一种固晶机及其用于晶圆蓝膜张紧的升降调节机构制造技术

本实用新型专利技术涉及固晶技术领域，更具体地说，它涉及一种固晶机及其用于晶圆蓝膜张紧的升降调节机构，其包括支撑环、活动环和驱动机构，所述活动环用于与晶圆蓝膜连接；所述驱动机构包括螺杆和套设在螺杆上的驱动齿轮，所述驱动齿轮与螺杆螺纹连接，所述驱动齿轮可转动地设置在支撑环上，所述螺杆与活动环固定，所述驱动齿轮用于转动时通过螺杆带动活动环升降。在本实用新型专利技术提供的技术方案中，螺杆与驱动齿轮两者通过螺纹配合，带动活动环升降，当螺纹出现磨损时只需要更换螺杆或驱动齿轮，而不需要更换活动环，从而可以降低螺纹磨损时的维修成本。维修成本。维修成本。

【技术实现步骤摘要】
一种固晶机及其用于晶圆蓝膜张紧的升降调节机构


[0001]本技术涉及固晶
，特别涉及一种固晶机及其用于晶圆蓝膜张紧的升降调节机构。

技术介绍

[0002]在二极管封装制造过程中，需要将储存在晶圆蓝膜上的晶圆取出进行固晶操作，在取晶的过程中，需要将晶圆蓝膜进行张紧，以防止晶圆蓝膜出现松弛而影响晶圆的位置精度。现有的晶圆蓝膜张紧机构包括扩晶环和升降调节机构，扩晶环用于对晶圆蓝膜提供支撑，升降调节机构用于向下拉动晶圆蓝膜的四周，以对晶圆蓝膜进行张紧。
[0003]如图1所示，现有的升降调节机构包括支撑环2
’
、活动环10
’
和连接轴11
’
，晶圆蓝膜用于安装在活动环10
’
上。活动环10
’
上设有沿竖直方向设置的螺纹孔12
’
，连接轴11
’
沿竖直方向设置，连接轴11
’
的底部转动安装在支撑环2
’
上，连接轴11
’
的顶部设置有与螺纹孔12
’
相配合的外螺纹13
’
，连接轴11
’
通过外螺纹13
’
螺纹连接在螺纹孔12
’
中，连接轴11
’
转动时能够驱动活动环10
’
升降。其中，活动环10
’
下降时拉动晶圆蓝膜的四周，以对晶圆蓝膜进行张紧。连接轴11
’
和螺纹孔12
>’
的数量均为多个，多个连接轴11
’
和螺纹孔12
’
均沿周向设置。各连接轴11
’
上均固定安装有驱动齿轮21
’
，各驱动齿轮21
’
通过闭环传动带连接同步转动。
[0004]其中，驱动齿轮21
’
转动时带动连接轴11
’
一起转动，连接轴11
’
与活动环10
’
上的螺纹孔12
’
配合，连接轴11
’
转动时带动活动环10
’
升降。其中，连接轴11
’
和活动环10
’
上的螺纹孔12
’
长期使用后容易磨损，由于螺纹孔12
’
直接设置在活动环10
’
上，当螺纹孔12
’
出现磨损时需要对活动环10
’
进行更换，从而维修成本较高，故急需针对这种情况进行改进。

