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本发明涉及一种超结构材料及其制备方法，该制备方法包括如下步骤：将所需加工的衬底固定放置于样品仓的样品台上，关闭所述样品仓并抽真空；开启薄膜制备系统以对所述衬底进行镀膜；关闭所述薄膜制备系统，开启离子注入系统和图形发生器以对所述衬底进行图案化...
该专利属于中国科学院理化技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院理化技术研究所授权不得商用。

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