一种固晶机及其用于晶圆蓝膜张紧的升降调节机构制造技术

本实用新型专利技术涉及固晶技术领域，更具体地说，它涉及一种固晶机及其用于晶圆蓝膜张紧的升降调节机构，其包括支撑环、活动环和驱动机构，所述活动环用于与晶圆蓝膜连接；所述驱动机构包括螺杆和套设在螺杆上的驱动齿轮，所述驱动齿轮与螺杆螺纹连接，所述驱动齿轮可转动地设置在支撑环上，所述螺杆与活动环固定，所述驱动齿轮用于转动时通过螺杆带动活动环升降。在本实用新型专利技术提供的技术方案中，螺杆与驱动齿轮两者通过螺纹配合，带动活动环升降，当螺纹出现磨损时只需要更换螺杆或驱动齿轮，而不需要更换活动环，从而可以降低螺纹磨损时的维修成本。维修成本。维修成本。

【技术实现步骤摘要】
一种固晶机及其用于晶圆蓝膜张紧的升降调节机构


[0001]本技术涉及固晶
，特别涉及一种固晶机及其用于晶圆蓝膜张紧的升降调节机构。

技术介绍

[0002]在二极管封装制造过程中，需要将储存在晶圆蓝膜上的晶圆取出进行固晶操作，在取晶的过程中，需要将晶圆蓝膜进行张紧，以防止晶圆蓝膜出现松弛而影响晶圆的位置精度。现有的晶圆蓝膜张紧机构包括扩晶环和升降调节机构，扩晶环用于对晶圆蓝膜提供支撑，升降调节机构用于向下拉动晶圆蓝膜的四周，以对晶圆蓝膜进行张紧。
[0003]如图1所示，现有的升降调节机构包括支撑环2
’
、活动环10
’
和连接轴11
’
，晶圆蓝膜用于安装在活动环10
’
上。活动环10
’
上设有沿竖直方向设置的螺纹孔12
’
，连接轴11
’
沿竖直方向设置，连接轴11
’
的底部转动安装在支撑环2
’
上，连接轴11
’
的顶部设置有与螺纹孔12
’
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆蓝膜张紧的升降调节机构，其特征在于，包括支撑环(1)、活动环(2)和驱动机构，所述活动环(2)用于与晶圆蓝膜连接；所述驱动机构包括螺杆(6)和套设在螺杆(6)上的驱动齿轮(4)，所述驱动齿轮(4)与螺杆(6)螺纹连接，所述驱动齿轮(4)可转动地设置在支撑环(1)上，所述螺杆(6)与活动环(2)固定，所述驱动齿轮(4)用于转动时通过螺杆(6)带动活动环(2)升降。2.根据权利要求1所述的用于晶圆蓝膜张紧的升降调节机构，其特征在于，所述螺杆(6)的侧面具有凸环(61)，所述凸环(61)环绕螺杆(6)的轴线方向；所述用于晶圆蓝膜张紧的升降调节机构还包括压板(5)，所述压板(5)用于固定在所述活动环(2)上、且通过抵压凸环(61)将螺杆(6)固定在活动环(2)上。3.根据权利要求2所述的用于晶圆蓝膜张紧的升降调节机构，其特征在于，所述压板(5)通过螺丝与活动环(2)固定连接。4.根据权利要求2所述的用于晶圆蓝膜张紧的升降调节机构，其特征在于，所述活动环(2)上设有供螺杆(6)穿过的过孔(201)，所述凸环(61)位于活动环(2)的背离驱动齿轮(4)的一侧。5.根据权利要求2所述的用于晶圆蓝膜张紧的升降调节机构，其特征在于，所述螺杆(6)的端部还设有用于与螺丝刀...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹皇东，曹国光，郑熠，
申请(专利权)人：东莞市华越半导体技术股份有限公司，
类型：新型
国别省市：