一种高可靠的研磨机关停控制装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种高可靠的研磨机关停控制装置，包括测频系统研磨机控制电路模块、连接口、两个串联的研磨机关停控制器、研磨机；所述测频系统控制电路模块与两个串联的研磨机关停控制器通过连接口连接，所述研磨机与两个串联的研磨机关停控制器通过电性连接；所述研磨机关停控制器为固态继电器或光电耦合器；所述测频系统控制电路模块包括研磨机控制输出自检模块、研磨机控制自检模块和关停研磨机控制模块；本发明专利技术提供了一种可靠性高、结构简单合理、制作方便、基于双路控制和带自检功能的适用于石英晶片研磨在线测频系统关停研磨机的控制装置。的控制装置。的控制装置。

【技术实现步骤摘要】
一种高可靠的研磨机关停控制装置


[0001]本专利技术涉及控制装置领域，更具体地说，它涉及一种高可靠的研磨机关停控制装置。

技术介绍

[0002]石英晶片的频率研磨是石英晶振生产过程中的重要工序，晶片通过研磨机进行切削减薄。目前，市场上商用的在线测频系统(如美国TRANSAT公司ALC在线频率监控仪)通过动态测量晶片的谐振频率从而实时监控晶片的厚度，当晶片厚度达到预设值时在线频率测量系统发送关停信号使研磨机停机。
[0003]目前，工厂中在线测频系统通过一个光电耦合器或一个固态继电器来控制研磨机的关停，当在研磨石英晶片过程中光电耦合器或固态继电器发生故障，当前的测频系统无法检测到器件发生故障，这样就极有可能造成整盘晶片的超频事故；同时当研磨机关停控制线未连接或者接触不良时，当前的测频系统同样无法检测到控制线未连接或者接触不良的问题，同样这极有可能造成对整盘晶片的超频事故。
[0004]对于磁钢片、陶瓷片和蓝宝石等涉及厚度切削的其他研磨机测控系统，也存在相同的风险隐患。随着当前精密加工领域对生产效率、合格率和自动化程度要求不断提高，急需一种高可靠的研磨机关停控制装置。

