一种芯片测试设备制造技术

本发明专利技术公开了一种芯片测试设备，包括探针装置和驱动装置，探针装置包括支撑面板、探针座、探针，探针连接于探针座上，探针座连接于支撑面板上，支撑面板连接于驱动装置的驱动端，驱动装置通过支撑面板、探针座驱动探针对芯片扎针；探针装置还包括磁性耦合座，磁性耦合座包括相互吸合的公磁座和母磁座，母磁座的磁吸面上设置有磁吸孔，公磁座的磁吸面上设置有与磁吸孔适配的磁吸头，磁吸孔为多个，每个磁吸孔对应一个磁吸头，公磁座和母磁座中的一个与支撑面板连接，另一个与探针座可拆卸连接。本发明专利技术通过磁性耦合座不仅降低了探针座更换的难度，同时还确保了探针座的安装精度。本发明专利技术中的芯片测试设备能够实现对芯片的全自动化、高精度测试。高精度测试。高精度测试。

【技术实现步骤摘要】
一种芯片测试设备


[0001]本专利技术涉及芯片的检测领域，更具体地说，涉及一种芯片测试设备。

技术介绍

[0002]芯片测试设备对芯片加电，并对芯片进行电性能的测试。芯片测试设备包括探针装置，探针装置包括驱动装置、支撑面板、探针座、探针。探针安装在探针座上，探针座安装在支撑面板上，支撑面板由驱动装置驱动而携带探针上下移动，当探针碰触到芯片上的正极和负极后，外部电源会通过探针向芯片供电，从而实现对芯片的加电。
[0003]不同类型的芯片需要匹配不同尺寸的探针座。因此在测试不同的芯片时需要安装相匹配的探针座。在现有技术中探针座通常是通过螺丝连接在支撑面板上，如果要更换探针座，作业人员首先需要位于探针装置附近，之后逐一旋松各个螺丝以将旧的探针座拆卸下，安装上新的探针座后，再逐一旋紧各个螺丝。由于作业人员处于探针装置附近，直接在支撑面板上拆卸或者安装探针座，操作空间受限，从而加大了更换难度。并且无法确保新的探针座的安装精度。
[0004]因此，如何降低更换探针座的难度，同时确保探针座的安装精度，是本领域技术人员亟待解决的关键性问题。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的是何降低更换探针座的难度，同时确保探针座的安装精度。为实现上述目的，本专利技术提供了如下技术方案：
[0006]一种芯片测试设备，包括探针装置和驱动装置，所述探针装置包括支撑面板、探针座、探针，所述探针连接于所述探针座上，所述探针座连接于所述支撑面板上，所述支撑面板连接于所述驱动装置的驱动端，所述驱动装置通过所述支撑面板、所述探针座驱动所述探针对芯片扎针；
[0007]所述探针装置还包括磁性耦合座，所述磁性耦合座包括相互吸合的公磁座和母磁座，所述母磁座的磁吸面上设置有磁吸孔，所述公磁座的磁吸面上设置有与所述磁吸孔适配的磁吸头，所述磁吸孔为多个，每个所述磁吸孔对应一个所述磁吸头，所述公磁座和所述母磁座中的一个与所述支撑面板连接，另一个与所述探针座可拆卸连接。
[0008]优选地，所述磁吸孔为三个，其中两个所述磁性孔分布在所述母磁座的磁吸面的两个角部，另外一个所述磁吸孔设置在所述母磁座的磁吸面的与所述两个角部相对的边部的中心。
[0009]优选地，所述公磁座安装在所述支撑面板上，所述母磁座与所述探针座可拆卸连接，所述公磁座在前后方向上的侧部设置有凹弧部，所述母磁座与所述公磁座相互吸合时在所述凹弧部处形成利于人手进入的空间。
[0010]优选地，所述探针座包括座板和连接板，所述连接板垂直连接于所述座板的一侧，所述连接板与所述母磁座连接，所述探针安装在所述座板的下方，所述座板的上表面安装
有线路板，所述探针的顶部与所述线路板上的接头抵接，所述接头通过线束与外电源连接。
[0011]优选地，所述夹具在前后方向上具有两排芯片装夹槽，所述探针为呈前后布置的两组；
[0012]所述公磁座通过侧旋角度调制轴安装在所述支撑面板上，所述侧旋角度调制轴包括调制轴、调制块、导轨块、支撑块，所述导轨块固定在所述支撑面板上，所述导轨块具有水平面内沿着前后方向延伸的弧形导轨，所述调制块滑动配合于所述弧形导轨上，所述调制轴沿着前后方向布置，且所述调制轴螺纹配合于所述调制块内。
