一种圆晶测试装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种圆晶测试装置，涉及到晶圆测试技术领域，包括设置在工作台上的支撑柱、探针和夹持机构，所述夹持机构中包括两组支撑板、安装板和夹板，且支撑板与安装板转动连接，所述探针的数量为三组，三组所述探针均设置在支撑柱的上端位置，所述支撑板的外部一侧设置有控制按钮，所述安装板的中部贯穿设置有气缸，所述气缸的推动端固定连接有卡入板，两个所述卡入板与同一个所述夹板卡接，另一个所述夹板固接在两个所述安装板之间，两个所述夹板的相对一侧均固接有三个夹接座。本实用新型专利技术增加了晶圆测试装置的气动夹持结构，增加测试晶圆的夹持稳定性，并提高晶圆测试装置的使用效果，具有实用性。具有实用性。具有实用性。

【技术实现步骤摘要】
一种圆晶测试装置


[0001]本技术涉及晶圆测试
，特别涉及一种圆晶测试装置。

技术介绍

[0002]晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅芯片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。晶圆是生产集成电路所用的载体，一般意义晶圆多指单晶硅圆片。单晶硅圆片由普通硅砂拉制提炼，经过溶解、提纯、蒸馏一系列措施制成单晶硅棒，单晶硅棒经过抛光、切片之后，就成为了晶圆。
[0003]目前晶圆会将其放置在工作台上，使用操作杆的手动调节和弹簧的弹性拉力使得可带动夹持装置对晶圆进行限位处理。后通过对转动盘的转动，带动蜗杆进行旋转，蜗杆带动蜗轮自动，然后通过传动杆带动一组安装板的转动，可实现晶圆本体的旋转，实现角度的转动。
[0004]例如公开号为CN216485354U中国专利公开了一种晶圆测试装置，属于晶圆测试
，包括工作台，所述工作台上固定安装有支撑板，所述支撑板中间设置有夹持机构，所述夹持机构上设有晶圆本体，所述支撑板的一侧设置有旋转机构；所述夹持机构包括安装板，所述安装板转动安装在支撑板相互靠近的一侧表面上，靠近所述旋转机构一侧的安装板上固定安装有导向杆，所述导向杆的内部滑动设有连接杆，所述连接杆靠近工作台的一端固定连接有弹簧，所述弹簧远离连接杆的一端和导向杆的内部侧壁固定连接，所述连接杆远离导向杆的一端固定连接有连接板；使一组橡胶夹具能够将晶圆本体夹持住，提高了晶圆本体的稳定性，使检测数据更加精准，而且能够适用于不同直径的晶圆本体。
[0005]上述晶圆测试装置虽然结构夹持机构，但该夹持结构中的弹簧会出现老化松动现象，使得橡胶夹具不能对晶圆本体进行夹持工作，影响晶圆本体的稳定检测，实用性低，因此，本申请提供了一种圆晶测试装置来满足需求。

