晶圆收纳容器与用于该晶圆收纳容器的盖的组装体制造技术

本发明专利技术涉及一种晶圆收纳容器与用于该晶圆收纳容器的盖的组装体。根据本发明专利技术的一实施例的晶圆收纳容器与用于该晶圆收纳容器的盖的组装体，包括：收纳容器，在内部形成有能够收容一个以上的晶圆的空间；紧固部，形成于所述收纳容器的下部外侧，形成有能够紧固盖的紧固空间；以及盖，形成有在一侧形成为一字型并在端部包括有第一突出部的卡止部，并且构成为所述卡止部紧固于所述紧固部的结构；其中，所述紧固部包括：内壁，与所述盖的外周表面紧贴；以及紧固孔，形成于所述紧固部的一侧，构成为孔形状，以供所述卡止部紧固；其中，所述盖包括：固定壁，形成于与所述卡止部相面对的另一侧，紧贴于所述内壁，使得所述盖固定于所以述紧固部。部。部。

【技术实现步骤摘要】
晶圆收纳容器与用于该晶圆收纳容器的盖的组装体


[0001]本专利技术涉及一种晶圆收纳容器与用于该晶圆收纳容器的盖的组装体。更具体地，本专利技术涉及一种用于在晶圆收纳容器的下部设置盖的晶圆收纳容器与用于该晶圆收纳容器的盖的组装体。

技术介绍

[0002]在处理诸如半导体制造用晶圆、用于制造各种显示设备的面板以及用于制造太阳能电池的面板等的基板的过程中，众所周知，保护基板免受周边的诸如湿气或氧气以及空气中的浮游物等污染物的影响是非常重要的事项。因此，针对在基板的保管及移动过程中所使用的基板容器而言，利用诸如N2气体等惰性气体对其内部的基板收容空间进行吹扫(purging)。
[0003]另外，最近，随着基板的大面积化，基板容器的尺寸也在大型化。在显示设备制造领域中，随着诸如液晶显示器(LCD：Liquid crystal display)、等离子体显示器(PDP：Plasma display panel)以及有机发光显示器(OLED：Organic lighte mitting display)等各种平面显示(Flat panel display)设备的大面积化，针对用于对大面积基板进行保管及移动等处理的基板容器的技术也在发展，作为一例，参照专利文献1进行如下具体说明。
[0004]专利文献1涉及一种晶圆载体，其特征在于，容器部分具有开放的正面，底面上插入有基板，该基板借由提供用于清洁铁环的凹陷部的扭锁连接件固定，且运动力学结合构成要素结合在所述基板上。
[0005]但是，根据前述的专利文献1，在基板收纳容器的下部设置有盖(扭锁连接件)，所述的盖的两侧以卡扣形状配备，因此难以拆装，并且，由于构成为向盖施加预定以上的力来拆装盖的结构，因此，存在因向盖施加预定以上的力而导致盖的一部分破损的问题。
[0006]【现有技术文献】
[0007][专利文献][0008](专利文献1)韩国公开专利公报第10
‑
2014
‑
0054205号(2014.05.08)

