本发明专利技术提供能够将多个压电元件在规定的位置以规定的朝向分别配置到多个保持部件的压电振动器件制造装置及压电振动器件的制造方法。具有使多个吸附头(20)同时往返移动的吸附头移动装置(12)。多个吸附头(20)通过吸附嘴(28)分别吸附压电元件(P)。吸附头用水平移动机构(21)、吸附头用竖直移动机构(24)、吸附头用旋转移动机构(26)中的至少一个基于与多个吸附嘴(28)分别吸附的多个压电元件(P)的位置相关的信息、以及与供给至保持部件供给位置(Sh)的多个保持部件(H)的位置相关的信息，分别独立地单独调整吸附嘴(28)的位置，以能够将多个吸附嘴(28)分别吸附的压电元件(P)分别配置在对应的保持部件(H)。置在对应的保持部件(H)。置在对应的保持部件(H)。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】压电振动器件制造装置及压电振动器件的制造方法
[0001]本专利技术涉及压电振动器件制造装置及压电振动器件的制造方法。
技术介绍
[0002]压电振动器件例如包含使用了水晶振动片的水晶振子。所述水晶振子具有作为压电元件的水晶振动片与保持所述水晶振动片的保持部件。所述水晶振子在由陶瓷等绝缘体构成的箱状的所述保持部件内保持所述水晶振动片。所述水晶振子在所述水晶振动片的电极与所述保持部件内的电极接合的状态下被封装。
[0003]在制造这样的所述压电振动器件的压电振动器件制造装置中，对所述压电元件与所述保持部件分别进行供给。所述压电振动器件制造装置将由吸附头等移载装置供给的所述压电元件配置在涂布有接合材料的所述保持部件内。此时，需要将所述压电元件以电极以外的部分不与所述保持部件接触的方式配置在所述保持部件内。于是，已知有将相对于所述移载装置定位的所述压电元件配置在所述保持部件内的所述压电振动器件制造装置。例如在专利文献1中，公开有在对所供给的元件部件进行定位之后将所述元件部件搭载至元件搭载部件晶圆的元件部件搭载装置。
[0004]专利文献1所记载的元件部件搭载装置具备为了对多个所述元件部件进行定位而进行临时放置的托盘。所述托盘具有临时放置所述元件部件的多个凹部。所述凹部的壁面在深度方向上倾斜并且在凹部的开口侧露出。投入至所述凹部的所述元件部件在所述凹部的壁面滑动，配置在凹部的底面。所述元件部件通过所述凹部的壁面而在所述凹部的底面被定位。所述元件部件搭载装置将定位在多个所述凹部的底面的多个所述元件部件输送至所述元件搭载部件晶圆上。由此，所述元件部件搭载装置能够将多个所述元件部件以规定的朝向分别配置在所述元件搭载部件晶圆上的规定的位置。
[0005]现有技术文献
[0006]专利文献
[0007]专利文献1：日本特开2012/99560号
技术实现思路
[0008]专利技术要解决的技术问题
[0009]所述元件部件搭载装置通过吸引移动单元将所供给的多个所述元件部件输送至所述托盘，在所述托盘中进行定位。进而，所述元件部件搭载装置通过吸引移动单元的吸附部吸附在所述托盘中定位的多个所述元件部件，输送至所述元件搭载部件晶圆上。因此，存在多个所述元件部件在吸附时其位置及朝向相对于在所述托盘中定位的位置发生偏移的可能性。此外，为了在所述凹部内配置所述元件部件，所述托盘的凹部具有在所述壁面与位于所述底面的所述元件部件之间产生间隙这样的大小的底面。因此，存在所述元件部件相对于所述托盘其位置及朝向以在所述壁面与位于所述底面的所述元件部件之间产生的间隙量发生偏移的可能性。
[0010]本专利技术的目的在于，提供能够将多个压电元件在规定的位置以规定的朝向分别配置到多个保持部件的压电振动器件制造装置及压电振动器件的制造方法。
[0011]用于解决上述技术问题的方案
