PbSe红外探测薄膜及其制备方法以及红外探测器技术

本发明专利技术公开了一种PbSe红外探测薄膜及其制备方法以及红外探测器，该PbSe红外探测薄膜的制备方法包括：采用预敏化的靶材通过物理气相沉积法在基板上沉积PbSe薄膜。预敏化的靶材通过预敏化而在靶材中掺入氧化性元素，则进一步通过物理气相沉积即可在各类基底上直接制备出元素分布均匀的敏化PbSe薄膜，进而无需再进行高温敏化步骤，即避免了高温过程下造成的元素偏析，同时也克服了因为高温限制而导致无法在柔性有机材料等衬底上的缺陷，便于与现代电子制造技术兼容。因此，该PbSe红外探测薄膜的制备方法简化了PbSe红外探测器的制备工艺，极大的降低了成本，为PbSe应用于大面积高精度柔性可穿戴红外探测器提供了可能性。柔性可穿戴红外探测器提供了可能性。柔性可穿戴红外探测器提供了可能性。

【技术实现步骤摘要】
PbSe红外探测薄膜及其制备方法以及红外探测器


[0001]本专利技术涉及光电探测
，具体而言，涉及一种PbSe红外探测薄膜及其制备方法以及红外探测器。

技术介绍

[0002]随着光电探测技术的进步，红外探测器已从最初的单像元探测器发展到第四代焦平面红外探测器，其中光电导型红外探测器基于内光电效应，具有较高的响应速率与灵敏度，可对远距离目标进行快速、精确的红外探测，被广泛应用于导弹制导、火控瞄准、夜视增强、安防监控、森林防火等军事与民用领域。然而，也正是由于光电效应的限制，大多数光电导型红外探测器的优异性能只有在低温下才能保证，探测器在环境温度下进行工作时需为其配备额外的制冷系统，这将导致探测器的体积、重量和制造成本均被极大增加，从而限制了光子型红外探测器在民用市场的应用。
[0003]硒化铅(PbSe)具有适宜的禁带宽度、较大载流子有效质量、较低载流子迁移率、俄歇复合系数低、直接带隙结构等特性，在1～5μm的中红外波段具有良好的室温红外探测能力，是制备低成本、高性能、室温工作的非制冷光电导型红外探测器的重要材料。值得注意的是，初本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种PbSe红外探测薄膜的制备方法，其特征在于，其包括：采用预敏化的靶材通过物理气相沉积法在基板上沉积PbSe薄膜。2.根据权利要求1所述的PbSe红外探测薄膜的制备方法，其特征在于，所述预敏化的靶材通过以下任意一种方式得到：(1)在靶材材料中掺入一种或多种含氧化性元素的化合物粉末；(2)将靶材至于氧化性气氛中退火。3.根据权利要求2所述的PbSe红外探测薄膜的制备方法，其特征在于，掺入所述化合物粉末的方式为机械搅拌法、气流混合法或液体混合法；优选地，掺入的所述化合物粉末包括PbO、PbO2、SeO2、PbS和PbI2中的一种或两种以上的组合；优选地，掺入的原子比为0.1％～30％，更优选为9.5％～10.5％，进一步优选为10％；优选地，将靶材材料和所述化合物粉末的均匀混合物压制成片，以获得所述预敏化的靶材；优选地，所述靶材材料为PbSe粉末。4.根据权利要求2所述的PbSe红外探测薄膜的制备方法，其特征在于，先将粉末状的所述靶材材料在氧化性气氛中退火，再将所述靶材材料压制成片；优选地，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘一臻，牛晓滨，孙辉，
申请(专利权)人：成都信息工程大学，
类型：发明
国别省市：