超结构材料及其制备方法技术

本发明专利技术涉及一种超结构材料及其制备方法，该制备方法包括如下步骤：将所需加工的衬底固定放置于样品仓的样品台上，关闭所述样品仓并抽真空；开启薄膜制备系统以对所述衬底进行镀膜；关闭所述薄膜制备系统，开启离子注入系统和图形发生器以对所述衬底进行图案化离子注入；关闭离子注入系统和图形发生器。可以实现超结构材料制备的可控性，在进行超结构材料制备时，可以对薄膜生长环境、生长速率进行实时监控，还可以对离子源进行实时切换，且该制备方法具有较强的普适性，适用于金属及其合金、半导体功能材料以及陶瓷材料等。半导体功能材料以及陶瓷材料等。半导体功能材料以及陶瓷材料等。

【技术实现步骤摘要】
超结构材料及其制备方法


[0001]本专利技术涉及材料制备领域，尤其涉及一种超结构材料及其制备方法。

技术介绍

[0002]超结构材料是指在一定结构层次基础上形成的周期性有序结构的一种新型材料，由于超结构材料具有规则的三维结构，并能够继承其构建单元的基本属性，因此超结构材料具有优异的性能，例如超结构材料具有超高的机械强度、良好的热稳定性、高电导率以及化学性质稳定等，使其在能源存储、光电器件等领域有着极为广阔的应用前景。
[0003]然而现有的超结构材料制备方法一般是通过自组装方式进行的，所获得的材料不是通过人为设计的，不具有可控性，主要用于超晶格材料和金属多层膜的制备。
[0004]因此，亟需一种简单、经济、高效、可控的三维超结构材料制备方法，不仅能极大地拓展基础研究空间，而且对三维超结构材料的实际应用有巨大的推进作用。

技术实现思路

[0005]本专利技术提供一种超结构材料及其制备方法，用以解决现有技术中超结构材料通过自组装方式制备，不具有可控性的技术问题，实现超结构材料的可控制备。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种超结构材料的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：将所需加工的衬底固定放置于样品仓的样品台上，关闭所述样品仓并抽真空；开启薄膜制备系统以对所述衬底进行镀膜；关闭所述薄膜制备系统，开启离子注入系统和图形发生器以对所述衬底进行图案化离子注入；关闭所述离子注入系统和所述图形发生器。2.根据权利要求1所述的超结构材料的制备方法，其特征在于，重复m次所述开启薄膜制备系统以对所述衬底进行镀膜，关闭所述薄膜制备系统，开启离子注入系统和图形发生器以对所述衬底进行图案化离子注入，关闭所述离子注入系统和所述图形发生器的步骤，以制备不同厚度的所述超结构材料；其中，m为大于等于2的整数。3.根据权利要求1所述的超结构材料的制备方法，其特征在于，所述将所需加工的衬底固定放置于样品仓的样品台上，关闭所述样品仓并抽真空的步骤，具体包括：将所需加工的衬底固定放置于样品仓的样品台上，旋转所述样品台以使所述样品台呈角度设置，关闭所述样品仓，开启泵体对所述样品仓进行抽真空，使得所述样品仓内的压力小于等于0.001Pa。4.根据权利要求1所述的超结构材料的制备方法，其特征在于，所述开启薄膜制备系统以对所述衬底进行镀膜的步骤，具体包括：关闭所述样品台上方的挡板，调节所述样品台至预设温度，调整所述薄膜制备系统至所述样品台的工作距离，开启所述薄膜制备系统的电源以完成对所述衬底的镀膜。5.根据权利要求1所述的超结构材料的制备方...

【专利技术属性】
技术研发人员：孟祥敏，田利丰，刘培，马玉田，
申请(专利权)人：中国科学院理化技术研究所，
类型：发明
国别省市：