本公开提供了一种图像处理方法、装置、设备及存储介质，所述方法包括：获取待检测晶圆对应的晶圆图像；基于晶圆图像中各个像素点的像素值，对晶圆图像进行分割处理，得到晶圆图像对应的第一晶圆子图像和第二晶圆子图像；根据第一晶圆子图像和第二晶圆子图像确定待检测晶圆的边缘崩边区域图像；提取边缘崩边区域图像的轮廓特征作为图像特征；基于图像特征确定待检测晶圆是否存在预设缺陷。采用该方法，可以采集晶圆图像，通过提取晶圆图像的边缘崩边区域图像的图像特征，利用图像特征检测晶圆缺陷，节省了人工资源的同时提高了检测效率。节省了人工资源的同时提高了检测效率。节省了人工资源的同时提高了检测效率。
【技术实现步骤摘要】
一种图像处理方法、装置、设备及存储介质
[0001]本公开涉及图像处理
，尤其涉及一种图像处理方法、装置、设备及存储介质。
技术介绍
[0002]晶圆是用于制造半导体器件的基础性原材料。由于晶圆的生产会经过切割、抛光和研磨等多道繁琐复杂的工序，晶圆在生产过程中可能会产生崩边、裂纹等各种缺陷。这些缺陷会影响晶圆品质，因此如何检测晶圆的缺陷十分重要。然而，目前对于晶圆的边缘崩边检测主要为使用显微镜对晶圆表面进行观察的人工检测方式，这种检测方式不仅耗费大量人工资源而且检测效率也较低。
技术实现思路
[0003]本公开提供了一种图像处理方法、装置、设备及存储介质，以至少解决现有技术中存在的以上技术问题。
[0004]根据本公开的第一方面，提供了一种图像处理方法，所述方法包括：
[0005]获取待检测晶圆对应的晶圆图像；
[0006]基于所述晶圆图像中各个像素点的像素值，对所述晶圆图像进行分割处理，得到所述晶圆图像对应的第一晶圆子图像和第二晶圆子图像；
[0007]根据所述第一晶圆子图像和所述第二晶圆子图像确定所述待检测晶圆的边缘崩边区域图像；
[0008]提取所述边缘崩边区域图像的轮廓特征，作为图像特征；
[0009]基于所述图像特征确定所述待检测晶圆是否存在预设缺陷。
[0010]在一可实施方式中，所述基于所述晶圆图像中各个像素点的像素值，对所述晶圆图像进行分割处理，得到所述晶圆图像对应的第一晶圆子图像和第二晶圆子图像，包括：
[0011]根据所述晶圆图像中各个像素点的像素值和预设像素值区间，将所述晶圆图像分割为第一晶圆子图像和第二晶圆子图像。
[0012]在一可实施方式中，所述根据所述晶圆图像中各个像素点的像素值和预设像素值区间，将所述晶圆图像分割为第一晶圆子图像和第二晶圆子图像，包括：
[0013]针对所述晶圆图像的每个像素点，若该像素点的原始像素值在预设像素值区间内，将第一预设像素值赋值为该像素点的像素值，若该像素点的原始像素值不在预设像素值区间内，将第二预设像素值赋值为该像素点的像素值，其中，所述第一预设像素值大于所述第二预设像素值；
[0014]将像素值为所述第一预设像素值的像素点所构成的图像确定为第一晶圆子图像，以及，将像素值为所述第二预设像素值的像素点所构成的图像确定为第二晶圆子图像。
[0015]在一可实施方式中，所述根据所述第一晶圆子图像和所述第二晶圆子图像确定所述待检测晶圆的边缘崩边区域图像，包括：
[0016]从所述第一晶圆子图像和所述第二晶圆子图像中确定出表征所述待检测晶圆的表面区域的子图像，作为晶圆表面子图像；
[0017]确定包含所述晶圆表面子图像的凸包图像；
[0018]基于所述凸包图像和所述晶圆表面子图像确定所述待检测晶圆的边缘崩边区域图像。
[0019]在一可实施方式中，所述提取所述边缘崩边区域图像的轮廓特征，作为图像特征，包括：
[0020]提取所述边缘崩边区域图像对应的轮廓线；
[0021]按照预设分割规则对所述轮廓线进行分割，得到多个轮廓线段；
[0022]确定各个所述轮廓线段对应的角度信息；
[0023]基于所述角度信息确定所述边缘崩边区域图像的图像特征。
[0024]在一可实施方式中，所述按照预设分割规则对所述轮廓线进行分割，得到多个轮廓线段，包括：
[0025]获取各个轮廓像素点的第一坐标信息，其中，所述轮廓像素点为构成所述轮廓线的像素点；
[0026]从各个轮廓像素点中选取第一预设数量的目标轮廓像素点；
[0027]将相邻的两个目标轮廓像素点作为线段端点，基于所述第一预设数量的目标轮廓像素点确定出多个第一线段；
[0028]针对每个第一线段，根据所述第一坐标信息计算所述轮廓线中位于该第一线段的两个端点之间的各个轮廓像素点与该第一线段之间的距离；
[0029]确定各个轮廓像素点与该第一线段之间的距离中的最大距离是否大于预设距离阈值；
[0030]如果是，将所述最大距离对应的轮廓像素点与该第一线段的两个端点分别连线得到两个新的第一线段，针对每个新的第一线段返回计算所述轮廓线中位于该第一线段的两个端点之间的各个轮廓像素点与该第一线段之间的距离的步骤；
[0031]如果否，将该第一线段确定为轮廓线段。
[0032]在一可实施方式中，所述按照预设分割规则对所述轮廓线进行分割，得到多个轮廓线段，包括：
[0033]获取各个轮廓像素点的第一坐标信息；
[0034]从各个轮廓像素点中选取第一预设数量的目标轮廓像素点；
[0035]将相邻的两个目标轮廓像素点作为线段端点，基于所述第一预设数量的目标轮廓像素点确定出多个第二线段；
[0036]针对当前的第二线段，根据所述第一坐标信息计算所述轮廓线段中位于该第二线段的两个端点之间的各个轮廓像素点与该第二线段之间的距离；