技术实现思路

[0006]本申请的目的在于提供一种圆晶测试装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0007]为实现上述目的，本申请提供如下技术方案：
[0008]一种圆晶测试装置，包括设置在工作台上的支撑柱、探针和夹持机构，所述夹持机构中包括两组支撑板、安装板和夹板，且支撑板与安装板转动连接，所述探针的数量为三组，三组所述探针均设置在支撑柱的上端位置，所述支撑板的外部一侧设置有控制按钮，所述安装板的中部贯穿设置有气缸，所述气缸的推动端固定连接有卡入板，两个所述卡入板与同一个所述夹板卡接，另一个所述夹板固接在两个所述安装板之间，两个所述夹板的相对一侧均固接有三个夹接座。
[0009]优选地，三个所述探针通过同一个安装座固接在支撑柱的上端底部，所述探针位于所述安装板的上侧位置。
[0010]优选地，所述控制按钮与所述气缸电连接，所述气缸中设置有若干个贯通连接的
套管。
[0011]优选地，所述卡入板呈L型结构，两个所述卡入板均位于两个安装板之间，且相对分布。
[0012]优选地，所述安装板的外侧开设有槽口，所述气缸通过槽口与所述安装板贯穿连接。
[0013]优选地，所述夹接座中包括与所述夹板固定连接的放置板，所述放置板呈L型结构，所述放置板的垂直端固接有边缘垫，所述放置板的水平端固接有若干个磨砂凸点。
[0014]优选地，所述边缘垫为橡胶材料制成，所述磨砂凸点为硅胶材料制成。
[0015]综上，本技术的技术效果和优点：
[0016]1、本技术中，通过设置的气缸、卡入板和夹接座，便于增加测试装置中的气动伸缩结构，通过气缸对若干个套管的气动驱动，使得气缸可对卡入板的位置进行水平移动，自动调节两个夹板间的距离，后通过两个相对设置的夹紧座实现晶圆的夹持处理，夹接座上L型结构放置板的设置，便于晶圆相邻两侧的限位放置，摩擦凸点和边缘垫的设置，便于增加夹紧座与晶圆间的连接牢固性，提高测试装置对晶圆夹接的稳固性，改善弹簧夹持的老化松动现象，提高测试装置的使用效果和测试便捷性，具有实用性；
[0017]2、本技术中，通过设置的三个探针和三组夹持座，便于拓展测试装置的测试数量，增加测试装置的并列检测功能，实现测试装置的单次多个的晶圆检测，增加测试装置的测试速率，进而提高晶圆测试的使用效果。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅是本申请的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0019]图1为一种圆晶测试装置的立体结构示意图；
[0020]图2为一种圆晶测试装置中支撑板和安装板的结构爆炸图；
[0021]图3为一种圆晶测试装置中气缸与安装板的局部结构剖视图；
[0022]图4为一种圆晶测试装置中两个夹持座的结构爆炸图。
[0023]图中：1、支撑柱；2、探针；3、支撑板；4、安装板；5、气缸；6、卡入板；7、夹板；8、夹接座；9、边缘垫；10、磨砂凸点；11、管套；12、控制按钮；13、放置板。
具体实施方式
[0024]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0025]实施例：参考图1
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4所示的一种圆晶测试装置，包括设置在工作台上的支撑柱1、探针2和夹持机构，夹持机构中包括两组支撑板3、安装板4和夹板7，且支撑板3与安装板4转动连接，探针2的数量为三组，三组探针2均设置在支撑柱1的上端位置，支撑板3的外部一侧设
置有控制按钮12，安装板4的中部贯穿设置有气缸5，气缸5的推动端固定连接有卡入板6，两个卡入板6与同一个夹板7卡接，另一个夹板7固接在两个安装板4之间，两个夹板7的相对一侧均固接有三个夹接座8，本实施例中的支撑柱1、探针2、支撑板3、安装板4和夹板7均为晶圆测试装置中的现有结构，不加赘，通过夹持机构进行晶圆的夹紧处理，支撑板3与安装板4的转动连接，使得可对晶圆的检测角度进行转动调节，进行不同表面的晶圆检测。
[0026]如图1所示，三个探针2通过同一个安装座固接在支撑柱1的上端底部，探针2位于安装板4的上侧位置，三个探针2的设置便于增加测试装置上的检测端，便于测试装置对晶圆进行单次多个的检测工作，提高测试装置的检测速率。
[0027]如图1或3所示，控制按钮12与气缸5电连接，气缸5中设置有若干个贯通连接的套管11，气缸5通过控制按钮12进行伸缩长度的控制，若干个管套11的设置便于将气缸5分段呈多个伸缩段，减少气缸5在安装板4中的贯穿长度，使得两个夹板7可进行不同长度的夹紧处理。
[0028]如图2所示，卡入板6呈L型结构，两个卡入板6均位于两个安装板4之间，且相对分布，两个卡入板6用于对夹板7的位置进行限位处理，可将夹板7与安本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种圆晶测试装置，包括设置在工作台上的支撑柱(1)、探针(2)和夹持机构，所述夹持机构中包括两组支撑板(3)、安装板(4)和夹板(7)，且支撑板(3)与安装板(4)转动连接，其特征在于：所述探针(2)的数量为三组，三组所述探针(2)均设置在支撑柱(1)的上端位置，所述支撑板(3)的外部一侧设置有控制按钮(12)，所述安装板(4)的中部贯穿设置有气缸(5)，所述气缸(5)的推动端固定连接有卡入板(6)，两个所述卡入板(6)与同一个所述夹板(7)卡接，另一个所述夹板(7)固接在两个所述安装板(4)之间，两个所述夹板(7)的相对一侧均固接有三个夹接座(8)。2.根据权利要求1所述一种圆晶测试装置，其特征在于：三个所述探针(2)通过同一个安装座固接在支撑柱(1)的上端底部，所述探针(2)位于所述安装板(4)的上侧位置。3.根据权利要求1所述一种圆晶测试装置，...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈德拥，
申请(专利权)人：深圳德芯微电技术有限公司，
类型：新型
国别省市：