间,所述空盘料仓用于储存空料盘;
[0014]其中,所述第二搬运机构能够将所述供料托盘上的空料盘搬运至所述空盘料仓中及将所述空盘料仓中的空料盘搬运至所述卸载托盘上。
[0015]在其中一个实施例中,所述料盘搬运系统包括多个在所述第一方向上依次布设的所述供料料仓、多个在所述第一方向上依次布设的所述卸载料仓、多个在所述第一方向上依次布设的所述供料托盘及多个在所述第一方向上依次布设的所述卸载托盘。
[0016]在其中一个实施例中,所述料盘搬运系统具有沿所述第二方向排布的第一预设高度与第二预设高度,所述第一搬运机构、所述第二搬运机构及所述第三搬运机构均能够在所述第一方向上在所述第一预设高度及所述第二预设高度平移;
[0017]所述第一预设高度位于所述第一装卸位置和所述抓取位置之间,且位于所述第二装卸位置与所述放置位置之间;
[0018]所述第二预设高度位于所述第一装卸位置与所述供料料仓之间,且位于所述第二装卸位置与所述卸载料仓之间。
[0019]在其中一个实施例中,所述第一装卸位置与所述第二装卸位置在所述第二方向上的高度相同,所述抓取位置与所述放置位置在所述第二方向上的高度相同,所述供料料仓与所述卸载料仓在所述第二方向上平齐。
[0020]在其中一个实施例中,所述第一搬运机构、所述第二搬运机构及所述第三搬运机构均包括搬运座及搬运单元,所述搬运单元在所述第二方向上活动安装于所述搬运座上;
[0021]其中,所述搬运座上设有第一传感器及第二传感器,所述第一传感器用于检测所述搬运单元是否处于所述第一预设高度,所述第二传感器用于检测所述搬运单元是否处于所述第二预设高度;和/或
[0022]所述第一搬运机构、所述第二搬运机构及所述第三搬运机构上均设有第三传感器,所述第三传感器用于检测安装有其的搬运机构与其他搬运机构之间的间距。
[0023]一种采用如上述所述的料盘搬运系统的料盘搬运方法,包括步骤:
[0024]控制所述第一搬运机构从所述供料料仓抓取待测料盘;
[0025]当处于所述第一装卸位置的所述供料托盘上的空料盘的数量小于第一预设阈值时,控制所述第一搬运机构向所述供料托盘上装载所述待测料盘;
[0026]当处于所述第一装卸位置的所述供料托盘上的空料盘的数量等于第一预设阈值时,控制所述第二搬运机构自所述供料托盘上取走全部所述空料盘;
[0027]当处于所述第二装卸位置的所述卸载托盘上的已测料盘的数量小于第二预设阈值时,控制所述第二搬运机构向所述卸载托盘上装载所述空料盘;
[0028]当处于所述第二装卸位置的所述卸载托盘上的已测料盘的数量等于所述第二预设阈值时,控制所述第三搬运机构自所述卸载托盘上取走全部所述已测料盘并将所述已测料盘放置于所述卸载料仓中。
[0029]在其中一个实施例中,所述料盘输送系统具有供所述第一搬运机构停留等待的第一等待位置,所述第一等待位置位于所述供料托盘背离所述卸载托盘的一端;和/或
[0030]所述料盘输送系统具有供所述第二搬运机构停留等待的第二等待位置,所述第二等待位置位于所述供料托盘与所述卸载托盘之间;和/或
[0031]所述料盘输送系统具有供所述第三搬运机构停留等待的第三等待位置,所述第三等待位置位于所述卸载托盘背离所述供料托盘的一端。
[0032]在其中一个实施例中,还包括:
[0033]当处于所述第二等待位置的所述第二搬运机构抓取所述第一预设阈值的所述空料盘,且处于所述第一装卸位置的所述供料托盘上的所述空料盘的数量等于所述第一预设阈值时,所述第二搬运机构将其抓取的所述空料盘放置于空盘料仓中,再抓取所述空料盘的数量等于所述第一预设阈值的所述供料托盘上的所述空料盘;和/或
[0034]当处于所述第二等待位置的所述第二搬运机构未抓取所述空料盘时,且处于所述第二装卸位置的所述卸载托盘上的所述已测料盘的数量小于所述第二预设阈值时,控制所述第二搬运机构自空盘料仓中抓取所述空料盘,再将所述空料盘放置于所述卸载托盘上;
[0035]其中,所述空盘料仓在所述第一方向上位于所述供料料仓与所述卸载料仓之间,所述空盘料仓用于储存所述空料盘。
