本实用新型专利技术提供一种推顶装置，该推顶装置包括升降驱动部件和接片部件，升降驱动部件位于接片部件下方以驱动接片部件做升降运动，接片部件能够相对于升降驱动部件做旋转运动，接片部件和升降驱动部件设置有旋转解耦部件以使接片部件做旋转运动时，升降驱动部件不随接片部件运动。本实用新型专利技术的推顶装置中，接片部件通过旋转解耦部件与升降驱动部件转动连接，实现接片部件在旋转运动时与升降驱动部件解耦，使得接片部件能够实现吸附功能提高交接的安全性与可靠性，并且能够降低旋转驱动部件的驱动质量，提高旋转精度。另外，接片部件与吸盘同步旋转，降低交接运动的垂向行程，提高交接效率。效率。效率。
【技术实现步骤摘要】
一种推顶装置
[0001]本技术属于集成电路制造领域，涉及一种推顶装置。
技术介绍
[0002]具有高精度和快速响应的微动工作台在现代制造技术中具有极其重要的地位，尤其运用在大规模集成电路装置器件中。而装备的工件台通常需要具备晶圆的旋转和交接功能，在多维度运动中，各维度运动之间相互不干涉和不约束就成了需要解决的问题。
[0003]现有技术中晶圆交接装置通常采用电机或气缸来对交接爪进行垂向运动，在整个运动过程中，通常有两种方式，一种是交接爪能跟随吸盘作旋转运动，但在旋转时交接爪的升降驱动部件会一同旋转，由此必然带来交接装置的线缆、气管的缠绕问题，使得交接爪不具备吸附功能，降低交接过程中的安全性与可靠性；另一种是交接爪只具有升降功能，交接爪不跟随吸盘旋转运动，这种方式交接爪的升降运动行程大，交接效率偏低。
[0004]因此，如何提供一种推顶装置，使其交接部分能跟随吸盘旋转而升降驱动部分不跟随吸盘旋转，并将这两个维度的运动做到互不干涉互不影响，以提高交接安全性与可靠性，提高交接效率，成为本领域技术人员亟待解决的技术问题。
技术实现思路
[0005]鉴于以上所述现有技术的缺点，本技术的目的在于提供一种推顶装置，用于解决现有技术中的交接装置的交接部分不能够实现既能做升降运动，又能相对升降驱动部做旋转运动的问题。
[0006]为实现上述目的及其他相关目的，本技术提供一种推顶装置，包括：
[0007]升降驱动部件，包括定子结构与动子结构，所述动子结构安装于所述定子结构上且可相对于所述定子结构做升降运动；
[0008]接片部件，位于所述升降驱动部件上方与所述动子结构连接以随所述动子结构做升降运动，所述接片部件的上端设有多个接片爪；
[0009]其中，所述接片部件能够相对于所述升降驱动部件做旋转运动，所述接片部件和所述升降驱动部件之间设置有旋转解耦部件，所述接片部件和所述升降驱动部件之间通过所述旋转解耦部件转动连接，当所述接片部件做旋转运动时，所述升降驱动部件不随所述接片部件运动。
[0010]可选地，所述动子结构的顶端设有沿水平方向的延伸部，所述旋转解耦部件包括上球头柱塞、连接部件和下球头柱塞，所述上球头柱塞位于所述接片部件中且与所述动子结构的上表面滚动连接，所述连接部件与所述接片部件固定连接，所述下球头柱塞位于所述连接部件中且与所述动子结构的延伸部的下表面滚动连接。
[0011]可选地，所述旋转解耦部件包括连接块、第一滚珠和第二滚珠，所述连接块的上端与所述接片部件固定连接，所述连接块的下端与所述动子结构之间通过所述第一滚珠转动连接，所述连接块和所述动子结构平行于旋转轴的相对面各设有与所述第一滚珠相配适的
凹槽，其中至少一个凹槽为环形凹槽；多个所述第二滚珠位于所述接片部件的下表面与所述动子结构的上表面之间以使所述接片部件和所述动子结构转动连接，所述接片部件的下表面与所述动子结构的上表面分别设有与所述第二滚珠相配适的凹槽，其中至少一个凹槽为环形凹槽。
[0012]可选地，所述旋转解耦部件包括双圈轴承，所述双圈轴承包括轴承内圈与轴承外圈且所述轴承内圈与所述轴承外圈能够做相对旋转运动，所述轴承内圈与所述动子结构固定连接，所述轴承外圈与所述接片部件固定连接；或所述轴承外圈与所述动子结构固定连接，所述轴承内圈与所述接片部件固定连接。
[0013]可选地，所述接片爪的顶端设有吸附头，所述接片部件内设有第一气路，所述第一气路的一端延伸至所述吸附头，所述第一气路的另一端延伸至所述旋转解耦部件区域；所述动子结构内部设有第二气路，所述第二气路的一端延伸至所述旋转解耦部件区域与所述第一气路连通，所述第二气路的另一端从所述动子结构的侧边顶部引出与抽气装置连接。
[0014]可选地，所述旋转解耦部件区域设置有避空区域，所述接片部件具有向下的延伸部，所述接片部件的延伸部延伸入所述避空区域并靠近所述动子结构，所述接片部件的延伸部内设置有所述第一气路，所述第一气路与所述第二气路连通。
[0015]可选地，所述升降驱动部件内设置有O型密封圈，所述密封圈设置在所述第一气路和所述第二气路的连通处，对所述第一气路和所述第二气路密封；或
[0016]所述动子结构具有连通槽，所述接片部件的延伸部延伸入所述连通槽中，所述连通槽内周侧壁上设置有环形槽，所述环形槽中设置有所述密封圈，所述密封圈与所述接片部件的延伸部的外周侧壁密封连接。
[0017]可选地，所述第一气路与所述第二气路的连接点在所述接片部件的旋转轴上；或
[0018]所述接片部件还包括设置在所述接片部件的延伸部内的环形气槽，所述环形气槽与所述接片部件的旋转轴同轴，所述第一气路与所述第二气路分别与所述环形气槽连通。
