一种进气端盖、进气组件和尾气处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种进气端盖、进气组件和尾气处理装置，属于尾气处理技术领域，以解决工艺尾气无害化处理过程反应效率低的技术问题。该进气端盖用于盖设在反应腔的顶部，进气端盖包括盖体以及设在盖体上的至少一个进气管，每个进气管用于将工艺尾气导入反应腔中；盖体与反应腔共轴，每个进气管的中心轴线垂直于盖体的表面；盖体位于中心的区域还具有用于等离子体装置安装的安装孔，等离子体装置用于产生高温等离子火焰。本实用新型专利技术的尾气处理装置，尾气在其反应腔中同步进行热分解和氧化反应，反应效率更高。反应效率更高。反应效率更高。

【技术实现步骤摘要】
一种进气端盖、进气组件和尾气处理装置


[0001]本技术涉及尾气处理
，尤其涉及一种进气端盖、进气组件和尾气处理装置。

技术介绍

[0002]泛半导体产业中产生的工艺尾气含有易燃、有毒、高温室效应等物质，必须将这些有害气体无害化处理后才能排放到环境中去。
[0003]无害化处理方法通常是将废气先在热分解腔中分解，之后在反应腔中与氧气进行反应，部分生成固体颗粒被喷淋塔捕获，部分生成可溶于水的气体被喷淋塔吸收，其余的生成无害产物排放。
[0004]相关技术中，无害化处理过程尾气先在热分解腔中进行分解，然后尾气在反应腔中进行氧化反应，该处理过程反应效率较低。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种进气端盖、进气组件、尾气处理装置，以解决工艺尾气无害化处理过程反应效率低的技术问题。
[0006]为了实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0007]第一方面，本技术实施例提供一种进气端盖，用于盖设在所述反应腔的顶部，所述进气端盖包括盖体以及设在所述盖体上的至少一个进气管，每个所述进气管用于将本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种进气端盖，其特征在于，用于盖设在反应腔的顶部，所述进气端盖包括盖体以及设在所述盖体上的至少一个进气管，每个所述进气管用于将工艺尾气导入所述反应腔中；所述盖体与所述反应腔共轴，每个所述进气管的中心轴线垂直于所述盖体的表面；所述盖体的中心区域还具有用于等离子体装置安装的安装孔，所述等离子体装置用于产生高温等离子火焰；所述盖体包括盖体本体以及盖设在所述盖体本体上的顶盖，所述盖体本体以及所述顶盖围设出供冷却液通过的流道；所述顶盖上具有供冷却液通过的出口，所述盖体本体的外圆周面具有供冷却液通过的进口，所述出口、所述进口均与所述流道连通。2.根据权利要求1所述的进气端盖，其特征在于，所述盖体为圆形的盖体，所述进气管的数量为多个，多个所述进气管包括至少一圈环绕所述盖体的中心轴线的进气管。3.根据权利要求2所述的进气端盖，其特征在于，每圈所述进气管中的各个所述进气管沿着所述盖体的周向均匀分布。4.根据权利要求1所述的进气端盖，其特征在于，每个所述进气管设在所述盖体本体上，所述顶盖具有供相应所述进气管通过的第一通孔。5.根据权利要求1所述的进气端盖，其特征在于，所述进口位于所述盖体本体的外圆周面的目...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨国庆，郭潞阳，叶威，王福清，刘磊，陈佳明，
申请(专利权)人：上海协微环境科技有限公司，
类型：新型
国别省市：