冷氢化中氯硅烷的回收装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种冷氢化中氯硅烷的回收装置，包括：除渣装置，除渣装置包括第一搅拌罐、第一干燥机、过滤器与缓冲罐，第一搅拌罐的出渣口设置于第一搅拌罐的底部，第一搅拌罐的出液口设置于第一搅拌罐的顶部，出渣口与第一干燥机的进料口连通，出液口与过滤器的进料口连通；过滤器的出渣口与第一搅拌罐的进料口连通，过滤器的出液口与缓冲罐连通，第一干燥机的第一出料口与缓冲罐连通，第一干燥机的第二出料口用于出渣；缓冲罐与分离塔的进料口连通，分离塔的顶部出口与脱轻塔的进料口连通，分离塔的塔釜出口与第二搅拌罐连通；第二搅拌罐的出渣口与第二干燥机的进料口连通。回收装置可以回收氯硅烷，减少氯硅烷的浪费。减少氯硅烷的浪费。减少氯硅烷的浪费。

【技术实现步骤摘要】
冷氢化中氯硅烷的回收装置


[0001]本技术属于多晶硅
，具体涉及一种冷氢化中氯硅烷的回收装置。

技术介绍

[0002]随着电子信息及电子产品的发展，半导体材料成为了电子设备中元器件的基础材料。多晶硅是常用的半导体材料，而三氯氢硅是多晶硅生产中的常见原料。三氯氢硅的生产工艺可以采用冷氢化生产工艺，在生产过程中，将四氯化硅、氢气与硅粉通入流化床内生产氯硅烷，氯硅烷中含有三氯氢硅，然后将三氯氢硅进行分离。现有冷氢化工艺过程中，流化床合成的氯硅烷通过蒸馏塔、精馏塔等将氯硅烷分离，塔釜中的固液通过汽提塔进行浓缩，汽提塔中的渣浆液中含有氯硅烷，排放时造成氯硅烷的浪费，氯硅烷不能有效回收，导致多晶硅生产成本增高。