[0019]可选地，所述旋转解耦部件区域设有第三气路，所述第三气路在垂直方向上贯穿所述旋转解耦部件区域，所述第三气路的一端与所述第一气路连通且通过密封圈密封，所述第三气路的另一端与所述第二气路连通且通过所述密封圈密封，所述第三气路与所述接片部件的旋转轴重合；或所述第三气路为与所述接片部件旋转轴同轴的环形气槽。
[0020]可选地，还包括外部的旋转驱动部件，所述旋转驱动部件与所述接片部件连接以驱动所述接片部件做旋转运动。
[0021]如上所述，本技术的推顶装置中，接片部件通过旋转解耦部件与升降驱动部件转动连接，实现接片部件在旋转运动时与升降驱动部件解耦，使得接片部件能够实现吸附功能提高交接的安全性与可靠性，并且能够降低旋转驱动部件的驱动质量，提高旋转精度。另外，接片部件与吸盘同步旋转，降低交接运动的垂向行程，提高交接效率。
附图说明
[0022]图1显示为本技术提供的推顶装置的结构示意图。
[0023]图2显示为本技术中的升降驱动部件的结构示意图。
[0024]图3显示为本技术中的第一种旋转解耦部件及其周围部分部件的结构示意图。
[0025]图4显示为本技术中的第二种旋转解耦部件及其周围部分部件的结构示意图。
[0026]图5显示为本技术中的第三种旋转解耦部件及其周围部分部件的结构示意图。
[0027]图6显示为本技术中第一气路和第二气路在避空区域连通的结构示意图。
[0028]图7显示为本技术中第一气路和第二气路通过第三气路连通的结构示意图。
[0029]图8显示为本技术中第一气路和第二气路通过连通槽连通的结构示意图。
[0030]图9显示为本技术中的第一种第一垂向导向部件的结构示意图。
[0031]图10显示为本技术中的第二种第一垂向导向部件及其周围部分部件的结构示意图。
[0032]图11显示为本技术提供的推顶装置设置在具有外部旋转驱动装置时的剖面结构示意图。
[0033]元件标号说明
[0034]1升降驱动部件
[0035]101定子结构
[0036]102动子结构
[00本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种推顶装置，其特征在于，包括：升降驱动部件（1），包括定子结构（101）与动子结构（102），所述动子结构（102）安装于所述定子结构（101）上且可相对于所述定子结构（101）做升降运动；接片部件（2），位于所述升降驱动部件（1）上方与所述动子结构（102）连接以随所述动子结构（102）做升降运动，所述接片部件（2）的上端设有多个接片爪（201）；其中，所述接片部件（2）能够相对于所述升降驱动部件（1）做旋转运动，所述接片部件（2）和所述升降驱动部件（1）之间设置有旋转解耦部件（3），所述接片部件（2）和所述升降驱动部件（1）之间通过所述旋转解耦部件（3）转动连接，当所述接片部件（2）做旋转运动时，所述升降驱动部件（1）不随所述接片部件（2）运动。2.根据权利要求1所述的推顶装置，其特征在于：所述动子结构（102）的顶端设有沿水平方向的延伸部，所述旋转解耦部件（3）包括上球头柱塞（301）、连接部件（302）和下球头柱塞（303），所述上球头柱塞（301）位于所述接片部件（2）中且与所述动子结构（102）的上表面滚动连接，所述连接部件（302）与所述接片部件（2）固定连接，所述下球头柱塞（303）位于所述连接部件（302）中且与所述动子结构（102）的延伸部的下表面滚动连接。3.根据权利要求1所述的推顶装置，其特征在于：所述旋转解耦部件（3）包括连接块（311）、第一滚珠（312）和第二滚珠（313），所述连接块（311）的上端与所述接片部件（2）固定连接，所述连接块（311）的下端与所述动子结构（102）之间通过所述第一滚珠（312）转动连接，所述连接块（311）和所述动子结构（102）平行于旋转轴的相对面各设有与所述第一滚珠（312）相配适的凹槽，其中至少一个凹槽为环形凹槽；多个所述第二滚珠（313）位于所述接片部件（2）的下表面与所述动子结构（102）的上表面之间以使所述接片部件（2）和所述动子结构（102）转动连接，所述接片部件（2）的下表面与所述动子结构（102）的上表面分别设有与所述第二滚珠（313）相配适的凹槽，其中至少一个凹槽为环形凹槽。4.根据权利要求1所述的推顶装置，其特征在于：所述旋转解耦部件（3）包括双圈轴承（321），所述双圈轴承（321）包括轴承内圈与轴承外圈且所述轴承内圈与所述轴承外圈能够做相对旋转运动，所述轴承内圈与所述动子结构（102）固定连接，所述轴承外圈与所述接片部件（2）固定连接；或所述轴承外圈与所述动子结构（102）固定连接，所述轴承内圈与所述接片部件（2）固定连接。5.根据权利要求1
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【专利技术属性】
技术研发人员：高元桢，唐艳文，袁嘉欣，吴火亮，江旭初，
申请(专利权)人：上海隐冠半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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