[0013]优选地，所述芯片测试设备还包括：夹具、上下料盘装置、吸盘装置、载台装置、光学测量装置，所述驱动装置为三轴驱动装置，所述吸盘装置安装在所述支撑面板上，所述吸盘装置用于吸附所述夹具；
[0014]在所述三轴驱动装置的前侧，沿着所述三轴驱动装置的左右轴向依次设置有所述上下料盘装置和所述载台装置；所述上下料盘装置中的料盘可沿着前后方向移动，所述载台沿着左右方向布置；所述吸盘装置能够将所述料盘上的所述夹具转移到所述载台装置上；所述夹具上沿着左右方向具有多个芯片装夹槽，所述光学测量装置包括光学测量组件以及左右平移装置，所述左右平移装置驱动所述光学测量组件沿着左右方向移动。
[0015]优选地，所述吸盘装置包括吸盘、吸盘固定板、吸盘气缸，所述吸盘气缸设置在所述支撑面板上，所述吸盘固定板与所述吸盘气缸的活塞连接，所述吸盘设置在所述吸盘固定板上；
[0016]所述夹具包括夹具本体和盖板，所述盖板锁紧在所述夹具本体的中间位置，所述吸盘可吸附所述盖板，且所述吸盘为左右分布的两个。
[0017]优选地，所述芯片测试设备还包括定位相机装置，所述定位相机装置包括定位相机和相机固定件，所述定位相机通过所述相机固定件固定在所述支撑面板上，在所述吸盘将所述夹具吸附并放置到所述载台装置上后，所述定位相机获取所述夹具上所有的所述芯片的位置信息，并将所述位置信息发送给所述三轴驱动装置的控制器，所述控制器根据所述位置信息控制所述三轴驱动装置的三轴运动，以使所述探针依次对所述夹具上的各个所述芯片扎针。
[0018]优选地，所述载台装置包括载台，所述载台上设置有加热片，所述加热片上设置有导热块，所述导热块覆盖所述加热片，所述导热块上设置有夹具定位销，所述夹具定位销为沿着左右方向排布的两个，所述夹具上设置有与所述夹具定位销适配的销孔。
[0019]优选地，所述加热片为TEC片，所述载台上设置有用于卡置所述TEC片的卡槽；所述载台内部设置有水流通道，所述水流通道中的水流用于吸收所述TEC背面的热量。
[0020]优选地，所述载台连接于底板上，在所述载台的左端或者右端设置有角度调制旋钮，所述角度调制旋钮与所述底板连接，所述角度调制旋钮沿着前后方向布置；
[0021]所述底板上设置有多个螺栓孔，多个所述螺栓孔分设在所述载台的前后两侧。
[0022]优选地，所述上下料盘装置包括安装底座、导轨、导轨料盘固定板、料盘固定板转接块、把手；
[0023]所述导轨设置在所述安装底座上，所述导轨沿着前后方向延伸，所述导轨料盘固定板可滑动地设置于所述导轨上，所述导轨料盘固定板的上表面连接有所述料盘固定板转接块，所述料盘固定板转接块的上表面连接有所述料盘，所述导轨料盘固定板的前端设置
有所述把手。
[0024]优选地，所述导轨包括呈上下布置的第一导轨和第二导轨，所述第二导轨连接于所述安装底座上，所述第二导轨上滑动配合有第二滑块，所述第一导轨通过所述第二滑块连接于所述第二导轨上，所述第一导轨上滑动配合有第一滑块，所述第一滑块与所述导轨料盘固定板连接。
[0025]优选地，所述第二导轨的前端设置有前限位块，所述第二导轨的后端设置有后限位块，所述后限位块为磁吸块，所述磁吸块可吸附所述料盘；
[0026]靠近所述安装底座的后端设置有锁盘气缸和锁盘卡钩，所述锁盘气缸的活塞竖直朝上布置，所述锁盘卡钩连接于所述活塞的顶部，所述锁盘卡钩的后端铰接于所述安装底座上，在所述锁盘气缸驱动所述锁盘卡钩向上转动时，所述锁盘卡钩会与所述导轨料盘固定板的前边缘部配合而阻止所述导轨料盘固定板向前移动。
[0027]优选地，所述光学测量组件包括光学组件安装板，设置在所述光学组件安装板上且沿着左右方向排布的检测相机、光学测量积分球本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种芯片测试设备，其特征在于，包括探针装置(1)和驱动装置，所述探针装置(1)包括支撑面板(15)、探针座(11)、探针(12)，所述探针(12)连接于所述探针座(11)上，所述探针座(11)连接于所述支撑面板(15)上，所述支撑面板(15)连接于所述驱动装置的驱动端，所述驱动装置通过所述支撑面板(15)、所述探针座(11)驱动所述探针(12)对芯片扎针；所述探针装置(1)还包括磁性耦合座(13)，所述磁性耦合座(13)包括相互吸合的公磁座(132)和母磁座(131)，所述母磁座(131)的磁吸面上设置有磁吸孔(133)，所述公磁座(132)的磁吸面上设置有与所述磁吸孔(133)适配的磁吸头(134)，所述磁吸孔(133)为多个，每个所述磁吸孔(133)对应一个所述磁吸头(134)，所述公磁座(132)和所述母磁座(131)中的一个与所述支撑面板(15)连接，另一个与所述探针座(11)可拆卸连接。