[0012]本专利技术人等对能够在不增加生产节拍的情况下将多个压电元件在规定的位置以规定的朝向分别配置到多个保持部件的压电振动器件制造装置及压电振动器件的制造方法进行了研究。作为深入研究的结果，本专利技术人等想到了以下构成。
[0013]本专利技术的一实施方式的压电振动器件制造装置是用于制造至少具有压电元件与保持所述压电元件的保持部件、且所述压电元件通过接合材料而与所述保持部件接合的压电振动器件的压电振动器件制造装置。
[0014]压电振动器件制造装置具有：多个吸附头，分别逐一吸附所述压电元件；吸附头移动装置，搭载所述多个吸附头，使所述多个吸附头在从供给多个所述压电元件的压电元件供给位置到供给多个所述保持部件的保持部件供给位置之间同时往返移动。所述吸附头具有：吸附嘴，吸附所述压电元件；吸附头用水平移动机构，使所述吸附嘴在水平方向上移动；吸附头用竖直移动机构，使所述吸附嘴在竖直方向上移动；吸附头用旋转移动机构，使所述吸附嘴在绕竖直轴的旋转方向上移动。
[0015]多个所述吸附头在所述压电元件供给位置通过多个所述吸附嘴而分别吸附被供给至所述压电元件供给位置的所述压电元件。多个所述吸附头通过所述吸附头移动装置而从所述压电元件供给位置移动至所述保持部件供给位置。所述吸附头用水平移动机构、所述吸附头用竖直移动机构、所述吸附头用旋转移动机构中的至少一个基于与多个所述吸附嘴分别吸附的多个所述压电元件的位置相关的信息、以及与供给至所述保持部件供给位置的多个所述保持部件的位置相关的信息，将多个所述吸附嘴的位置分别独立地单独调整至能够将多个所述吸附嘴分别吸附的所述压电元件分别配置在对应的所述保持部件的位置。
[0016]在上述构成中，多个所述吸附头由各自的吸附嘴吸附所述压电元件，输送多个所述压电元件。此时，所述吸附头基于与所吸附的多个所述压电元件的位置相关的信息、以及与分别配置所吸附的多个所述压电元件的多个所述保持部件的位置相关的信息，分别独立地单独调整多个所述吸附嘴的位置。由此，多个所述吸附头能够在考虑了吸附时的偏移的基础上，以与所述保持部件的水平方向的位置及竖直方向的位置对应的方式分别单独调整所吸附的多个所述压电元件的位置。而且，多个所述吸附头基于作为数值数据的与所述压电元件的位置相关的信息以及与所述保持部件的位置相关的信息，单独调整所述吸附嘴的位置。因此，所述压电振动器件制造装置无需为了对位而进行对所述压电元件的临时放置等。因此，能够在不增加生产节拍的情况下将多个压电元件在规定的位置以规定的朝向分别配置到多个保持部件。
[0017]根据另一观点，本专利技术的压电振动器件制造装置优选包含以下构成。压电振动器件制造装置具有：多个供给头，将所述接合材料分别供给至所述保持部件；供给头移动装置，搭载所述多个供给头，使所述多个供给头在从所述多个供给头的待机位置到所述保持部件供给位置之间同时往返移动。
[0018]所述供给头具有：供给装置，供给所述接合材料；供给头用水平移动机构，使所述供给装置在水平方向上移动；供给头用竖直移动机构，使所述供给装置在竖直方向上移动。通过所述供给头移动装置使多个所述供给头从所述待机位置移动至所述保持部件供给位
置。所述供给头用水平移动机构或供给头用竖直移动机构中的至少一个基于与供给至所述保持部件供给位置的多个所述保持部件的位置相关的信息，分别独立地单独调整所述供给装置的位置，以使多个所述供给装置能够将所述接合材料分别供给至多个所述保持部件。
