一种用于光纤预制棒沉积的气体原料供应装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种用于光纤预制棒沉积的气体原料供应装置，包括有蒸发柜和流量混合柜，所述的蒸发柜中安设有蒸发料瓶，所述的流量混合柜中安设有MFC，所述的蒸发料瓶包括SiCl4蒸发料瓶和GeCl4蒸发料瓶，每种气体原料蒸发料瓶分别配置有料瓶加热装置，每种气体原料蒸发料瓶通过送气管道分别与流量混合柜中的MFC输入口相接，MFC的输出口与混合气体输送管道相连通，其特征在于所述的SiCl4和GeCl4蒸发料瓶分别设置有两个，两个蒸发料瓶的进料口分别通过控制阀与送料管道相连通，两个蒸发料瓶的送气口分别通过控制阀或切换阀与SiCl4送气管道相连通。本实用新型专利技术结构设置合理简便，结构设置合理简便，不仅能提供持续不间断的气体原料，而且气压稳定，提高了设备的生产效率。提高了设备的生产效率。提高了设备的生产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种用于光纤预制棒沉积的气体原料供应装置


[0001]本技术涉及的是一种用于光纤预制棒沉积的气体原料供应装置，属于光纤预制棒加工设备


技术介绍

[0002]近年来随着国内5G的加速建设，通信市场对于光纤光缆的需求正在持续增加，光纤光缆作为5G建设中不可或缺的一部分，正在5G通信网络中扮演越来越重要的角色。光纤是由预制棒拉丝而成，所以预制棒制造技术对于光纤的制作起到十分关键的作用。现有的光纤预制棒大都采用化学气相沉积法制作而成。对于化学气相沉积法而言，作为参与化学反应的原料硅锗化合物都是通过加热蒸发转化为气体原料，然后在沉积过程中需要气体原料保持一个恒定的供气压力，原料气体供气压力的稳定将对预制棒的沉积质量产生较大的影响，而稳定反应气体原料的压力主要是通过加热蒸发装置来实现的。现有的加热蒸发装置一般都是单一蒸发料瓶结构，通过简单的加热方式对蒸发料瓶进行加热，这种装置一方面压力不够稳定，另一方面原料用完后需要重新对蒸发料瓶进行灌料抽料，灌料抽料时供气中断整个设备停顿不能运行，这样的气体原料不连续供应方式严重影响光纤预制棒沉积的加工效率和设备使用效率。另外，现有的气体原料供应装置在气体原料即硅锗化合物蒸汽传输过程中，极容易发生气体冷凝现象，气体一旦冷凝轻则造成MFC(气体流量计)波动，重则损坏MFC。

