本实用新型专利技术提供了一种进气端盖、进气组件和尾气处理装置，属于尾气处理技术领域，以解决工艺尾气无害化处理过程反应效率低的技术问题。该进气端盖用于盖设在反应腔的顶部，进气端盖包括盖体以及设在盖体上的至少一个进气管，每个进气管用于将工艺尾气导入反应腔中；盖体与反应腔共轴，每个进气管的中心轴线垂直于盖体的表面；盖体位于中心的区域还具有用于等离子体装置安装的安装孔，等离子体装置用于产生高温等离子火焰。本实用新型专利技术的尾气处理装置，尾气在其反应腔中同步进行热分解和氧化反应，反应效率更高。反应效率更高。反应效率更高。
【技术实现步骤摘要】
一种进气端盖、进气组件和尾气处理装置
[0001]本技术涉及尾气处理
，尤其涉及一种进气端盖、进气组件和尾气处理装置。
技术介绍
[0002]泛半导体产业中产生的工艺尾气含有易燃、有毒、高温室效应等物质，必须将这些有害气体无害化处理后才能排放到环境中去。
[0003]无害化处理方法通常是将废气先在热分解腔中分解，之后在反应腔中与氧气进行反应，部分生成固体颗粒被喷淋塔捕获，部分生成可溶于水的气体被喷淋塔吸收，其余的生成无害产物排放。
[0004]相关技术中，无害化处理过程尾气先在热分解腔中进行分解，然后尾气在反应腔中进行氧化反应，该处理过程反应效率较低。
技术实现思路
[0005]本技术的目的在于提供一种进气端盖、进气组件、尾气处理装置，以解决工艺尾气无害化处理过程反应效率低的技术问题。
[0006]为了实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0007]第一方面，本技术实施例提供一种进气端盖，用于盖设在所述反应腔的顶部，所述进气端盖包括盖体以及设在所述盖体上的至少一个进气管，每个所述进气管用于将工艺尾气导入所述反应腔中；
[0008]所述盖体与所述反应腔共轴，每个所述进气管的中心轴线垂直于所述盖体的表面；
[0009]所述盖体位于中心的区域还具有用于等离子体装置安装的安装孔，所述等离子体装置用于反应腔的加热。
[0010]根据本技术的至少一个实施方式，所述盖体为圆形的盖体，所述进气管的数量为多个，多个所述进气管包括至少一圈环绕所述盖体中心轴线的进气管。
[0011]根据本技术的至少一个实施方式，每圈所述进气管中的各个所述进气管沿着所述盖体的周向均匀分布。
[0012]根据本技术的至少一个实施方式，所述盖体包括盖体本体以及盖设在所述盖体本体上的顶盖，所述盖体本体以及所述顶盖围设出供冷却液通过的流道；
[0013]每个所述进气管设在所述盖体本体上，所述顶盖具有供相应所述进气管通过的第一通孔。
[0014]根据本技术的至少一个实施方式，所述顶盖上具有供冷却液通过的出口，所述盖体本体的外圆周面具有供冷却液通过的进口，所述出口、所述进口均与所述流道连通。
[0015]根据本技术的至少一个实施方式，所述进口位于所述盖体本体的外圆周面的目标位置，所述目标位置为所述外圆周面距离所述出口最远的位置处。
[0016]本技术示例性实施例中提供的一个或多个技术方案中，至少可实现如下有益效果之一。
[0017](1)本技术示例性实施例的进气端盖包括盖体以及设在盖体上的至少一个进气管，同时进气管的中心轴线垂直于盖体的表面，当通过进气管将工艺尾气导入反应腔中时，尾气气流会垂直向下流动进入反应腔，不易产生回流。
[0018](2)本技术示例性实施例的进气端盖位于中心的区域还具有用于等离子体装置安装的安装孔，也就是通过等离子体装置设置在端盖的中心区域，可以产生高温等离子火焰对反应腔进行加热，尾气在反应腔中同步进行热分解和氧化反应，反应效率更高。
[0019](3)由于尾气气流直接进入反应腔，反应腔的体积要大于热分解腔，因此，本技术实施例提供的端盖可以避免产生粉尘堵塞热分解腔的问题，而在体积较大的反应腔中不易产生粉尘堵塞。
[0020](4)本技术实施例提供的端盖的使用可以延长反应腔设备清理保养周期，降低设备清洁及维护保养成本，有助于提升生产效率和降低生产成本。
[0021]第二方面，本技术还提供一种进气组件，包括进气法兰以及第一方面所述的进气端盖，所述进气法兰贴合在所述进气端盖朝向反应腔的壁面。
[0022]根据本技术的至少一个实施方式，所述进气法兰具有环形的气流通道，通过所述气流通道，所述进气法兰用于将空气导入至所述反应腔；
[0023]沿着反应腔尾气的流向，所述气流通道向靠近所述进气法兰中心轴的方向倾斜；