[0019]在上述构成中，多个所述供给头以与所述保持部件的水平方向的位置及竖直方向的位置对应的方式分别独立地单独调整所述供给装置的位置。由此，所述供给装置能够向所述保持部件中的规定的位置排出接合材料。而且，多个所述供给头基于作为所取得的数值数据的与多个所述保持部件的位置相关的信息，分别独立地单独调整所述供给装置的位置。因此，所述压电振动器件制造装置无需进行所述保持部件相对于所述供给装置的对位等。因此，能够在不增加生产节拍的情况下将接合材料分别配置到多个保持部件的规定的位置。由此，能够将多个压电元件在规定的位置以规定的朝向分别配置到多个保持部件。
[002本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种压电振动器件制造装置，是用于制造至少具有压电元件与保持所述压电元件的保持部件、且在所述保持部件中所述压电元件通过接合材料而与所述保持部件接合的压电振动器件的压电振动器件制造装置，其特征在于，所述压电振动器件制造装置具有：多个吸附头，分别逐一吸附所述压电元件；吸附头移动装置，搭载所述多个吸附头，使所述多个吸附头在从供给多个所述压电元件的压电元件供给位置到供给多个所述保持部件的保持部件供给位置之间同时往返移动，所述吸附头具有：吸附嘴，吸附所述压电元件；吸附头用水平移动机构，使所述吸附嘴在水平方向上移动；吸附头用竖直移动机构，使所述吸附嘴在竖直方向上移动；吸附头用旋转移动机构，使所述吸附嘴在绕竖直轴的旋转方向上移动，多个所述吸附头在所述压电元件供给位置通过多个所述吸附嘴而分别吸附被供给至所述压电元件供给位置的所述压电元件，并通过所述吸附头移动装置将多个所述吸附头从所述压电元件供给位置移动至所述保持部件供给位置，所述吸附头用水平移动机构、所述吸附头用竖直移动机构、或所述吸附头用旋转移动机构中的至少一个基于与多个所述吸附嘴分别吸附的多个所述压电元件的位置相关的信息、以及与供给至所述保持部件供给位置的多个所述保持部件的位置相关的信息，对所述吸附嘴的位置分别独立地单独进行调整，以能够将多个所述吸附嘴分别吸附的所述压电元件分别配置在对应的所述保持部件。2.如权利要求1所述的压电振动器件制造装置，其特征在于，具有：多个供给头，将所述接合材料分别供给至所述保持部件；供给头移动装置，搭载所述多个供给头，使所述多个供给头在从所述多个供给头的待机位置到所述保持部件供给位置之间同时往返移动，所述供给头具有：供给装置，供给所述接合材料；供给头用水平移动机构，使所述供给装置在水平方向上移动；供给头用竖直移动机构，使所述供给装置在竖直方向上移动，通过所述供给头移动装置使多个所述供给头从所述待机位置移动至所述保持部件供给位置，所述供给头用水平移动机构或供给头用竖直移动机构中的至少一个基于与供给至所述保持部件供给位置的多个所述保持部件的位置相关的信息，分别独立地单独调整所述供给装置的位置，以使多个所述供给装置能够将所述接合材料分别供给至多个所述保持部件。3.如权利要求2所述的压电振动器件制造装置，其特征在于，在所述保持部件供给位置，多个所述供给头通过多个所述供给装置将所述接合材料分别独立地单独供给至多个所述保持部件，在所述保持部件供给位置，多个所述吸附头将多个所述吸附嘴分别吸附的所述压电元
件分别独立地单独配置在被供给有所述接合材料的多个所述保持部件。4.如权利要求2～3的任一项所述的压电振动器件制造装置，其特征在于，所述多个供给头能够通过所述供给头用水平移动机构或所述供给头用竖直移动机构中的至少一个对各自的所述供给装置的位置同时进行调整。5.如权利要求1所述的压电振动器件制造装置，其特征在于，多个所述吸附头能够通过所述吸附头用水平移动机构、所述吸附头用竖直移动机构、或所...
【专利技术属性】
技术研发人员：大室裕史，佐藤隆，大谷浩，
申请(专利权)人：株式会社大真空，
类型：发明
国别省市：
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