一种二价锡配合物及其制备方法与应用技术

本发明专利技术涉及一种二价锡配合物及其制备方法与应用，属于锡配合物技术领域。本发明专利技术的二价锡配合物的结构为其中，R选自氢或甲基。本发明专利技术的二价锡配合物由于脒基配体四元环结构的特殊性，脒基锡(II)在具备与水的高反应活性以及高的挥发性的同时，它在常温下呈现出液态，因此十分适用于原子层沉积工艺。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于锡配合物，尤其涉及一种二价锡配合物及其制备方法与应用。

技术介绍

1、脒基金属配合物是一种具有特定化学结构的n＝c-n骨架化合物，由中心金属原子与脒基配体结合形成。脒基配体具有一些独特的性质，如高反应活性、优异的挥发性以及良好的热稳定性，这使得脒基锡(ii)在薄膜晶体管(tft)以及钙钛矿太阳能电池(pcs)中发挥着十分巨大的研究价值。目前市面上常用到的是sn(dmamb)2、sn(dmamp)2、sn(tta)2、sn(acac)2以及其他小配体结构的脒基锡sn(iprfmd)2等。但是在实际使用中，这些sn前驱体存在一定的局限性。比如sn(acac)2对水的反应性很低，因此生长sno时很难发挥作用。而sn(dmamb)2、sn(dmamp)2、sn(tta)2、sn(iprfmd)2具有比较低的热稳定性，因此在比较高温的条件下沉积也具有一定的限制性。考虑到其他的稍大配体脒基结构的锡配合物，比如sbuamd、sbufmd，其在保持高反应活性的同时可能也具有更高的热稳定性，沉积sno时可以拥有更大的沉积窗口和更稳定的工艺。

2、脒本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种二价锡配合物，其特征在于，结构如下所示：

2.一种如权利要求1所述的二价锡配合物的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

3.根据权利要求2所述的二价锡配合物的制备方法，其特征在于，在S1中，所述金属源溶液中的金属源选自金属钾、氢化钾、钾石墨、金属钠和氢化钠中的一种或多种。

4.根据权利要求2所述的二价锡配合物的制备方法，其特征在于，在S1中，所述脒基类化合物选自N,N'-二仲丁基甲脒、N,N'-二仲丁基乙脒、叔丁基乙脒和叔丁基甲脒中的一种或多种。

5.根据权利要求2所述的二价锡配合物的制备方法，其特征在于，在S1中，所述加热反应的温...

【技术特征摘要】

1.一种二价锡配合物，其特征在于，结构如下所示：

2.一种如权利要求1所述的二价锡配合物的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

3.根据权利要求2所述的二价锡配合物的制备方法，其特征在于，在s1中，所述金属源溶液中的金属源选自金属钾、氢化钾、钾石墨、金属钠和氢化钠中的一种或多种。

4.根据权利要求2所述的二价锡配合物的制备方法，其特征在于，在s1中，所述脒基类化合物选自n,n'-二仲丁基甲脒、n,n'-二仲丁基乙脒、叔丁基乙脒和叔丁基甲脒中的一种或多种。

5.根据权利要求2所述的二价锡配合物的制备方法，其特征在于，在s1中，所述加热反应的温度为40℃-60℃，时间为3h-5h。

6.根据权利要求2所述的二价锡配合物...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡之琛，朱可可，温新涛，陈鹏宇，
申请(专利权)人：苏州源展材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：