技术实现思路

[0009]本专利技术的目的在于，提供一种仅在设置于收纳容器的下部的盖的一表面形成卡扣，以用于容易地拆装盖的晶圆收纳容器与用于该晶圆收纳容器的盖的组装体。
[0010]为了解决所述技术问题，根据本专利技术一实施例的晶圆收纳容器与用于该晶圆收纳容器的盖的组装体，可以包括：收纳容器，在内部形成有能够收容一个以上的晶圆的空间；紧固部，形成于所述收纳容器的下部外侧，形成有能够紧固盖的紧固空间；以及盖，形成有在一侧形成为一字型并在端部包括有第一突出部的卡止部，并且构成为所述卡止部紧固于所述紧固部的结构；其中，所述紧固部包括：内壁，与所述盖的外周表面紧贴；以及紧固孔，形成于所述紧固部的一侧，构成为孔形状，以供所述卡止部紧固；其中，所述盖包括：固定壁，形成于与所述卡止部相面对的另一侧，紧贴于所述内壁，使得所述盖固定于所以述紧固
部。
[0011]此外，根据本专利技术的一实施例的晶圆收纳容器与用于该晶圆收纳容器的盖的组装体，所述固定壁可以包括：第二突出部，形成为朝向内侧方向突出，并且形成为与所述固定壁垂直且设置于所述内壁。
[0012]此外，根据本专利技术的一实施例的晶圆收纳容器与用于该晶圆收纳容器的盖的组装体，还可以包括：固定部件，构成为在所述内壁的内部形成为一字型，朝向内侧突出，并与所述固定壁的外表面紧贴，以使所述盖固定于所述紧固部。
[0013]此外，根据本专利技术一实施例的晶圆收纳容器与用于该晶圆收纳容器的盖的组装体，所述盖还可以包括：头部，形成于所述卡止部及固定壁的上部，其中，所述头部包括：引导部，形成于其下部，并形成于所述卡止部与固定壁之间的外周表面，以预定高度形成。
[0014]此外，根据本专利技术一实施例的晶圆收纳容器与用于该晶圆收纳容器的盖的组装体，所述紧固部可以包括：紧贴部，形成于内壁的内部，并形成于与所述引导部紧贴的位置，以能够供所述引导部放置的方式形成为凹槽形状。
[0015]通过借由附图对下面的专利技术进行的详细说明，这些技术方案将变得更加明确。
[0016]在说明之前，在本说明书及权利要求书中所使用的术语或词语不应以通常词典中的含义而被解释，而是应基于专利技术人为以最佳的方法说明其本身的专利技术而可以适当地定义术语的概念的原则，以与本专利技术的技术思想相符合的含义和概念来解释。
[0017]即，根据本专利技术的一实施例，通过仅在盖的一侧形成卡止部，构成为盖仅固定于紧固部的一侧(卡止部部分)，在剩下的一侧构成为支撑(固定壁部分)的结构，从而能够改善为容易拆装的结构。
[0018]此外，根据本专利技术的一实施例，紧固部及盖的结构简单，从而可以节约模具成本。
附图说明
[0019]图1是示出根据本专利技术的一实施例的晶圆收纳容器与用于该晶圆收纳容器的盖的组装体的组装状态的立体图。
[0020]图2是示出根据本专利技术的一实施例的晶圆收纳容器与用于该晶圆收纳容器的盖的组装体的盖的立体图。
[0021]图3是示出根据本专利技术的一实施例的晶圆收纳容器与用于该晶圆收纳容器的盖的组装体的设置状态的局部立体图。
[0022]图4及图5是示出根据本专利技术一实施例的晶圆收纳容器与用于该晶圆收纳容器的盖的组装体的设置状态的剖视图。
[0023]附图标记说明
[0024]1：收纳容器
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10：紧固部
[0025]11：紧固空间
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12：内壁
[0026]13：固定部件
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14：紧贴部
[0027]15：紧固孔
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20：盖
[0028]21：卡止部
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22：第一突出部
[0029]23：固定壁
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24：第二突出部
[0030]25：头部
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26：引导部
具体实施方式
[0031]通过与附图相关联的以下的详细内容和一实施例，本专利技术的突出的观点、特定技术特征将变得更加明确。在本说明书中，需要注意的是，在针对各个附图的构成要素赋予附图标记时，对于相同的构成要素，即使表示在不同的附图上，也尽可能赋予相同的附图标记。并且，在说明本专利技术的一实施例时，在判断为对相关的公知构成或功能的具体说明有可能混淆本专利技术的要旨的情形下，省略对其的详细说明。
[0032]并且，在说明本专利技术的构成要素时，可以使用第一、第二、A、B、(a)、(b)等术语。这些术语仅用于将一个构成要素与另一构成要素区分开，并且相应构成要素的本质、次序或顺序不受这些术语的限制。在记载为某一构成要素与另一构成要素“连接”、“结合”的情形下，该构成要素可以直接连接或结合于另一构成要素，但本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆收纳容器与用于该晶圆收纳容器的盖的组装体，包括：收纳容器，在内部形成有能够收容一个以上的晶圆的空间；紧固部，形成于所述收纳容器的下部外侧，形成有能够紧固盖的紧固空间；以及盖，形成有在一侧形成为一字型并在端部包括有第一突出部的卡止部，并且构成为所述卡止部紧固于所述紧固部的结构；其中，所述紧固部包括：内壁，与所述盖的外周表面紧贴；以及紧固孔，形成于所述紧固部的一侧，构成为孔形状，以供所述卡止部紧固；其中，所述盖包括：固定壁，形成于与所述卡止部相面对的另一侧，紧贴于所述内壁，使得所述盖固定于所以述紧固部。2.根据权利要求1所述的晶圆收纳容器与用于该晶圆收纳容器的盖组装体，其中，所述固定壁包括：第二突出部，形成为朝向内侧方向突出，并且形成为与...

【专利技术属性】
技术研发人员：金相振，
申请(专利权)人：三S韩国株式会社，
类型：发明
国别省市：