用于晶圆片载盘存放的运输车制造技术

本公开涉及一种用于晶圆片载盘存放的运输车，该运输车包括箱体、多个放置组件、空气净化装置、电源以及行走机构，其中，箱体内部设置有分隔板，以将箱体分成相互隔绝的第一空间和第二空间；多组放置组件沿竖直方向间隔均匀地布置在第一空间内，且每组放置组件分别包括两个相对设置在箱体两侧内壁的固定板；空气净化装置集成在箱体上以用于净化第一空间内的空气；电源容纳于第二空间内，用于为空气净化装置供电；行走机构设置于箱体的底部。通过上述技术方案，该运输车能够有效避免晶圆片在转运过程中被污染，同时提高晶圆片的转运效率。同时提高晶圆片的转运效率。同时提高晶圆片的转运效率。

【技术实现步骤摘要】
用于晶圆片载盘存放的运输车


[0001]本公开涉及半导体存放与运输
，具体地，涉及一种用于晶圆片载盘存放的运输车。

技术介绍

[0002]随着芯片、半导体行业的快速发展，对晶圆片表面的洁净度也要求越来越高，为了高效且可靠地制造上述产品，就必须要对生产过程保持很严格的污染控制。例如，作为芯片前道制程的图形化衬底工序，图形的完整性影响产品合格率，且对在其上生长的LED性能有着重大影响，然而在图形化衬底的生产过程中往往存在搬运和等待的现象，传统通常通过单片盒或者晶舟以进行晶圆片的转运，但是该种方式无法实现将晶圆片与空气中悬浮的其它小颗粒隔离，容易对晶圆片造成污染，导致蚀刻后图形缺失或不完整，特别是在待蚀刻阶段，为了控制生产过程中的污染程度并将其最小化，因此需要对其搬运及等待的洁净度进行管控。