[0037]确定各个轮廓像素点与该第二线段之间的距离中的最大距离是否大于预设距离阈值；
[0038]如果是，将所述最大距离对应的轮廓像素点确定为目标轮廓像素点，并返回所述将相邻的两个目标轮廓像素点作为线段端点，基于所述第一预设数量的目标轮廓像素点确定出多个第二线段的步骤；
[0039]如果否，将该第二线段确定为轮廓线段，并针对下一个第二线段，返回执行所述计算所述轮廓线段中位于该第二线段的两个端点之间的各个轮廓像素点与该第二线段之间的距离的步骤，直至各个所述第二线段均被遍历到。
[0040]在一可实施方式中，所述提取所述边缘崩边区域图像对应的轮廓线，包括：
[0041]对所述边缘崩边区域图像进行平滑处理，得到平滑处理后的边缘崩边区域图像；
[0042]将所述平滑处理后的边缘崩边区域图像确定为所述边缘崩边区域图像对应的轮廓线。
[0043]在一可实施方式中，所述确定各个所述轮廓线段对应的角度信息，包括：
[0044]获取在同一坐标系下各个所述轮廓线段对应的直线的斜率；
[0045]根据所述斜率，确定各个所述轮廓线段对应的角度信息。
[0046]在一可实施方式中，所述基于所述角度信息确定所述边缘崩边区域图像的图像特征，包括：
[0047]计算每相邻的两个轮廓线段之间的角度差值，得到多个角度差值；
[0048]确定多个角度差值中数值大于预设差值阈值的角度差值的数量确定为极值点数量，并将所述极值点数量确定为所述边缘崩边区域图像的图像特征。
[0049]在一可实施方式中，所述基于所述图像特征确定所述待检测晶圆是否存在预设缺陷，包括：
[0050]如果极值点数量大于第二预设数量，确定所述待检测晶圆存在崩边缺陷。
[0051]根据本公开的第二方面，提供了一种图像处理装置，所述装置包括：
[0052]晶圆图像获取模块，用于获取待检测晶圆对应的晶圆图像；
[0053]图本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种图像处理方法，其特征在于，所述方法包括：获取待检测晶圆对应的晶圆图像；基于所述晶圆图像中各个像素点的像素值，对所述晶圆图像进行分割处理，得到所述晶圆图像对应的第一晶圆子图像和第二晶圆子图像；根据所述第一晶圆子图像和所述第二晶圆子图像确定所述待检测晶圆的边缘崩边区域图像；提取所述边缘崩边区域图像的轮廓特征，作为图像特征；基于所述图像特征确定所述待检测晶圆是否存在预设缺陷。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于所述晶圆图像中各个像素点的像素值，对所述晶圆图像进行分割处理，得到所述晶圆图像对应的第一晶圆子图像和第二晶圆子图像，包括：根据所述晶圆图像中各个像素点的像素值和预设像素值区间，将所述晶圆图像分割为第一晶圆子图像和第二晶圆子图像。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述根据所述晶圆图像中各个像素点的像素值和预设像素值区间，将所述晶圆图像分割为第一晶圆子图像和第二晶圆子图像，包括：针对所述晶圆图像的每个像素点，若该像素点的原始像素值在预设像素值区间内，将第一预设像素值赋值为该像素点的像素值，若该像素点的原始像素值不在预设像素值区间内，将第二预设像素值赋值为该像素点的像素值，其中，所述第一预设像素值大于所述第二预设像素值；将像素值为所述第一预设像素值的像素点所构成的图像确定为第一晶圆子图像，以及，将像素值为所述第二预设像素值的像素点所构成的图像确定为第二晶圆子图像。4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述第一晶圆子图像和所述第二晶圆子图像确定所述待检测晶圆的边缘崩边区域图像，包括：从所述第一晶圆子图像和所述第二晶圆子图像中确定出表征所述待检测晶圆的表面区域的子图像，作为晶圆表面子图像；确定包含所述晶圆表面子图像的凸包图像；基于所述凸包图像和所述晶圆表面子图像确定所述待检测晶圆的边缘崩边区域图像。5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述提取所述边缘崩边区域图像的轮廓特征，作为图像特征，包括：提取所述边缘崩边区域图像对应的轮廓线；按照预设分割规则对所述轮廓线进行分割，得到多个轮廓线段；确定各个所述轮廓线段对应的角度信息；基于所述角度信息确定所述边缘崩边区域图像的图像特征。6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述按照预设分割规则对所述轮廓线进行分割，得到多个轮廓线段，包括：获取各个轮廓像素点的第一坐标信息，其中，所述轮廓像素点为构成所述轮廓线的像素点；从各个轮廓像素点中选取第一预设数量的目标轮廓像素点；将相邻的两个目标轮廓像素点作为线段端点，基于所述第一预设数量的目标轮廓像素
点确定出多个第一线段；针对每个第一线段，...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴立升，张武杰，
申请(专利权)人：中科慧远视觉技术洛阳有限公司，
类型：发明
国别省市：
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