一种固晶机及其晶圆蓝膜固定机构制造技术

本实用新型专利技术涉及固晶技术领域，更具体地说，它涉及一种固晶机及其晶圆蓝膜固定机构，其包括活动环和固定环；所述晶圆蓝膜具有连接框和与连接框的内侧连接的支撑膜，所述支撑膜用于对晶圆提供支撑；所述固定环与连接框以及活动环均可拆卸固定连接。在本实用新型专利技术提供的技术方案中，由于连接框可相对固定环拆卸，从而方便晶圆蓝膜的安装和更换。另外，当晶圆蓝膜上的晶圆上料完毕后，需要经常更换晶圆蓝膜，导致固定环与连接框的连接处容易磨损；而通过将固定环与活动环可拆卸连接，使固定环发生磨损时可及时得到更换。生磨损时可及时得到更换。生磨损时可及时得到更换。

【技术实现步骤摘要】
一种固晶机及其晶圆蓝膜固定机构


[0001]本技术涉及固晶
，特别涉及一种固晶机及其晶圆蓝膜固定机构。

技术介绍

[0002]在二极管的封装工艺中，需要从晶圆蓝膜上摘取晶圆固定到料片上进行固晶操作。其中，在摘取晶圆时需要对晶圆蓝膜进行固定，以提高摘取晶圆的稳定性，而如何对晶圆蓝膜进行固定成了本领域技术人员急需解决的技术问题。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本技术提供一种固晶机及其晶圆蓝膜固定机构，主要所要解决的技术问题是：如何对晶圆蓝膜进行固定。
[0004]为达到上述目的，本技术主要提供如下技术方案：
[0005]一方面，本技术的实施例提供一种晶圆蓝膜固定机构，包括活动环和固定环；
[0006]所述晶圆蓝膜具有连接框和与连接框的内侧连接的支撑膜，所述支撑膜用于对晶圆提供支撑；
[0007]所述固定环与连接框以及活动环均可拆卸固定连接。
[0008]可选的，所述固定环与连接框两者通过第一螺丝可拆卸固定连接。
[0009]可选的，所述的晶圆蓝膜固定机构还包括第一限位结构，所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆蓝膜固定机构，其特征在于，包括活动环(1)和固定环(3)；所述晶圆蓝膜具有连接框(2)和与连接框(2)的内侧连接的支撑膜，所述支撑膜用于对晶圆提供支撑；所述固定环(3)与连接框(2)以及活动环(1)均可拆卸固定连接。2.根据权利要求1所述的晶圆蓝膜固定机构，其特征在于，所述固定环(3)与连接框(2)两者通过第一螺丝(4)可拆卸固定连接。3.根据权利要求2所述的晶圆蓝膜固定机构，其特征在于，还包括第一限位结构，所述第一限位结构用于对连接框(2)限位，使连接框(2)上的第一连接孔(201)与固定环(3)上的第二连接孔(301)相对；其中，所述第一螺丝(4)用于通过第一连接孔(201)和第二连接孔(301)可拆卸固定所述固定环(3)和连接框(2)。4.根据权利要求3所述的晶圆蓝膜固定机构，其特征在于，所述第一限位结构包括凹槽结构(302)和用于插入所述凹槽结构(302)的凸块(21)，所述凹槽结构(302)和凸块(21)两者中的一个设置在所述固定环(3)...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹国光，曹皇东，郑熠，
申请(专利权)人：东莞市华越半导体技术股份有限公司，
类型：新型
国别省市：