下载PbSe红外探测薄膜及其制备方法以及红外探测器的技术资料

文档序号:39127556

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本发明公开了一种PbSe红外探测薄膜及其制备方法以及红外探测器,该PbSe红外探测薄膜的制备方法包括:采用预敏化的靶材通过物理气相沉积法在基板上沉积PbSe薄膜。预敏化的靶材通过预敏化而在靶材中掺入氧化性元素,则进一步通过物理气相沉积即可在...
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