本实用新型专利技术提供一种用于单晶炉水冷屏的提升装置及单晶炉，其中，提升装置包括提升底板、升降模组和导向套，提升底板设置在炉盖上，提升底板上设有与炉盖上的水冷屏孔对应且直径小于水冷屏孔直径的安装孔；水冷屏顶部的所述进/出水管穿过炉盖上的水冷屏孔和提升底板上的安装孔连接到升降模组；导向套安装于安装孔内并套设于水冷屏的进/出水管上，在水冷屏升降时对进/出水管进行导向。根据本实用新型专利技术实施例提供的提升装置通过将导向套安装于提升底板上并匹配水冷屏的进/出水管，以使得导向套对水冷屏的进/出水管进行约束，减小水冷屏的进/出水管偏心的概率，进一步提高单晶硅的成晶率。的成晶率。的成晶率。
【技术实现步骤摘要】
用于单晶炉水冷屏的提升装置及单晶炉
[0001]本技术涉及一种单晶硅制备领域，尤其涉及用于单晶炉水冷屏的提升装置及单晶炉。
技术介绍
[0002]当前单晶硅已普及多棒技术，水冷屏作为增加热场温度梯度的手段也已普及应用。加硅料时需要将水冷屏升起，但多次升降水冷屏后容易出现热屏偏心或导流筒偏心的问题。当存在热屏偏心或导流筒偏心的情况时会影响单晶硅的成晶率。
技术实现思路
[0003]有鉴于此，本技术的目的在于提供用于单晶炉水冷屏的提升装置，能够在水冷屏升降时对水冷屏进行升降以减小水冷屏升降时发生偏心的概率。
[0004]为解决上述技术问题，本技术采用以下技术方案：
[0005]第一方面，根据本技术实施例的用于单晶炉水冷屏的提升装置，所述水冷屏顶部的进/出水管穿过单晶炉的炉盖上的水冷屏孔与所述提升装置连接，
[0006]所述提升装置安装在所述炉盖上的所述水冷屏孔处，
[0007]其中，所述提升装置包括：
[0008]提升底板，所述提升底板设置在所述炉盖上，所述提升底板上设有与所述炉盖上的所述水冷屏孔对应且直径小于所述水冷屏孔直径的安装孔；
[0009]升降模组，所述升降模组安装于所述提升底板上，所述水冷屏顶部的所述进/出水管穿过所述炉盖上的所述水冷屏孔和所述提升底板上的所述安装孔连接到所述升降模组；
[0010]导向套，所述导向套安装于所述安装孔内并套设于所述水冷屏的所述进/出水管上，在所述水冷屏升降时对所述进/出水管进行导向。
[0011]进一步的，所述升降模组包括升降驱动、滑轨和滑块，所述滑块与滑轨滑动连接，所述升降驱动与所述滑块连接，驱动所述滑块沿所述滑轨做升降往复运动，所述滑块连接所述水冷屏的所述进/出水管的端部，在所述升降驱动的驱动力下，所述滑块带动所述进/出水管，进而带动所述水冷屏沿所述滑轨方向做往复运动。
[0012]进一步的，所述提升装置还包括对所述进/出水管与所述提升底板上的所述安装孔的连接处进行密封的密封组件，所述密封组件包括：
[0013]密封底板，所述密封底板可拆卸地连接所述提升底板并且设置有与所述提升底板上的所述安装孔对应且供所述进/出水管通过的通道；
[0014]波纹管，所述波纹管的下端与所述密封底板连接；
[0015]密封件，所述密封件连接所述波纹管的上端，且所述密封件连接于所述水冷屏的进/出水管的端部，所述滑块连接所述密封件，
[0016]其中，所述安装孔以及穿过所述安装孔位于所述安装孔上方的部分导向套和部分所述进/出水管位于所述波纹管内部。
[0017]进一步的，所述密封件包括：
[0018]密封顶板，所述密封顶板连接所述波纹管与所述滑块，且所述密封顶板开设有匹配所述水冷屏的所述进/出水管穿过的限位槽；
[0019]密封圈，所述密封圈位于所述密封顶板的限位槽与所述水冷屏的所述进/出水管之间；
[0020]连接件，所述连接件将所述水冷屏的所述进/出水管的外壁与所述密封顶板固定连接。
[0021]进一步的，所述导向套包括相对于其中心轴所在平面彼此对称的第一导向部与第二导向部，所述第一导向部与第二导向部彼此相对的一侧分别形成有与所述进/出水管匹配的半圆弧形凹槽，所述第一导向部与所述第二导向部拼接形成所述导向套。
[0022]进一步的，所述导向套外壁上设有凸缘，所述密封底板与所述提升底板之间形成有夹持所述凸缘的固定槽，以将所述导向套固定在所述提升底板上。
[0023]进一步的，所述导向套外壁上设有倒角，其中在所述凸缘的上方，所述倒角从下向上逐渐向所述导向套的中心轴倾斜，在所述凸缘的下方，所述倒角从上向下逐渐向所述导向套的中心轴倾斜。
[0024]进一步的，所述提升装置还包括：
[0025]金属罩，位于所述炉盖的所述水冷屏孔内且位于所述导向套的下方，以将所述导向套与所述单晶炉的内部空间隔绝开。
[0026]进一步的，所述金属罩呈U型，所述金属罩的顶端设置在所述提升底板的下表面，所述金属罩的侧壁与所述水冷屏孔的内壁紧贴，所述金属罩的底面位于所述导向套的下方并且开设有允许所述进/出水管穿过的通孔。
[0027]第二方面，本技术还提供一种单晶炉，包括：
[0028]炉体和盖设在所述炉体上的炉盖，所述炉盖上开设有水冷屏顶部的进/出水管穿过的水冷屏孔；
