本申请提供了一种灯头结构、外延装置以及半导体设备。灯头结构包括安装件、灯头、多个支撑件以及多个灯组，灯头的一部分位于安装件内，并与安装件间隔设置。灯头的一部分与安装件形成安装空间，安装空间包括第一壁面及第二壁面，第一壁面与第二壁面相对设置。第一壁面与第二壁面中的一个位于安装件上，另一个位于灯头的一部分上。多个支撑件收容于安装空间中，并围绕灯头设置，支撑件包括主体部及滚动体，主体部固定连接于第一壁面，滚动体可转动地装于主体部并与第二壁面抵接。多个灯组装于所述灯头。其中，灯头能够相对安装件转动，滚动体能够相对第二壁面转动并移动。这样，实现对多个灯组的单侧维护，且有利于提高灯头相对安装件的顺畅度。装件的顺畅度。装件的顺畅度。
【技术实现步骤摘要】
灯头结构、外延装置以及半导体设备
[0001]本申请涉及集成电路制造
，尤其涉及一种灯头结构、外延装置以及半导体设备。
技术介绍
[0002]在制作各种半导体产品(例如芯片)的过程中，需要通过半导体设备的外延装置在晶圆(Wafer)的表面上形成外延(Epitaxy，EPI)层。外延装置包括腔体及灯头，灯头装于腔体上。腔体用于收容晶圆，灯头通过装于其内部的多个灯组对晶圆进行加热。在外延层生长的过程中，外延装置通过多个灯组调节晶圆的温度，以控制形成在晶圆表面上的外延层的晶向和生长速率。现有的外延装置中，操作者需围绕灯头一圈以对装于灯头内部的多个灯组进行维护，但这需要为外延装置提供额外的操作空间，不利于半导体设备的小型化设计。
技术实现思路
[0003]本申请提供了一种灯头结构、外延装置以及半导体设备，灯头结构应用于外延装置中，外延设备应用于半导体设备，本申请提供的灯头结构，旨在避免因维护灯组为外延装置提供额外的操作空间，有利于半导体设备的小型化设计。
[0004]第一方面，本申请实施例提供了一种灯头结构，灯头结构包括：
[0005]安装件；
[0006]灯头，灯头的一部分位于安装件内，并与安装件间隔设置，灯头的一部分与安装件形成安装空间，安装空间包括第一壁面及第二壁面，第一壁面与第二壁面相对设置，第一壁面与第二壁面中的一个位于安装件上，另一个位于灯头的一部分上；
[0007]多个支撑件，多个支撑件收容于安装空间中，并围绕灯头设置，支撑件包括主体部及滚动体，主体部固定连接于第一壁面，滚动体可转动地装于主体部并与第二壁面抵接；以及
[0008]多个灯组，多个灯组装于灯头；
[0009]其中，灯头能够相对安装件转动，滚动体能够相对第二壁面转动并移动。
[0010]本申请实施例提供的灯头结构可应用于外延装置中。外延装置可应用于半导体设备中。外延装置收容于半导体设备的壳体中。其中，灯头结构的安装件可用于与外延装置的腔体连接。腔体用于收容晶圆。灯头结构的多个灯组可射出发热光，以对收容于腔体中的晶圆进行加热，以便在晶圆的表面上形成外延层。
[0011]本申请实施例提供的灯头结构中，由于灯头能够相对安装件转动，在对装于灯头内部的多个灯组进行更换及维护的过程中，操作者仅需相对安装件转动灯头，使得目标灯组靠近操作者所在一侧，操作者便可对目标灯组进行更换及维护。也即是说，操作者可在灯头的一侧实现对装于灯头内部的多个灯组的更换及维护，便于对多个灯组的更换及维护。相较于现有操作者需围绕灯头一圈才可对装于灯头内部的多个灯组进行维护的方案，这样，可避免因对灯组的维护需求，在半导体设备的壳体预留操作空间，有利于壳体的小型化
设计，进而有利于半导体设备的小型化设计。
[0012]另外，滚动体与安装空间的第二壁面抵接的设计，保证在灯头相对安装件转动的过程中，灯头与安装件之间的摩擦为滚动摩擦，有利于减小灯头相对安装件转动的摩擦阻力，有利于提高灯头相对安装件的顺畅度，便于对装于灯头内部的多个灯组进行更换及维护。而且，结构简单且稳定，有利于节省加工成本。
[0013]一种可能的实施方式中，主体部设有安装槽，滚动体可转动地收容于安装槽中，滚动体的一部分露于安装槽的外部并与第二壁面抵接。
[0014]安装槽的设计，有利于提高主体部与滚动体的空间利用率，有利于支撑件的小型化设计，进而有利于灯头结构的小型化设计。
[0015]一种可能的实施方式中，安装槽具有安装开口，安装开口的宽度小于滚动体的直径。
[0016]由于安装开口的宽度小于滚动体的直径，在保证滚动体可在主体部的安装槽中自由转动的基础上，滚动体不会自安装槽的安装开口脱离，有利于提高支撑件的结构稳定性，且结构简单、便于设计，有利于降低加工成本。
[0017]一种可能的实施方式中，安装件包括第一安装部及第二安装部，第二安装部围设于第一安装部的外部，灯头的一部分位于第二安装部的内部，且灯头的一部分与第一安装部间隔，第一壁面或者第二壁面位于第一安装部上。
[0018]由于灯头的一部分位于第二安装部的内部，这样，灯头的一部分被安装件的第二安装部遮挡，可避免灯头的一部分与外部环境直接接触，起到防尘的作用，有利于提高灯头的工作寿命及工作效率。而且有利于提高灯头与安装件的空间利用率，进而有利于灯头结构的小型化设计。
