晶升装置和单晶炉制造方法及图纸

技术编号:39224612 阅读:21 留言:0更新日期:2023-10-30 11:31
本实用新型专利技术涉及一种晶升装置和单晶炉,包括卷丝组件和滑轮组件和壳体,卷丝组件包括由内至外依次套设且同轴的输入轴、卷丝轴和花键套;滑轮组件包括滑轮架、滑轮、转轴和起吊螺钉,滑轮沿转轴的轴线方向转动安装于转轴,转轴设于滑轮架,起吊螺钉设于滑轮架,起吊螺钉直接或间接的与壳体连接以悬吊滑轮组件;花键套与卷丝轴之间通过第一绝缘结构绝缘,滑轮架与转轴之间通过第二绝缘结构绝缘;和/或,滑轮架与起吊螺钉之间通过第三绝缘结构绝缘,其有益效果是采用此种绝缘方式,能够有效保证壳体不会得到来自钨丝的电流,壳体的装配基体单晶炉也就不会得到经过晶升装置传递而来的电流,进而保证了籽晶熔接过程中的检测作业的正常进行。进行。进行。

【技术实现步骤摘要】
晶升装置和单晶炉


[0001]本技术涉及单晶炉的
,尤其涉及一种晶升装置和单晶炉。

技术介绍

[0002]籽晶熔接功能是直拉法单晶炉在拉晶过程中用于检测晶棒与液面是否接触的一种功能,主要是通过在钨丝绳上施加电流,检测电流的导通来检测籽晶与硅液是否接触。
[0003]在现有的晶升装置中,卷丝组件用于收卷或者放长钨丝,滑轮组件用于改变钨丝走向以使钨丝牵引籽晶,晶升装置还包括壳体,壳体作为卷丝组件、和滑轮组件的装配基体;
[0004]钨丝内需要通入电流,以检测硅液和钨丝是否接触,电流则走向为钨丝、硅液、单晶炉炉体,而在籽晶熔接过程中,由于设置了晶升装置,电流容易自钨丝直接通过晶升装置传递至单晶炉,导致检测功能失效,为了保证检测功能的正常进行,需要隔绝电流自晶升装置直接传递至单晶炉的回路。