技术实现思路

[0003]本技术实施例的目的是提供一种冷氢化中氯硅烷的回收装置，用以解决汽提塔中的渣浆液中含有氯硅烷，排放时造成氯硅烷的浪费，氯硅烷不能有效回收的问题。
[0004]本技术实施例提供了一种冷氢化中氯硅烷的回收装置，包括：
[0005]除渣装置，所述除渣装置包括第一搅拌罐、第一干燥机、过滤器与缓冲罐，所述第一搅拌罐具有出渣口与出液口，所述第一搅拌罐的出渣口设置于所述第一搅拌罐的底部，所述第一搅拌罐的出液口设置于所述第一搅拌罐的顶部，所述第一搅拌罐的出渣口与所述第一干燥机的进料口连通，所述第一搅拌罐的出液口与所述过滤器的进料口连通；
[0006]所述过滤器的出渣口与所述第一搅拌罐的进料口连通，所述过滤器的出液口与所述缓冲罐连通，所述第一干燥机具有第一出料口与第二出料口，所述第一出料口与所述缓冲罐连通，所述第二出料口用于出渣；
[0007]分离塔，所述缓冲罐与所述分离塔的进料口连通；
[0008]脱轻塔，所述分离塔的顶部出口与所述脱轻塔的进料口连通；
[0009]第二搅拌罐，所述分离塔的塔釜出口与所述第二搅拌罐连通，所述第二搅拌罐具有出渣口与出液口；
[0010]第二干燥机，所述第二搅拌罐的出渣口与所述第二干燥机的进料口连通。
[0011]可选地，所述回收装置还包括：
[0012]冷凝器、回流罐与回流泵，所述分离塔的顶部出口与所述冷凝器的进料口连通，所述冷凝器的出料口与所述回流罐连通，所述回流罐与所述回流泵的进口连通，所述回流泵的出口与所述分离塔的回流口连通，所述回流泵的出口或所述回流罐与所述脱轻塔的进料口连通。
[0013]可选地，所述第一干燥机与所述第二干燥机中的至少一个包括转鼓。
[0014]可选地，所述第一搅拌罐的侧壁上设置有进料口，所述过滤器的出渣口设置于所述过滤器的底部。
[0015]可选地，所述除渣装置的数量为多个，多个所述除渣装置中的缓冲罐均与所述分离塔的进料口连通。
[0016]可选地，所述除渣装置的数量为多个，多个所述除渣装置中的缓冲罐之间连通，至少一个缓冲罐与所述分离塔的进料口连通。
[0017]可选地，多个所述除渣装置中相邻两个缓冲罐之间通过第一管路连通，所述第一管路上设有第一输送泵，至少一个缓冲罐与所述分离塔的进料口通过第二管路连通，所述第二管路上设有第二输送泵。
[0018]可选地，所述第一搅拌罐与所述第二搅拌罐的外侧壁设有温度调节装置。
[0019]可选地，所述第二搅拌罐的出渣口与所述第一干燥机的进料口连通。
[0020]可选地，所述分离塔的塔釜出口与所述第一干燥机的进料口连通。
[0021]本技术实施例的冷氢化中氯硅烷的回收装置，第一搅拌罐的出渣口设置于所述第一搅拌罐的底部，所述第一搅拌罐的出液口设置于所述第一搅拌罐的顶部，所述出渣口与所述第一干燥机的进料口连通，所述出液口与所述过滤器的进料口连通；所述过滤器的出渣口与所述第一搅拌罐的进料口连通，所述过滤器的出液口与所述缓冲罐连通，所述第一干燥机具有第一出料口与第二出料口，所述第一出料口与所述缓冲罐连通，所述第二出料口用于出渣；所述缓冲罐与所述分离塔的进料口连通，所述分离塔的顶部出口与所述脱轻塔的进料口连通，所述分离塔的塔釜出口与所述第二搅拌罐连通，所述第二搅拌罐具有出渣口与出液口，所述第二搅拌罐的出渣口与所述第二干燥机的进料口连通。
[0022]在使用过程中，可以将汽提塔中的渣浆液加入第一搅拌罐进行搅拌，然后进行静置使得固体沉降，第一搅拌罐中的上清液可以进入过滤器进行过滤，第一搅拌罐中的固体沉降物料可以进入第一干燥机进行干燥，使得固体物料进行固液分离。过滤器过滤出的滤液可以进入缓冲罐，滤液通过缓冲罐进入分离塔进行分离，可以将高沸物与氯硅烷进行分离，氯硅烷从分离塔的顶部出口流出，可以进入脱轻塔进一步分离得到三氯氢硅、四氯化硅等，实现氯硅烷的回收，减少氯硅烷的浪费，降低多晶硅生产成本。
附图说明
[0023]图1为冷氢化中氯硅烷的回收装置的一个连接示意图。
[0024]附图标记
[0025]第一搅拌罐10；第一干燥机11；过滤器12；缓冲罐13；
[0026]分离塔14；脱轻塔15；
[0027]第二搅拌罐16；第二干燥机17；
[0028]冷凝器21；回流罐22；回流泵23；
[0029]第一管路31；第二管路32；
[0030]第一输送泵33；第二输送泵34；
[0031]连接管40。
具体实施方式
[0032]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施
例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0033]本技术的说明书和权利要求书中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便本技术的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。此外，说明书以及权利要求中“和/或”表示所连接对象的至少其中之一，字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。
[0034]下面结合附图1所示，通过具体的实施例及其应用场景对本技术实施例提供的冷氢化中氯硅烷的回收装置进行详细地说明。
[0035]如图1所示，本技术实施例的冷氢化中氯硅烷的回收装置，包括：除渣装置、分离塔14、脱轻塔15、第二搅拌罐16与第二干燥机17，除渣装置可以包括第一搅拌罐10、第一干燥机11、过滤器12与缓冲罐13。第一搅拌罐10具有出渣口与出液口，第一搅拌罐10的出渣口可以设置于第一搅拌罐10的底部，便于渣浆沉降物的排出，第一搅拌罐10的出液口可以设置于第一搅拌罐10的顶部，便于上清液的排出。第一搅拌罐10的出渣口可以与第一干燥机11的进料口连通，第一搅拌罐10的出液口可以与过滤器12的进料口连通。第一搅拌罐10中的沉降物可以通过出渣口进入第一干燥机11进行干燥，第一干燥机11可以包括本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种冷氢化中氯硅烷的回收装置，其特征在于，包括：除渣装置，所述除渣装置包括第一搅拌罐、第一干燥机、过滤器与缓冲罐，所述第一搅拌罐具有出渣口与出液口，所述第一搅拌罐的出渣口设置于所述第一搅拌罐的底部，所述第一搅拌罐的出液口设置于所述第一搅拌罐的顶部，所述第一搅拌罐的出渣口与所述第一干燥机的进料口连通，所述第一搅拌罐的出液口与所述过滤器的进料口连通；所述过滤器的出渣口与所述第一搅拌罐的进料口连通，所述过滤器的出液口与所述缓冲罐连通，所述第一干燥机具有第一出料口与第二出料口，所述第一出料口与所述缓冲罐连通，所述第二出料口用于出渣；分离塔，所述缓冲罐与所述分离塔的进料口连通；脱轻塔，所述分离塔的顶部出口与所述脱轻塔的进料口连通；第二搅拌罐，所述分离塔的塔釜出口与所述第二搅拌罐连通，所述第二搅拌罐具有出渣口与出液口；第二干燥机，所述第二搅拌罐的出渣口与所述第二干燥机的进料口连通。2.根据权利要求1所述的回收装置，其特征在于，还包括：冷凝器、回流罐与回流泵，所述分离塔的顶部出口与所述冷凝器的进料口连通，所述冷凝器的出料口与所述回流罐连通，所述回流罐与所述回流泵的进口连通，所述回流泵的出口与所述分离塔的回流口连通，所述回流泵的出口或所述回流...

【专利技术属性】
技术研发人员：李瑞刚，刘丹丹，刘建海，刘佳，侯素娟，蔡云和，王东，王燕飞，
申请(专利权)人：新特能源股份有限公司，
类型：新型
国别省市：