一种等离子浸没注入调节金属有机框架薄膜电化学性质的方法技术

本发明专利技术属于金属有机框架薄膜技术领域，具体为一种等离子浸没注入调节金属有机框架薄膜电化学性质的方法。本发明专利技术是通过等离子浸没注入的方式，在维持MOF薄膜多孔网络结构的基础上，按需调控MOF薄膜内部稳定化学键连接的金属离子种类和数量，实现MOF薄膜电化学性质的调控，具体步骤包括：把衬底上合成的MOF薄膜置入等离子浸没注入设备的样品台；金属靶材装入等离子浸没注入的靶材室；设置注入电压和注入时间；打开设备将所需离子注入MOF薄膜，实现MOF薄膜内部金属离子种类的改变和电化学性质的调节。本发明专利技术方法为气相调控，全过程无有机溶剂参与，一步调控MOF薄膜中金属离子，实现快速大规模制备，且具有普适性和可调控性。且具有普适性和可调控性。且具有普适性和可调控性。

【技术实现步骤摘要】
一种等离子浸没注入调节金属有机框架薄膜电化学性质的方法


[0001]本专利技术属于金属有机框架薄膜
，具体涉及金属有机框架薄膜电化学性能调控的方法。

技术介绍

[0002]金属有机框架（MOF）是一类由过渡金属离子和有机配体形成的具有周期性网络结构的配位聚合物，具有大比表面积、高孔隙率、高含量过渡金属离子和丰富的不饱和配位点等特点（Chem. Rec. 2023, 23, e202300006），在气体传感、生物传感、电化学催化、气体分离、生物载药等多领域得到了广泛应用。对电化学传感和催化领域来说，相比于MOF颗粒，MOF薄膜具有分散均匀、活性位点暴露充分、电子传导网络稳定等优势（Mater. Horiz. 2021, 8, 168），电化学性能更佳。
[0003]然而MOF的电化学传感机制依赖于过渡金属离子，MOF的传感目标、性能与MOF的金属离子和结构相对应（Anal. Bioanal. Chem. 2023, 415, 2005
‑
2023），这极大地限制了MOF的应用。采用后处理调控MOF中的金属离子成为本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种等离子浸没注入调节金属有机框架薄膜电化学性质的方法，其特征在于，是通过等离子浸没注入的方式，在维持MOF薄膜多孔网络结构的基础上，按需调控MOF薄膜内部稳定化学键连接的金属离子种类和数量，实现MOF薄膜电化学性质的调控，具体步骤如下：（1）将衬底上合成的MOF薄膜置入等离子浸没注入设备的样品台；（2）金属靶材装入等离子浸没注入的靶材室；（3）设置注入电压和注入时间；（4）打开设备将所需离子注入MOF薄膜，实现MOF薄膜内部金属离子种类的改变和电化学性质的调节。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤（1）中：所述衬底，为二维平面基底或多级结构基底；其中：所述二维平面基底为单晶硅片、氧化硅片或柔性聚合物平面衬底；所述多级结构基底为高深宽比结构器件、纤维线状材料或硅阵列柱状基底。3.根据权利要求1所述的方法，...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄高山，王金龙，赵哲，梅永丰，
申请(专利权)人：复旦大学，
类型：发明
国别省市：