技术实现思路

[0005](一)要解决的技术问题
[0006]鉴于现有技术的上述缺点、不足,本技术提供一种晶升装置,其解决了现有技术中存在的电流容易自钨丝直接通过晶升装置传递至单晶炉,导致检测功能失效的技术问题。
[0007](二)技术方案
[0008]为了达到上述目的,本技术采用的主要技术方案包括:
[0009]第一方面,本技术提供一种晶升装置,包括卷丝组件和滑轮组件和壳体,卷丝组件包括由内至外依次套设且同轴的输入轴、卷丝轴和花键套,花键套与卷丝轴可拆卸连接,输入轴转动连接于壳体;滑轮组件包括滑轮架、滑轮、转轴和起吊螺钉,滑轮沿转轴的轴线方向转动安装于转轴,转轴设于滑轮架,起吊螺钉设于滑轮架,起吊螺钉直接或间接的与壳体连接以悬吊滑轮组件;花键套与卷丝轴之间通过第一绝缘结构绝缘,滑轮架与转轴之间通过第二绝缘结构绝缘;和/或,滑轮架与起吊螺钉之间通过第三绝缘结构绝缘。
[0010]在本技术的一个技术方案中,晶升装置还包括称重组件,钨丝与称重组件之间绝缘;称重组件设置于壳体上,且与起吊螺钉连接以悬吊滑轮组件。
[0011]在该技术方案中,钨丝与称重组件之间绝缘,进而保证导电的钨丝不对称重组件产生影响,以保证称重组件称量示数的准确性。
[0012]在本技术的一个技术方案中,第一绝缘结构包括第一绝缘套,卷丝轴内具有第一柱形腔,花键套包括第一套筒,第一套筒插入第一柱形腔,第一绝缘套位于卷丝轴和花键套之间,且转矩能够自花键套传递至卷丝轴。
[0013]在该技术方案中,第一绝缘套设于第一柱形腔与花键套之间,用来建立起花键套与卷丝轴之间的绝缘关系,为了使得转矩能顺利的自输入轴传递至卷丝轴,可使得第一绝
缘套与花键套直接或间接的固定连接,同时使第一绝缘套与卷丝轴直接或间接的固定连接,如采用沉头螺栓建立固定连接关系。
[0014]在本技术的一个技术方案中,卷丝轴内还具有与第一柱形腔相连,且直径大于第一柱形腔的第二柱形腔,花键套还包括与第一套筒连接的第一法兰,第一绝缘结构还包括与第一绝缘套连接且位于第一法兰和第二柱形腔侧壁之间的第一绝缘法兰。
[0015]在该技术方案中,卷丝轴内还具有第二柱形腔,第一法兰能够将第一绝缘法兰压紧于第二柱形腔的侧壁上,进而使得花键套以及第一绝缘结构的位置得到进一步的限制,进而提高该卷丝组件的运行稳定性。
[0016]在本技术的一个技术方案中,第一法兰具有第一贯穿孔,第一绝缘结构还包括第二绝缘套、第一连接螺钉、承压垫和第一绝缘垫,第二绝缘套设于第一贯穿孔,第一连接螺钉螺纹连接于卷丝轴后,第一连接螺钉、承压垫、第一绝缘垫、第二绝缘套、第一绝缘法兰依次相抵。
[0017]在该技术方案中,第一法兰通过第一连接螺钉连接于卷丝轴,也即连接于第二柱形腔的侧壁上,还额外设置了第二绝缘套和第一绝缘垫,以建立起第一连接螺钉与第一法兰之间绝缘关系。
[0018]第一绝缘结构和花键套能够被第一螺钉限制于第二柱形腔内,能够进一步的提高该卷丝组件的运行稳定性。
[0019]在本技术的一个技术方案中,卷丝组件还包括位于花键套和卷丝轴之间的金属套,第一绝缘结构位于金属套与卷丝轴之间,卷丝轴具有第二贯穿孔,第一绝缘结构还包括第二连接螺钉、第三绝缘套和第三连接螺钉,第三绝缘套设于第二贯穿孔,第二连接螺钉穿过第三绝缘套后螺纹连接于金属套,金属套与花键套之间通过第三连接螺钉锁定。
[0020]在该技术方案中,卷丝组件中还额外设置了金属套,花键套通过金属套,经过第一绝缘结构后与卷丝轴接触,金属套相对于花键套和卷丝轴,其可加工性更佳,因此,可将花键套尺寸设置为与转轴匹配的形式,并且保证花键套的尺寸小于第一柱形腔和第二柱形腔的尺寸,通过容易加工的金属套去填充花键套与卷丝轴之间的间隙,能够提高卷丝组件的装配精度,进而进一步提高卷丝组件的运行稳定性。
[0021]具体的,金属套与卷丝轴之间通过第三连接螺钉固定连接,第三连接螺钉与金属套之间无需做绝缘处理,与卷子轴之间需要做绝缘处理;花键套通过第二连接螺钉固定于金属套,第二连接螺钉与金属套和花键套之间均不需要做绝缘处理。
[0022]在本技术的一个技术方案中,第二绝缘结构包括第四绝缘套和两个第二绝缘垫,转轴贯穿滑轮架,第四绝缘套和两个第二绝缘垫均套设于转轴,且第四绝缘套位于转轴和滑轮架之间,转轴的两端具有端部法兰,两个第二绝缘垫设于对应端部法兰和滑轮架之间。