[0024]所述气流通道的宽度为3mm～10mm。
[0025]根据本技术的至少一个实施方式，所述进气组件还包括旋流法兰，所述旋流法兰贴合在所述进气法兰背离所述进气端盖的一侧，所述旋流法兰背离所述进气法兰的端面形成有环形的沟槽；
[0026]所述旋流法兰的外周面具有与所述沟槽连通的至少一个第二通孔，每个所述第二通孔的中心轴线与所述沟槽的中心线相切；
[0027]所述沟槽的开口朝向所述反应腔的内壁。
[0028]所述进气组件相对于现有技术所具有的优势与第一方面提供的进气组件相对于现有技术所具有的优势相同，在此不再赘述。
[0029]第三方面，本技术还提供一种尾气处理装置，包括反应腔以及第一方面所述的进气组件，所述旋流法兰连接在所述反应腔的顶部，所述旋流法兰用于通过液体旋流冲刷所述反应腔的内壁。
[0030]所述尾气处理装置相对于现有技术所具有的优势与第一方面提供的进气组件相对于现有技术所具有的优势相同，在此不再赘述。
附图说明
[0031]附图示出了本技术的示例性实施方式，并与其说明一起用于解释本技术的原理，其中包括了这些附图以提供对本技术的进一步理解，并且附图包括在本说明书中并构成本说明书的一部分。
[0032]图1是根据本技术的实施方式的进气端盖立体结构示意图。
[0033]图2是根据本技术的实施方式的进气端盖去掉顶盖的立体结构示意图。
[0034]图3是图1俯视结构示意图。
[0035]图4是图3的C
‑
C剖面示意图。
[0036]图5是是根据本技术的实施方式的尾气处理装置正视结构示意图。
[0037]图6是根据本技术的实施方式的进气法兰立体结构示意图。
[0038]图7是图6侧视结构示意图。
[0039]图8是图7的A
‑
A剖面示意图。
[0040]图9是图8的B部放大图。
[0041]图10是根据本技术的实施方式的旋流法兰立体结构示意图。
[0042]图11是图10的侧视结构示意图。
[0043]图12是图11的D
‑
D剖面示意图。
[0044]附图标记：10、进气法兰；13、气流通道；30、盖体；31、盖体本体；311、进口；32、顶盖；321、出口；33、进气管；34、安装孔；40、旋流法兰；41、第二通孔；42、沟槽；50、反应腔。
具体实施方式
[0045]下面结合附图和实施方式对本技术作进一步的详细说明。
[0046]相关技术中，工艺尾气进行无害化处理时，需要先在热分解腔中分解，之后在反应腔中与氧气进行反应，部分生成固体颗粒被喷淋塔捕获，部分生成可溶于水的气体被喷淋塔吸收，其余的生成无害产物排放。
[0047]采用先高温分解再氧化反应的两步法处理尾气，由于尾气进入反应腔时，进入反应腔中的空气容易反流至热分解腔中，本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种进气端盖，其特征在于，用于盖设在反应腔的顶部，所述进气端盖包括盖体以及设在所述盖体上的至少一个进气管，每个所述进气管用于将工艺尾气导入所述反应腔中；所述盖体与所述反应腔共轴，每个所述进气管的中心轴线垂直于所述盖体的表面；所述盖体的中心区域还具有用于等离子体装置安装的安装孔，所述等离子体装置用于产生高温等离子火焰；所述盖体包括盖体本体以及盖设在所述盖体本体上的顶盖，所述盖体本体以及所述顶盖围设出供冷却液通过的流道；所述顶盖上具有供冷却液通过的出口，所述盖体本体的外圆周面具有供冷却液通过的进口，所述出口、所述进口均与所述流道连通。2.根据权利要求1所述的进气端盖，其特征在于，所述盖体为圆形的盖体，所述进气管的数量为多个，多个所述进气管包括至少一圈环绕所述盖体的中心轴线的进气管。3.根据权利要求2所述的进气端盖，其特征在于，每圈所述进气管中的各个所述进气管沿着所述盖体的周向均匀分布。4.根据权利要求1所述的进气端盖，其特征在于，每个所述进气管设在所述盖体本体上，所述顶盖具有供相应所述进气管通过的第一通孔。5.根据权利要求1所述的进气端盖，其特征在于，所述进口位于所述盖体本体的外圆周面的目...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨国庆，郭潞阳，叶威，王福清，刘磊，陈佳明，
申请(专利权)人：上海协微环境科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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