传感器、防结冰及除冰涂层及其制备方法技术

本发明专利技术公开一种传感器、防结冰及除冰涂层、防结冰及除冰涂层的制备方法，防结冰及除冰涂层的制备方法包括如下步骤：S100，采用离子注入技术，在元器件表面进行金属离子注入以形成第一离子注入层；S200，采用磁过滤阴极真空弧放电技术，在第一离子注入层表面沉积形成氧化物陶瓷绝缘层；S300，采用离子注入技术，在氧化物陶瓷绝缘层表面进行金属离子注入以形成第二离子注入层；S400，采用磁过滤阴极真空弧放电技术，在第二离子注入层上沉积形成金属导电加热层；S500，采用磁过滤阴极真空弧放电技术，在金属导电加热层表面交替沉积金属层和金属氮化物层多次以形成功能防护层。本发明专利技术的涂层与元器件之间具有较强的结合力，同时具有优良的防结冰、除冰性能。除冰性能。除冰性能。

【技术实现步骤摘要】
传感器、防结冰及除冰涂层及其制备方法


[0001]本专利技术涉及采用物理气相沉积法进行表面处理的
，具体的说，是涉及一种防结冰及除冰涂层、防结冰及除冰涂层的制备方法，本专利技术还涉及一种具有该防结冰及除冰涂层的传感器。

技术介绍

[0002]例如传感器的很多元器件都需要在过冷、高湿度环境中工作，此时传感器等元器件表面会结冰而导致元器件失灵，无法获得有效的测试数据。为解决上述问题，传统的解决方式是对传感器等元器件上布加热丝，进行加热除冰，同时为了节约能源，再在传感器等元器件表面沉积自清洁涂层材料，这样可以做到主动防结冰。但是传统的加热除冰需要在传感器等元器件上布加热丝，工序复杂、成品率低，并且在传感器等元器件表面布加热丝的工艺对自清洁涂层的结合力有不好的影响。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的是提供一种防结冰及除冰涂层、防结冰及除冰涂层的制备方法，该涂层包括依次设置的第一离子注入层、氧化物陶瓷绝缘层、第二离子注入层、金属导电加热层和功能防护层，该涂层与元器件之间具有较强的结合力，同时具有优良的防结冰、除冰性能，确保本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种防结冰及除冰涂层，其特征在于，包括：第一离子注入层，设置于元器件表面；氧化物陶瓷绝缘层，设置于所述第一离子注入层上；第二离子注入层，设置于所述氧化物陶瓷绝缘层上；金属导电加热层，设置于所述第二离子注入层上；以及功能防护层，设置于所述金属导电加热层上，包括多次交叠设置的金属层和金属氮化物层。2.根据权利要求1所述的防结冰及除冰涂层，其特征在于，所述第一离子注入层的厚度小于100nm；所述氧化物陶瓷绝缘层的厚度为5～20μm；所述第二离子注入层的厚度小于100nm；所述金属导电加热层的厚度为2～5μm。3.根据权利要求1或2所述的防结冰及除冰涂层，其特征在于，所述功能防护层的厚度为5～10μm，单层所述金属层的厚度为100～300nm，单层所述金属氮化物层的厚度为500～1000nm。4.根据权利要求1所述的防结冰及除冰涂层，其特征在于，所述金属层和所述金属氮化物层交叠设置5至10次。5.一种防结冰及除冰涂层的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：S100，采用离子注入技术，在元器件表面进行金属离子注入以形成第一离子注入层；S200，采用磁过滤阴极真空弧放电技术，在第一离子注入层表面沉积形成氧化物陶瓷绝缘层；S300，采用离子注入技术，在氧化物陶瓷绝缘层表面进行金属离子注入以形成第二离子注入层；S400，采用磁过滤阴极真空弧放电技术，在第二离子注入层上沉积形成金属导电加热层；S500，采用磁过滤阴极真空弧放电技术，在金属导电加热层表面交替沉积金属层和金属氮化物层多次以形成功能防护层。6.根据权利要求5所述的防结冰及除冰涂层的制备方法，其特征在于，所述步骤S100以及S300中，真空度达到1.0
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‑3Pa，使元器件正对着金属离子源，离子源电压为8～12kV，引出束流为3～8mA，对元器件表面进行高能...

【专利技术属性】
技术研发人员：邱维维，王非，王宁威，孟晖，
申请(专利权)人：北京机械工业自动化研究所有限公司，
类型：发明
国别省市：