[0019]一种可能的实施方式中，灯头包括第一连接部及第二连接部，第二连接部位于第一连接部的一侧，并与第一连接部固定连接，在安装件的轴向上，第二连接部穿过第一安装部，第一连接部位于第二安装部的内部，并与第一安装部相对且间隔设置，第一壁面与第二壁面中的一个位于第一安装部上，另一个位于第一连接部上。
[0020]可以理解，第一壁面可位于第一安装部上，第二壁面可位于第一连接部上。由于第一壁面位于第一安装部上，第二壁面位于第一连接部上，主体部固定连接于安装件的第一安装部，滚动体与灯头的第一连接部抵接。这样，主体部固定连接于安装件的第一安装部，且滚动体与灯头的第一连接部抵接的设计，保证在灯头相对安装件转动的过程中，灯头的第一连接部与安装件的第一安装部之间的摩擦为滚动摩擦，有利于减小灯头相对安装件转动的摩擦阻力，有利于提高灯头相对安装件的顺畅度。而且，保证在灯头在相对安装件转动的过程中，滚动体与安装件不会发生移动，有利于提高灯头相对安装件转动的稳定性，进而有利于提高灯头结构的结构稳定性。另外，结构简单，便于设计，有利于节省加工成本。
[0021]第一壁面也可位于第一连接部上，第二壁面也可位于第一安装部上。由于第一壁面位于第一连接部上，第二壁面位于第一安装部上，主体部固定连接于灯头的第一连接部。滚动体与第一安装部抵接。这样，主体部固定连接于灯头的第一连接部，且滚动体与安装件的第一安装部抵接的设计，保证在灯头相对安装件转动的过程中，灯头的第一连接部与安装件的第一安装部之间的摩擦为滚动摩擦，有利于减小灯头相对安装件转动的摩擦阻力，有利于提高灯头相对安装件的顺畅度。而且，结构简单，便于设计，有利于节省加工成本。
[0022]一种可能的实施方式中，第一安装部设有通孔，通孔沿安装件的轴向贯穿第一安装部，第二连接部穿过通孔，并与通孔的孔壁间隔设置。
[0023]这样，通过控制第二连接部与第一安装部的通孔的孔壁之间的间距，可避免第二连接部在通孔中转动的过程中发生较大的晃动，避免灯头相对安装件转动的过程中发生较大的晃动，有利于提高灯头相对安装件转动的稳定性。
[0024]一种可能的实施方式中，第一连接部设有安装通孔，安装通孔沿安装件的轴向贯穿第一连接部，第二连接部设有多个安装孔，多个安装孔沿安装件的周向间隔设置，每一安装孔沿安装件的轴向贯穿第二连接部，并与安装通孔连通，多个灯组分别收容于多个安装孔中。
[0025]可以理解，由于多个安装孔沿安装件的周向间隔设置，多个灯组分别收容于多个安装孔中，多个灯组沿安装件的周向间隔设置。多个灯组分别收容于多个安装孔中的设计，可避免多本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种灯头结构，其特征在于，所述灯头结构包括：安装件；灯头，所述灯头的一部分位于所述安装件内，并与所述安装件间隔设置，所述灯头的一部分与所述安装件形成安装空间，所述安装空间包括第一壁面及第二壁面，所述第一壁面与所述第二壁面相对设置，所述第一壁面与所述第二壁面中的一个位于所述安装件上，另一个位于所述灯头的一部分上；多个支撑件，所述多个支撑件收容于所述安装空间中，并围绕所述灯头设置，所述支撑件包括主体部及滚动体，所述主体部固定连接于所述第一壁面，所述滚动体可转动地装于所述主体部并与所述第二壁面抵接；以及多个灯组，所述多个灯组装于所述灯头；其中，所述灯头能够相对所述安装件转动，所述滚动体能够相对所述第二壁面转动并移动。2.根据权利要求1所述的灯头结构，其特征在于，所述主体部设有安装槽，所述滚动体可转动地收容于所述安装槽中，所述滚动体的一部分露于所述安装槽的外部并与所述第二壁面抵接。3.根据权利要求2所述的灯头结构，其特征在于，所述安装槽具有安装开口，所述安装开口的宽度小于所述滚动体的直径。4.根据权利要求1至3任一项所述的灯头结构，其特征在于，所述安装件包括第一安装部及第二安装部，所述第二安装部围设于所述第一安装部的外部，所述灯头的一部分位于所述第二安装部的内部，且所述灯头的一部分与所述第一安装部间隔，所述第一壁面或者所述第二壁面位于所述第一安装部上。5.根据权利要求4所述的灯头结构，其特征在于，所述灯头包括第一连接部及第二连接部，所述第二连接部位于所述第一连接部的一侧，并与所述第一连接部固定连接，在所述安装件的轴向上，所述第二连接部穿过所述第一安装部，所述第一连接部位于所述第二安装部的内部，并与所述第一安装部间隔设置，所述第一壁面与...
【专利技术属性】
技术研发人员：滕衍超，衡德正，李冰，吴敏，
申请(专利权)人：华为技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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