[0023]在该技术方案中,第二绝缘结构用来建立起滑轮架与转轴之间的绝缘关系,以使电流不会自转轴传递至滑轮架,也就不会影响到称重组件的正常运行,由于转轴上设置有第四绝缘套和两个第二绝缘垫,因此,无论是转轴的侧壁与滑轮架之间,还是转轴的端部法兰与滑轮架之间均会得到绝缘,进而保证转轴与滑轮架之间绝缘关系的稳定性和可靠性。
[0024]在本技术的一个技术方案中,第四绝缘套具有断开区,转轴上对应断开区设有与滑轮配合的轴承组件,轴承组件通过第四绝缘套限定在转轴上的轴向位置。
[0025]在该技术方案中,滑轮通过轴承组件与转轴建立转动连接关系,使得第一绝缘套具有断开区,能够使第一绝缘套作为绝缘件的同时,还作为轴承组件的轴向限位件,达到一件两用的目的,进而提高该滑轮组件的结构紧凑性,节约成本。
[0026]在本技术的一个技术方案中,第三绝缘结构包括第五绝缘套和两个第三绝缘垫,滑轮架具有第三贯穿孔,第五绝缘套设于第三贯穿孔,起吊螺钉贯穿第五绝缘套,起吊螺钉与称重组件配合后,起吊螺钉、一个第三绝缘垫、滑轮架、另一个第三绝缘垫依次相抵。
[0027]在该技术方案中,通过第五绝缘套和第三绝缘垫建立起起吊螺钉与滑轮架之间的绝缘关系,如此,即使滑轮架得到了电流,电流也不会自滑轮架传递至起吊螺钉,更不会自起吊螺钉传递至称重组件,因此称重组件便不会受到电流的影响。
[0028]第二方面,本技术提供一种单晶炉,包括上述任一技术方案中的晶升装置,因此本技术方案中的单晶炉包括上述任一技术方案中晶升装置的全部有益效果,为避免重复,在此不做详述。
[0029]本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶升装置,包括:卷丝组件(1)和滑轮组件(2)和壳体(4),其特征在于:所述卷丝组件(1)包括由内至外依次套设且同轴的输入轴(11)、卷丝轴(12)和花键套(13),所述花键套(13)与所述卷丝轴(12)可拆卸连接,所述输入轴(11)转动连接于所述壳体(4);所述滑轮组件(2)包括滑轮架(21)、滑轮(22)、转轴(23)和起吊螺钉(24),所述滑轮(22)沿所述转轴(23)的轴线方向转动安装于所述转轴(23),所述转轴(23)设于所述滑轮架(21),所述起吊螺钉(24)设于所述滑轮架(21),所述起吊螺钉(24)直接或间接的与所述壳体(4)连接以悬吊所述滑轮组件(2);所述花键套(13)与所述卷丝轴(12)之间通过第一绝缘结构(A)绝缘,所述滑轮架(21)与所述转轴(23)之间通过第二绝缘结构(B)绝缘;和/或,所述滑轮架(21)与所述起吊螺钉(24)之间通过第三绝缘结构绝缘。2.如权利要求1所述的晶升装置,其特征在于:所述晶升装置还包括称重组件(3)和钨丝,所述钨丝与所述称重组件(3)之间绝缘;所述称重组件(3)设置于所述壳体(4)上,且与所述起吊螺钉(24)连接以悬吊所述滑轮组件(2)。3.如权利要求2所述的晶升装置,其特征在于:所述第一绝缘结构(A)包括第一绝缘套(A1),所述卷丝轴(12)内具有第一柱形腔(Z),所述花键套(13)包括第一套筒(131),所述第一套筒(131)插入所述第一柱形腔(Z),所述第一绝缘套(A1)位于所述卷丝轴(12)和所述花键套(13)之间,且转矩能够自所述花键套(13)传递至所述卷丝轴(12)。4.如权利要求3所述的晶升装置,其特征在于:所述卷丝轴(12)内还具有与所述第一柱形腔(Z)相连,且直径大于所述第一柱形腔(Z)的第二柱形腔(Y),所述花键套(13)还包括与所述第一套筒(131)连接的第一法兰(132),所述第一绝缘结构(A)还包括与所述第一绝缘套(A1)连接且位于所述第一法兰(132)和所述第二柱形腔(Y)侧壁之间的第一绝缘法兰(A2)。5.如权利要求4所述的晶升装置,其特征在于:所述第一法兰(132)具有第一贯穿孔,所述第一绝缘结构(A)还包括第二绝缘套(A3)、第一连接螺钉(A4)、承压垫(A5)和第一绝缘垫(A6...

【专利技术属性】
技术研发人员:吴新桦王嘉辛珊
申请(专利权)人:连城凯克斯科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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