[0036]上述料盘搬运系统及料盘搬运方法,第一搬运本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种料盘搬运系统,其特征在于,包括:供料料仓(10),用于储存待测料盘;卸载料仓(20),在第一方向上位于所述供料料仓(10)的其中一侧,所述卸载料仓(20)用于储存已测料盘;供料托盘(30),在与所述第一方向相交的第二方向上位于所述供料料仓(10)的上方,每个所述供料托盘(30)能够在所述第二方向上相对于所述供料料仓(10)在装卸料盘的第一装卸位置(F)与抓取位于其上的待测料盘中的产品的抓取位置(G)之间移动;卸载托盘(40),在所述第二方向上位于所述卸载料仓(20)的上方,每个所述卸载托盘(40)能够在所述第二方向相对于所述卸载料仓(20)在装卸料盘的第二装卸位置(H)与放置产品于位于其上的空料盘中的放置位置(I)之间移动;相互独立的第一搬运机构(51)、第二搬运机构(52)及第三搬运机构(53),所述第一搬运机构(51)能够抓取所述供料料仓(10)中的待测料盘并装载于所述供料托盘(30)上,所述第二搬运机构(52)能够抓取位于所述供料托盘(30)上的空料盘并装载于所述卸载托盘(40)上,所述第三搬运机构(53)能够抓取位于所述卸载托盘(40)上的已测料盘并放置于所述卸载料仓(20)中。2.根据权利要求1所述的料盘搬运系统,其特征在于,所述料盘搬运系统具有第一运动区域(L1)、第二运动区域(L2)及第三运动区域(L3),所述第一搬运机构(51)、所述第二搬运机构(52)及所述第三搬运机构(53)在所述第一方向上分别在所述第一运动区域(L1)、所述第二运动区域(L2)及所述第三运动区域(L3)运动;其中,所述第一运动区域(L1)在所述第一方向上涵盖全部所述供料托盘(30),所述第二运动区域(L2)在所述第一方向上涵盖全部所述供料托盘(30)及全部所述卸载托盘(40),所述第三运动区域(L3)在所述第一方向上涵盖全部所述卸载托盘(40)。3.根据权利要求1所述的料盘搬运系统,其特征在于,所述料盘搬运系统还包括空盘料仓(60),所述空盘料仓(60)在所述第一方向上位于所述供料料仓(10)与所述卸载料仓(20)之间,所述空盘料仓(60)用于储存空料盘;其中,所述第二搬运机构(52)能够将所述供料托盘(30)上的空料盘搬运至所述空盘料仓(60)中及将所述空盘料仓(60)中的空料盘搬运至所述卸载托盘(40)上。4.根据权利要求1所述的料盘搬运系统,其特征在于,所述料盘搬运系统包括多个在所述第一方向上依次布设的所述供料料仓(10)、多个在所述第一方向上依次布设的所述卸载料仓(20)、多个在所述第一方向上依次布设的所述供料托盘(30)及多个在所述第一方向上依次布设的所述卸载托盘(40)。5.根据权利要求1

4任一项所述的料盘搬运系统,其特征在于,所述料盘搬运系统具有沿所述第二方向排布的第一预设高度(D)与第二预设高度(E),所述第一搬运机构(51)、所述第二搬运机构(52)及所述第三搬运机构(53)均能够在所述第一方向上在所述第一预设高度(D)及所述第二预设高度(E)平移;所述第一预设高度(D)位于所述第一装卸位置(F)和所述抓取位置(G)之间,且位于所述第二装卸位置(H)与所述放置位置(I)之间;所述第二预设高度(E)位于所述第一装卸位置(F)与所述供料料仓(10)之间,且位于所述第二装卸位置(H)与所述卸载料仓(20)之间。
6.根据权利要求5所述的料盘搬运系统,其特征在于,所述第一装卸位置(F)与所述第二装卸位置(H)在所述第二方向上的高度相同,所述抓取位置(G)与所述放置位置(I)在所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员:龙裕嘉包荣剑
申请(专利权)人:杭州长川科技股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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