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本实用新型涉及固晶技术领域，更具体地说，它涉及一种固晶机及其晶圆蓝膜固定机构，其包括活动环和固定环；所述晶圆蓝膜具有连接框和与连接框的内侧连接的支撑膜，所述支撑膜用于对晶圆提供支撑；所述固定环与连接框以及活动环均可拆卸固定连接。在本实用新型...
该专利属于东莞市华越半导体技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东莞市华越半导体技术股份有限公司授权不得商用。

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