技术实现思路

[0003]本公开的目的是提供一种用于晶圆片载盘存放的运输车，该运输车能够有效避免晶圆片在转运过程中被污染，同时提高晶圆片的转运效率。
[0004]为了实现上述目的，本公开提供一种用于晶圆片载盘存放的运输车，所述运输车包括：箱体，所述箱体内部设置有分隔板，以将所述箱体分成相互隔绝的第一空间和第二空间；多个放置组件，多组所述放置组件沿竖直方向间隔均匀地布置在所述第一空间内，且每组所述放置组件分别包括两个相对设置在所述箱体两侧内壁的固定板；空气净化装置，所述空气净化装置集成在所述箱体上以用于净化所述第一空间内的空气；电源，所述电源容纳于第二空间内，用于为所述空气净化装置供电；以及行走机构，所述行走机构设置于所述箱体的底部。
[0005]可选地，多组所述放置组件在竖直方向上的间隔为9mm～12mm。
[0006]可选地，相对的两个所述固定板之间的距离为370mm～420mm。
[0007]可选地，所述箱体铰接有用于打开或关闭所述第一空间的第一箱门。
[0008]可选地，所述空气净化装置包括过滤器，所述过滤器安装于所述箱体的第一侧面，所述第一侧面与所述第一箱门相对。
[0009]可选地，所述箱体包括把手，所述把手固定在与所述第一侧面相邻的两个侧面中的任意一个，所述把手上设置有开关，所述开关与所述空气净化装置电连接，以用于控制所述空气净化装置的启闭。
[0010]可选地，所述放置组件包括紧固件，两个所述固定板通过所述紧固件分别固定于与所述第一箱门相邻的两个侧壁的内表面。
[0011]可选地，所述运输车包括显示面板，所述显示面板集成设置在所述第一箱门。
[0012]可选地，所述箱体铰接有用于打开或关闭所述第二空间的第二箱门。
[0013]可选地，所述行走机构包括电机和行走轮，所述电机与所述电源电连接并且固定安装在所述第二空间内，所述行走轮固定安装在所述箱体的底部并与所述电机传动连接。
[0014]通过上述技术方案，在本公开提供的用于晶圆片载盘存放的运输车中，箱体通过分隔板分成相互隔绝的第一空间和第二空间，第一空间内设置有供晶圆片载盘存放的放置组件，并且箱体上集成设置有空气净化装置以用来净化第一空间内的空气，这样，当承装有晶圆片的载盘被放置在第一空间内通过该运输车进行转运时，箱体能够在一定程度上保护晶圆片不受外部污染源污染或外力损坏，并且空气净化装置能够为第一空间内部提供净化后的洁净空气，以避免空气中的灰尘、小颗粒等与晶圆片接触并附着在晶圆片表面，以进一步避免晶圆片在转运过程中遭受污染。此外，第一空间内的放置组件的数量为多个且箱体底部设置有行走机构，能够有效提高晶圆片的转运效率。
[0015]本公开的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。
附图说明
[0016]附图是用来提供对本公开的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本公开，但并不构成对本公开的限制。在附图中：
[0017]图1是本公开实施例提供的用于晶圆片载盘存放的运输车的结构示意图；
[0018]图2是本公开实施例提供的用于晶圆片载盘存放的运输车的结构示意图。
[0019]附图标记说明
[0020]1‑
箱体；11
‑
第一空间；12
‑
第二空间；13
‑
第一箱门；14
‑
第二箱门；15
‑
把手；2
‑
分隔板；3
‑
固定板；41
‑
过滤器；42
‑
开关；5
‑
电源；6
‑
显示面板；71
‑
电机；72
‑
行走轮。
具体实施方式
[0021]以下结合附图对本公开的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本公开，并不用于限制本公开。
[0022]在本公开中，在未作相反说明的情况下，使用的方位词如“内、外”是指相对于对应部件的自身轮廓而言的“内、外”。此外，本公开所使用的术语“第一”、“第二”等是为了区分一个要素和另一个要素，不具有顺序性和重要性。此外，在下面的描述中，当涉及到附图时，除非另有解释，不同的附图中相同的附图标记表示相同或相似的要素。上述定义仅用于解释和说明本公开，不应当理解为对本公开的限制。
[0023]根据本公开的具体实施方式，参考图1至图2中所示，提供一种用于晶圆片载盘存放的运输车，该运输车包括：箱体1、多个放置组件、空气净化装置、电源5、以及行走机构，其中，箱体1内部设置有分隔板2，以将箱体1分成相互隔绝的第一空间11和第二空间12；多组放置组件沿竖直方向间隔均匀地布置在第一空间11内，且每组放置组件分别包括两个相对设置在箱体1两侧内壁的固定板3；空气净化装置集成在箱体1上以用于净化第一空间11内的空气；电源5容纳于第二空间12内，用于为空气净化装置供电；行走机构设置于箱体1的底部。
[0024]通过上述技术方案，在本公开提供的用于晶圆片载盘存放的运输车中，箱体1通过分隔板2分成相互隔绝的第一空间11和第二空间12，第一空间11内设置有供晶圆片载盘存放的放置组件，并且箱体1上设置有空气净化装置以用来净化第一空间11内的空气，这样，
当承装有晶圆片的载盘被放置在第一空间11内通过该运输车进行转运时，箱体1能够在一定程度上保护晶圆片不受外部污染源污染或外力损坏，并且空气净化装置能够为第一空间11内部提供净化后的洁净空气，以避免空气中的灰尘、小颗粒等与晶圆片接触并附着在晶圆片表面，以进一步避免晶圆片在转运过程中遭受污染。此外，第一空间11内的放置组件的数量为多个且箱体1底部设置有行走机构，能够有效提高晶圆片的转运效率。
[0025]在本公开提供的用于晶圆片载盘存放的运输车中，多组放置组件在竖直方向上的间距可以根据承载有晶圆片的载盘的高度进行合适的设置，本公开对此不作具体限制。作为一种示例性实施例，多组放置组件在竖直方向上的间距可以为9mm～12mm，例如9.5本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆片载盘存放的运输车，其特征在于，所述运输车包括：箱体，所述箱体内部设置有分隔板，以将所述箱体分成相互隔绝的第一空间和第二空间；多个放置组件，多组所述放置组件沿竖直方向间隔均匀地布置在所述第一空间内，且每组所述放置组件分别包括两个相对设置在所述箱体两侧内壁的固定板；空气净化装置，所述空气净化装置集成在所述箱体上以用于净化所述第一空间内的空气；电源，所述电源容纳于第二空间内，用于为所述空气净化装置供电；以及行走机构，所述行走机构设置于所述箱体的底部。2.根据权利要求1所述的用于晶圆片载盘存放的运输车，其特征在于，多组所述放置组件在竖直方向上的间距为9mm～12mm。3.根据权利要求1所述的用于晶圆片载盘存放的运输车，其特征在于，相对的两个所述固定板之间的距离为370mm～420mm。4.根据权利要求1所述的用于晶圆片载盘存放的运输车，其特征在于，所述箱体铰接有用于打开或关闭所述第一空间的第一箱门。5.根据权利要求4所述的用于晶圆片载盘存放的运输车，其特征在于，所述空气净化装置包括过滤器，所述过滤器安装于所述箱体...

【专利技术属性】
技术研发人员：林基明，李孟轩，林宏达，翟虎，
申请(专利权)人：浙江丽晖智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：