[0029]提升装置，所述提升装置如第一方面提供的任一项所述的提升装置，其中，所述提升装置安装于所述炉盖上的所述水冷屏孔处；
[0030]水冷屏，所述水冷屏位于所述炉体内且顶部的所述进/出水管穿过所述炉盖上的所述水冷屏孔与所述提升装置连接，并在所述提升装置的驱动下在所述炉体内做升降运动。
[0031]本技术的上述技术方案至少具有如下有益效果之一：
[0032]本技术公开的用于单晶炉水冷屏的提升装置，该提升装置通过将导向套安装于提升底板上并匹配水冷屏的进/出水管，以使得导向套对水冷屏的进/出水管进行约束，减小水冷屏的进/出水管偏心的概率，进一步提高单晶硅的成晶率。
附图说明
[0033]图1为本技术实施例中水冷屏的结构示意图；
[0034]图2为本技术实施例提供的用于单晶炉水冷屏的提升装置的整体结构示意图；
[0035]图3为本技术实施例提供的用于单晶炉水冷屏的提升装置中的导向套的结构
示意图；
[0036]图4为本技术实施例提供的用于单晶炉水冷屏的提升装置中的局部结构剖视图；
[0037]图5为本技术实施例提供的用于单晶炉水冷屏的提升装置的俯视图；
[0038]图6为本技术实施例提供的用于单晶炉水冷屏的提升装置的局部示意图；
[0039]图7为图6的截面示意图。
[0040]附图标记：
[0041]a1、锥形水套；a2、进水管；a3、出水管；a4、挡板；b1、炉盖；b11、水冷屏孔；
[0042]10、提升底板；110、固定槽；
[0043]20、升降模组；200、升降驱动；210、滑块；220、滑轨；230、减速机；240、联轴器；30、导向套；31、第一导向部；32、第二导向部；33、凸缘；40、密封组件；410、密封底板；411、固定螺丝；420、波纹管；430、密封件；431、密封顶板；432、密封圈；433、锁母；50、金属罩；60、软轴。
具体实施方式
[0044]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例的附图，对本技术实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本技术的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0045]如图1所示，本技术实施例中的水冷屏底部为锥形水套a1，中间有隔层，隔层内分本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于单晶炉水冷屏的提升装置，所述水冷屏顶部的进/出水管穿过单晶炉的炉盖上的水冷屏孔与所述提升装置连接，其特征在于，所述提升装置安装在所述炉盖上的所述水冷屏孔处，其中，所述提升装置包括：提升底板，所述提升底板设置在所述炉盖上，所述提升底板上设有与所述炉盖上的所述水冷屏孔对应且直径小于所述水冷屏孔直径的安装孔；升降模组，所述升降模组安装于所述提升底板上，所述水冷屏顶部的所述进/出水管穿过所述炉盖上的所述水冷屏孔和所述提升底板上的所述安装孔连接到所述升降模组；导向套，所述导向套安装于所述安装孔内并套设于所述水冷屏的所述进/出水管上，在所述水冷屏升降时对所述进/出水管进行导向。2.如权利要求1所述的用于单晶炉水冷屏的提升装置，其特征在于，所述升降模组包括升降驱动、滑轨和滑块，所述滑块与滑轨滑动连接，所述升降驱动与所述滑块连接，驱动所述滑块沿所述滑轨做升降往复运动，所述滑块连接所述水冷屏的所述进/出水管的端部，在所述升降驱动的驱动力下，所述滑块带动所述进/出水管，进而带动所述水冷屏沿所述滑轨方向做往复运动。3.如权利要求2所述的用于单晶炉水冷屏的提升装置，其特征在于，所述提升装置还包括对所述进/出水管与所述提升底板上的所述安装孔的连接处进行密封的密封组件，所述密封组件包括：密封底板，所述密封底板可拆卸地连接所述提升底板并且设置有与所述提升底板上的所述安装孔对应且供所述进/出水管通过的通道；波纹管，所述波纹管的下端与所述密封底板连接；密封件，所述密封件连接所述波纹管的上端，且所述密封件连接于所述水冷屏的进/出水管的端部，所述滑块连接所述密封件，其中，所述安装孔以及穿过所述安装孔位于所述安装孔上方的部分导向套和部分所述进/出水管位于所述波纹管内部。4.如权利要求3所述的用于单晶炉水冷屏的提升装置，其特征在于，所述密封件包括：密封顶板，所述密封顶板连接所述波纹管与所述滑块，且所述密封顶板开设有匹配所述水冷屏的所述进/出水管穿过的限位槽；密封...
【专利技术属性】
技术研发人员：贾世涛，李永哲，赵京通，
申请(专利权)人：晶澳无锡光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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