2.根据权利要求1所述的芯片测试设备，其特征在于，所述磁吸孔(133)为三个，其中两个所述磁性孔(133)分布在所述母磁座(131)的磁吸面的两个角部，另外一个所述磁吸孔(133)设置在所述母磁座(131)的磁吸面的与所述两个角部相对的边部的中心。3.根据权利要求1所述的芯片测试设备，其特征在于，所述公磁座(132)安装在所述支撑面板(15)上，所述母磁座(131)与所述探针座(11)可拆卸连接，所述公磁座(132)在前后方向上的侧部设置有凹弧部(135)，所述母磁座(131)与所述公磁座(132)相互吸合时在所述凹弧部(135)处形成利于人手进入的空间。4.根据权利要求3所述的芯片测试设备，其特征在于，所述探针座(11)包括座板(111)和连接板(112)，所述连接板(112)垂直连接于所述座板(111)的一侧，所述连接板(112)与所述母磁座(131)连接，所述探针(12)安装在所述座板(111)的下方，所述座板(111)的上表面安装有线路板(16)，所述探针(12)的顶部与所述线路板(16)上的接头抵接，所述接头通过线束与外电源连接。5.根据权利要求3所述的芯片测试设备，其特征在于，所述夹具(8)在前后方向上具有两排芯片装夹槽(83)，所述探针(12)为呈前后布置的两组；所述公磁座(132)通过侧旋角度调制轴(14)安装在所述支撑面板(15)上，所述侧旋角度调制轴(14)包括调制轴(142)、调制块(141)、导轨块(143)、支撑块(144)，所述导轨块(143)固定在所述支撑面板(15)上，所述导轨块(143)具有水平面内沿着前后方向延伸的弧形导轨，所述调制块(141)滑动配合于所述弧形导轨上，所述支撑块(144)连接于所述调制块(141)的下方，所述支撑块(144)与所述公磁座(132)连接，所述调制轴(142)沿着前后方向布置，且所述调制轴(142)螺纹配合于所述调制块(141)内。6.根据权利要求1所述的芯片测试设备，其特征在于，所述芯片测试设备还包括：夹具(8)、上下料盘装置(4)、吸盘装置(2)、载台装置(5)、光学测量装置(6)，所述驱动装置为三轴驱动装置(7)，所述吸盘装置(2)安装在所述支撑面板(15)上，所述吸盘装置(2)用于吸附所述夹具(8)；在所述三轴驱动装置(7)的前侧，沿着所述三轴驱动装置(7)的左右轴向依次设置有所述上下料盘装置(4)和所述载台装置(5)；所述上下料盘装置(4)中的料盘(41)可沿着前后方向移动，所述载台装置(5)沿着左右方向布置；所述吸盘装置(2)能够将所述料盘(41)上的所述夹具(8)转移到所述载台装置(5)上；所述夹具(8)上沿着左右方向具有多个芯片装夹槽(83)，所述光学测量装置(6)包括光学测量组件以及左右平移装置(66)，所述左右平移装置(66)驱动所述光学测量组件沿着左右方向移动。
7.根据权利要求6所述的芯片测试设备，其特征在于，所述吸盘装置(2)包括吸盘(21)、吸盘固定板(22)、吸盘气缸(23)，所述吸盘气缸(23)设置在所述支撑面板(15)上，所述吸盘固定板(22)与所述吸盘气缸(23)的活塞连接，所述吸盘(21)设置在所述吸盘固定板(22)上；所述夹具(8)包括夹具本体和盖板(82)，所述盖板(82)锁紧在所述夹具本体的中间位置，所述吸盘(21)可吸附所述盖板(82)，且所述吸盘(21)为左右分布的两个。8.根据权利要求7所述的芯片测试设备，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：张华，薛银飞，王文艺，李家桐，
申请(专利权)人：无锡菲光科技有限公司，
类型：发明
国别省市：