技术实现思路

[0003]本技术所要解决的技术问题在于针对上述现有技术存在的不足提供一种用于光纤预制棒沉积的气体原料供应装置，它结构设置合理简便，不仅能提供持续不间断的气体原料，而且气压稳定，提高了设备的生产效率。
[0004]本技术为解决上述提出的问题所采用的供应装置的技术方案为：
[0005]包括有蒸发柜和流量混合柜，所述的蒸发柜中安设有蒸发料瓶，所述的流量混合柜中安设有MFC(气体流量计)，所述的蒸发料瓶包括SiCl4蒸发料瓶和GeCl4蒸发料瓶，每种气体原料蒸发料瓶分别配置有料瓶加热装置，每种气体原料蒸发料瓶通过送气管道分别与流量混合柜中的MFC输入口相接，MFC的输出口与混合气体输送管道相连通，其特征在于所述的SiCl4蒸发料瓶设置有两个，两个SiCl4蒸发料瓶的进料口分别通过控制阀与送料管道相连通，两个SiCl4蒸发料瓶的送气口分别通过控制阀或切换阀与SiCl4送气管道相连通，所述的GeCl4蒸发料瓶设置有两个，两个GeCl4蒸发料瓶的进料口分别通过控制阀与送料管道相连通，两个GeCl4蒸发料瓶的送气口分别通过控制阀或切换阀与GeCl4送气管道相连通。
[0006]按上述方案，所述的蒸发柜内安设有使柜内温度保持恒定的蒸发柜加热器，所述的流量混合柜安设有使柜内温度保持恒定的混合柜加热器。
[0007]按上述方案，所述的蒸发料瓶设置有压力传感器和液位传感器。
[0008]按上述方案，所述的送气管道安设有传输管道加热带。
[0009]按上述方案，所述的混合气体输送管道安设有混合气体输送管道加热带。
[0010]按上述方案，所述的料瓶加热装置包括料瓶侧壁加热毯和料瓶底部加热毯。
[0011]按上述方案，所述的蒸发料瓶上端设置有抽吸口，抽吸口通过控制阀及抽吸管道与真空泵相连。
[0012]按上述方案，通过蒸发柜加热器对蒸发柜进行加热使柜内温度保持恒定，通过混合柜加热器对流量混合柜进行加热使柜内温度保持恒定，通过传输管道加热带对各送气管道加热使送气管道温度保持恒定，通过混合气体输送管道加热带对混合气体输送管道加热使混合气体输送管道温度保持恒定。
[0013]按上述方案，所述的SiCl4蒸发料瓶加热温度设定为30～装50℃，所述的GeCl4蒸发料瓶加热温度设定为30～装55℃，所述的蒸发柜内加热温度设定为30
‑
50℃。
[0014]按上述方案，所述的送气管道包括SiCl4送气管道和GeCl4送气管道，原料蒸汽通过有加热带的送气管道传输到流量混合柜，所述的SiCl4送气管道分两段加热，一段在蒸发柜内，该段管道温度设定为30
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55℃，另一段加热带从蒸发柜到流量混合柜，该段管道温度设定为32
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57℃，所述的GeCl4送气管道分两段加热，一段在蒸发柜内，该段管道温度设定为30
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55℃，另一段加热带从蒸发柜到流量混合柜，该段管道温度设定为32
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60℃。
[0015]按上述方案，所述的流量混合柜内加热温度高于送气管道温度0
‑
15℃，所述的混合气体输送管道加热温度高于流量混合柜温度0
‑
15℃。
[0016]本技术气体原料供应方法及过程为：采用本技术所述的供应装置，通过N2将液体原料罐中的料压入到SiCl4蒸发料瓶和GeCl4蒸发料瓶中，加料完毕后蒸发柜和蒸发料瓶开始加热，此时送气管道的控制阀关闭，液体原料在蒸发料瓶中加热时温度缓慢上升，蒸发料瓶中的压力也随之上升，蒸发料瓶的压力传感器实时监测蒸发料瓶内压力，同时通过真空泵将混入蒸发料瓶中的N2抽出，使蒸发料瓶中料压稳定，维持在饱和蒸汽压，此时每种气体原料中的一个蒸发料瓶的送气管道控制阀打开，气体原料SiCl4和GeCl4蒸汽通过送气管道传输到MFC柜，经MFC的输出口进入混合气体输送管道投入生产供气，每种气体原料中的另一个蒸发料瓶的送气管道控制阀关闭作为备用蒸发料瓶，并在投入生产供气之前进行上述进料加热和抽N2过程，当前一个蒸发料瓶的将用完时通过切换，将另一个蒸发料瓶的送气管道控制阀打开投入使用，前一个蒸发料瓶的送气管道控制阀关闭，每种气体原料的两个蒸发料瓶循环交替使用，保持对沉积系统的持续气体原料供应，直至沉积完毕。
[0017]本技术的有益效果在于：1、结构设置合理简便，特别是设置双蒸发料瓶结构加料不停顿，能进行持续不间断的气体原料供给，从而保证光纤预制棒沉积的持续稳定的进行，大大提高了设备的生产效率，同时也能相应减小蒸发料瓶的容积，使设备结构更为紧凑；2、在蒸发柜、流量混合柜和送气管道、混合气体输送管道设置加热器和加热带能有效解决送气过程料压不稳定和蒸汽冷凝的问题，使送气管道和混合气体输送管道内的原料蒸汽保持恒定的压力和状态，减少MFC(气体流量计)波动，从而有效提高光纤预制棒的沉积质量；3、设置MFC及压力传感器和液位传感器，可实时监测和控制硅锗化合物的流量，精确控制沉积过程中的原料含量，提高沉积芯棒的折射率剖面精度。
附图说明
[0018]图1是本技术一个实施例的结构示意图。
具体实施方式
[0019]下面结合附图和实施例对本技术作进一步的详细说明。
[0020]本技术装置的一种实施例如图1所示，包括蒸发柜1，在所述蒸发柜内安装有蒸发柜加热器2，所述蒸发柜加热器可以对整个蒸发柜进行加热。所述蒸发柜内安设有4个蒸发料瓶3，所述4个蒸发料瓶包括2个SiCl4蒸发料瓶和2个GeCl4蒸发料瓶，两个SiCl4蒸发料瓶的进料口分别通过控制阀101、103与GeCl4送料管道相本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于光纤预制棒沉积的气体原料供应装置，包括有蒸发柜和流量混合柜，所述的蒸发柜中安设有蒸发料瓶，所述的流量混合柜中安设有MFC，所述的蒸发料瓶包括SiCl4蒸发料瓶和GeCl4蒸发料瓶，每种气体原料蒸发料瓶分别配置有料瓶加热装置，每种气体原料蒸发料瓶通过送气管道分别与流量混合柜中的MFC输入口相接，MFC的输出口与混合气体输送管道相连通，其特征在于所述的SiCl4蒸发料瓶设置有两个，两个SiCl4蒸发料瓶的进料口分别通过控制阀与送料管道相连通，两个SiCl4蒸发料瓶的送气口分别通过控制阀或切换阀与SiCl4送气管道相连通，所述的GeCl4蒸发料瓶设置有两个，两个GeCl4蒸发料瓶的进料口分别通过控制阀与送料管道相连通，两个GeCl4蒸发料瓶的送气口分别通过控制阀或切换阀与GeCl4送气管道相连通。2.按权利要求1所述的用于光纤预制棒沉积的气体原料供应装置，其特征在于所述的蒸发柜内安设有使柜内温度保持恒定的蒸发柜加热器，所述的流量混合柜安设有使柜内温度保持恒定的混合柜加热器。3.按权利要求1或2所述的用于光纤预制棒沉积的气体原料供应装置，其特征在于所述的蒸发料瓶设置有压力传感器和液位传感器。4.按权利要求1或2所述的用于光纤预制棒沉积的气体原料供应装置，其特征在于所述的送气管道安设有传输管道加热带。5.按权利要求1或2所述的用于光纤预制棒沉积的气体原料供应装置，其特征在于所述的混合气体输送管道安设有混合气体输送管道加热带。6.按权利要求1或2所述的用于光纤预制棒沉积的气体原料供应装...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢鹏，傅琰，吴建鹏，汪振东，张安林，肖武丰，徐进，
申请(专利权)人：长飞光纤光缆股份有限公司，
类型：新型
国别省市：