【技术实现步骤摘要】
一种四(二甲氨基)锡的制备方法
[0001]本专利技术属于有机合成
,尤其涉及一种四(二甲氨基)锡的制备方法。
技术介绍
[0002]氧化锡(SnO2)作为第一个投入商用的透明导电材料,由于其出色的导电性、高透光率和高化学稳定性而受到大量的研究和关注,在气体传感器、燃料电池、光电探测器、发光二极管、透明电子器件、薄膜晶体管(TFT)和太阳能电池等领域都有非常广泛的应用。高质量的SnO2薄膜可以采用多种方法制备,比如磁控溅射、化学气相沉积(CVD)、喷雾热解、脉冲激光沉积(PLD)以及原子层沉积(ALD)等。
[0003]其中ALD技术是一种通过将前驱体依次脉冲通入腔室,实现原子级控制的薄膜生长方法。相比于其他薄膜沉积技术,该方法具有衬底温度较低、可精确控制膜厚、大面积生长、薄膜均匀性好、可实现完美的三维保形性等特点,另外其与柔性基底/器件完全兼容,因此ALD技术逐渐受到人们越来越多的关注。
[0004]常用的原子层沉积法制备SnO2薄膜所用到的前驱体源是四(二甲氨基)锡,CAS号为1066
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种四(二甲氨基)锡的制备方法,其特征在于,包括以下步骤,S1:向金属氢化物中加入溶剂,得到悬浊液;S2:向S1所述的悬浊液中滴加无水四氯化锡,反应得到反应液;S3:向S2所述的反应液通入二甲胺,搅拌反应,得到混合物;S4:对S3所述的混合物进行减压去低沸、减压蒸馏、精馏得到所述的四(二甲氨基)锡。2.根据权利要求1所述的四(二甲氨基)锡的制备方法,其特征在于,所述金属氢化物、无水四氯化锡和二甲胺的摩尔比为4
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5:1:6
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7。3.根据权利要求1所述的四(二甲氨基)锡的制备方法,其特征在于,在S1中,所述金属氢化物选自氢化钠、氢化钾、氢化锂和氢化铝锂中的一种或多种。4.根据权利要求1所述的四(二甲氨基)锡的制备方法,其特征在于,在S1中,所述溶剂选自四氢呋喃、正己烷、正庚烷和甲苯中的一种或多种。5.根据权利要求1所述的四(二甲氨基)锡的制备方法...
【专利技术属性】
技术研发人员:齐爱民,陈鹏宇,
申请(专利权)人:苏州源展材料科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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