技术实现思路

[0005]有鉴于此，本技术提供一种固晶机及其用于晶圆蓝膜张紧的升降调节机构，主要所要解决的技术问题是：如何降低螺纹磨损时的维修成本。
[0006]为达到上述目的，本技术主要提供如下技术方案：
[0007]一方面，本技术的实施例提供一种用于晶圆蓝膜张紧的升降调节机构，包括支撑环、活动环和驱动机构，所述活动环用于与晶圆蓝膜连接；
[0008]所述驱动机构包括螺杆和套设在螺杆上的驱动齿轮，所述驱动齿轮与螺杆螺纹连接，所述驱动齿轮可转动地设置在支撑环上，所述螺杆与活动环固定，所述驱动齿轮用于转动时通过螺杆带动活动环升降。
[0009]可选的，所述螺杆的侧面具有凸环，所述凸环环绕螺杆的轴线方向；
[0010]所述用于晶圆蓝膜张紧的升降调节机构还包括压板，所述压板用于固定在所述活动环上、且通过抵压凸环将螺杆固定在活动环上。
[0011]可选的，所述压板通过螺丝与活动环固定连接。
[0012]可选的，所述活动环上设有供螺杆穿过的过孔，所述凸环位于活动环的背离驱动
齿轮的一侧。
[0013]可选的，所述螺杆的端部还设有用于与螺丝刀配合的卡槽，所述卡槽位于活动环的背离驱动齿轮的一侧。
[0014]可选的，所述螺杆的端部设有凸块，所述凸块沿螺杆的轴向延伸，所述卡槽设置在所述凸块上；所示凸块的外径大于所示螺杆的外径。
[0015]可选的，所述压板的一侧设有环形凸起部，以通过环形凸起部抵压所述凸环。
[0016]可选的，所述驱动齿轮上设有轮轴，所述轮轴上设有沿轴向延伸的螺纹孔，所述驱动齿轮通过所述螺纹孔与所述螺杆螺纹连接；
[0017]所述支撑环上设有轴承，所述驱动齿轮通过所述轮轴可转动地安装在所述轴承内。
[0018]可选的，所述驱动机构的数量为两个以上，且沿所述支撑环的周向设置；
[0019]各驱动机构的驱动齿轮通过同步带传动连接。
[0020]另一方面，本技术的实施例还提供一种固晶机，其可以包括上述任一种所述的用于晶圆蓝膜张紧的升降调节机构。
[0021]借由上述技术方案，本技术固晶机及其用于晶圆蓝膜张紧的升降调节机构至少具有以下有益效果：
[0022]在本技术提供的技术方案中，螺杆与驱动齿轮两者通过螺纹配合，带动活动环升降，当螺纹出现磨损时只需要更换螺杆或驱动齿轮，而不需要更换活动环，从而可以降低螺纹磨损时的维修成本。
[0023]上述说明仅是本技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本技术的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本技术的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
附图说明
[0024]图1是现有技术中的一种升降调节机构的结构示意图；
[0025]图2是本技术的一实施例提供的一种用于晶圆蓝膜张紧的升降调节机构的结构示意图；
[0026]图3是图2中A处的放大示意图；
[0027]图4是升降调节机构的部分分解示意图；
[0028]图5是升降调节机构的剖面示意图。
[0029]附图标记：1、支撑环；2、活动环；3、同步带；4、驱动齿轮；5、压板；6、螺杆；7、轴承；41、轮轴；61、凸环；62、凸块；201、过孔；401、螺纹孔；601、卡槽。
具体实施方式
[0030]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0031]需要说明，若本专利技术实施例中有涉及方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后
……
)，
则该方向性指示仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
[0032]另外，若本专利技术实施例中有涉及“第一”、“第二”等的描述，则该“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆蓝膜张紧的升降调节机构，其特征在于，包括支撑环(1)、活动环(2)和驱动机构，所述活动环(2)用于与晶圆蓝膜连接；所述驱动机构包括螺杆(6)和套设在螺杆(6)上的驱动齿轮(4)，所述驱动齿轮(4)与螺杆(6)螺纹连接，所述驱动齿轮(4)可转动地设置在支撑环(1)上，所述螺杆(6)与活动环(2)固定，所述驱动齿轮(4)用于转动时通过螺杆(6)带动活动环(2)升降。2.根据权利要求1所述的用于晶圆蓝膜张紧的升降调节机构，其特征在于，所述螺杆(6)的侧面具有凸环(61)，所述凸环(61)环绕螺杆(6)的轴线方向；所述用于晶圆蓝膜张紧的升降调节机构还包括压板(5)，所述压板(5)用于固定在所述活动环(2)上、且通过抵压凸环(61)将螺杆(6)固定在活动环(2)上。3.根据权利要求2所述的用于晶圆蓝膜张紧的升降调节机构，其特征在于，所述压板(5)通过螺丝与活动环(2)固定连接。4.根据权利要求2所述的用于晶圆蓝膜张紧的升降调节机构，其特征在于，所述活动环(2)上设有供螺杆(6)穿过的过孔(201)，所述凸环(61)位于活动环(2)的背离驱动齿轮(4)的一侧。5.根据权利要求2所述的用于晶圆蓝膜张紧的升降调节机构，其特征在于，所述螺杆(6)的端部还设有用于与螺丝刀...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹皇东，曹国光，郑熠，
申请(专利权)人：东莞市华越半导体技术股份有限公司，
类型：新型
国别省市：