技术实现思路

[0005]本专利技术克服了现有技术的不足，提供了一种可靠性高、结构简单合理、制作方便、基于双路控制和带自检功能的适用于石英晶片研磨在线测频系统关停研磨机的控制装置及其方法。
[0006]为了解决上述技术问题，本专利技术的技术方案如下：
[0007]一种高可靠的研磨机关停控制装置，包括测频系统研磨机控制电路模块、连接口、两个串联的研磨机关停控制器、研磨机；所述测频系统控制电路模块与两个串联的研磨机关停控制器通过连接口连接，所述研磨机与两个串联的研磨机关停控制器通过电性连接；所述研磨机关停控制器为固态继电器或光电耦合器；所述测频系统控制电路模块包括研磨机控制输出自检模块、研磨机控制自检模块和关停研磨机控制模块；所述关停研磨机控制模块与研磨机控制自检模块通过三极管进行控制通讯，所述控制通讯为，关停研磨机控制模块导通工作后在IO口输出低电平，使IO口控制的光耦导通，使得三极管的B极生成一个低压电值，从而导通三极管，使得研磨机控制自检模块的IO口的输入电平由高电平转为低电平，从而判断控制电路的状况；所述研磨机控制输出自检模块与研磨机控制自检模块之间设置串联的标识灯和第一限流电阻，所述标识灯为并联的LED灯和外接的指示灯，用以显示电路的状况。
[0008]进一步的，所述连接口采用DB9即串口引脚。
[0009]进一步的，所述一个串联的研磨机关停控制器与连接口的1和9引脚连接，作为输
出口；另一个串联的研磨机关停控制器与连接口的2和8引脚连接，作为输出口。
[0010]进一步的，所述研磨机控制输出自检模块和关停研磨机控制模块设置有下拉电阻，用以把不确定的信号钳位在低电平，保持驱动能力与功耗的平衡。
[0011]进一步的，所述下拉电阻采用10K欧姆。
[0012]进一步的，所述自检控制装置的输出电流控制在10至12mA。
[0013]一种高可靠的研磨机关停控制装置的方法，包括开机自检检测步骤、研磨工作步骤、研磨机控制回路功能的检测步骤和在线测频步骤；
[0014]开机自检检测步骤具体步骤如下：
[0015]101)研磨机控制自检输出端口1输出低电平，自检输出电路模块1中继电器导通，研磨机控制自检输出端口2输出低电平，自检输出电路模块2中继电器导通；
[0016]102)研磨机停止控制端口1输出高电平，研磨机停止控制电路模块1光耦不导通，研磨机停止控制端口2输出高电平，研磨机停止控制电路模块2光耦不导通；
[0017]103)延时100ms，等待信号稳定；
[0018]104)读取研磨机控制自检输入端口1电平，记为Flag11，读取研磨机控制自检输入端口2电平，记为Flag12；
[0019]105)延时100ms，用于信号干扰消除；
[0020]106)再次读取研磨机控制自检输入端口1电平，记为Flag21，再次读取研磨机控制自检输入端口2电平，记为Flag22；
[0021]107)判断Flag11是否等于Flag21，且值是否为真；判断Flag12是否等于Flag22，且值是否为真；
[0022]108)若满足步骤107)所述条件其值都为真，则研磨机控制端口1输出低电平，研磨机控制端口2输出低电平。判断Flag11是否等于Flag21不为真，则自检失败，触摸屏研磨机控制电路模块1损坏。判断Flag12是否等于Flag22不为真，则自检失败，触摸屏提示研磨机控制电路模块2损坏。
[0023]109)满足步骤107)所述条件其值都为真的前提下，延时100ms，等待信号稳定；
[0024]110)在步骤109)后读取研磨机控制自检输入端口1电平，记为Flag31；读取研磨机控制自检输入端口1电平，记为Flag32；
[0025]111)在步骤110)后延时100ms，用于信号干扰消除；
[0026]112)再次读取研磨机控制自检输入端口1电平，记为Flag41；再次读取研磨机控制自检输入端口2电平，记为Flag42；
[0027]113)判断Flag31是否等于Flag41，且值是否为真；判断Flag32是否等于Flag42，且值是否为真；
[0028]114)若满足步骤113)所述条件成立，则自检成功，测频仪研磨机控制模块能正常工作；否则自检失败，判断Flag31是否等于Flag41不为真，则触摸屏提示研磨机控制模块1损坏；若只有Flag32是否等于Flag42不为真，则触摸屏提示研磨机控制模块2损坏；
[0029]测频仪主界面“研磨”按钮按下，开始研磨前和石英晶片研磨到达目标频率停机时，对研磨机控制回路功能的检测步骤一样，其具体步骤如下：
[0030]201)研磨机停止控制端口1输出高电平，研磨机停止控制模块1光耦不导通；研磨机停止控制端口2输出高电平，研磨机停止控制模块2光耦不导通；
[0031]202)延时100ms，等待信号稳定；
[0032]203)读取研磨机控制自检输入端口1电平，记为Flag11；读取研磨机控制自检输入端口2电平，记为Flag12；
[0033]204)延时100ms，用于信号干扰消除；
[0034]205)再次读取研磨机控制自检输入端口1电平，记为Flag21；再次读取研磨机控制自检输入端口2电平，记为Flag22；
[0035]206)判断Flag11是否等于Flag21，且值是否为真；判断Flag12是否等于Flag22，且值是否为真；
[0036]207)若满足步骤206)所述都条件成立都为真，则研磨机控制端口1输出低电平；则研磨机控制端口2输出低电平；若判断Flag11是否等于Flag21，为不真，则研磨机控制回路1不正常，触摸屏提示异常；如只Flag12是否等于Flag22本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高可靠的研磨机关停控制装置，其特征在于，包括测频系统研磨机控制电路模块、连接口、两个串联的研磨机关停控制器、研磨机；所述研磨机与两个串联的研磨机关停控制器通过电性连接；所述研磨机关停控制器为固态继电器或光电耦合器；高可靠的研磨机关停控制装置的控制方法包括开机自检检测步骤：开机自检检测步骤具体步骤如下：101)研磨机控制自检输出端口1输出低电平，自检输出电路模块1中继电器导通，研磨机控制自检输出端口2输出低电平，自检输出电路模块2中继电器导通；102)研磨机停止控制端口1输出高电平，研磨机停止控制电路模块1光耦不导通，研磨机停止控制端口2输出高电平，研磨机停止控制电路模块2光耦不导通；103)延时100ms，等待信号稳定；104)读取研磨机控制自检输入端口1电平，记为Flag11，读取研磨机控制自检输入端口2电平，记为Flag12；105)延时100ms，用于信号干扰消除；106)再次读取研磨机控制自检输入端口1电平，记为Flag21，再次读取研磨机控制自检输入端口2电平，记为Flag22；107)判断Flag11是否等于Flag21，且值是否为真；判断Flag12是否等于Flag22，且值是否为真；108)若满足步骤107)所述条件其值都为真，则研磨机控制端口1输出低电平，研磨机控制端口2输出低电平，判断Flag11是否等于Flag21不为真，则自检失败，触摸屏研磨机控制电路模块1损坏，判断Flag12是否等于Flag22不为真，则自检失败，触摸屏提示研磨机控制电路模块2损坏，109)满足步骤107)所述条件其值都为真的前提下，延时100ms，等待信号稳定；110)在步骤109)后读取研磨机控制自检输入端口1电平，记为Flag31；读取研磨机控制自检输入端口1电平，记为Flag32；111)在步骤110)后延时100ms，用于信号干扰消除；112)再次读取研磨机控制自检输入端口1电平，记为Flag41；再次读取研磨机控制自检输入端口2电平，记为Flag42；113)判断Flag31是否等于Flag41，且值是否为真；判断Flag32是否等于Flag42，且值是否为真；114)若满足步骤113)所述条件成立，则自检成功，测频仪研磨机控制模块能正常工作；否则自检失败，判断Flag31是否等于Flag41不为真，则触摸屏提示研磨机控制模块1损坏；若只有Flag32是否等于Flag42不为真，则触摸屏提示研磨机控制模块2损坏；所述测频系统控制电路模块包括研磨机控制输出自检模块、研磨机控制自检模块和关停研磨机控制模块；高可靠的研磨机关停控制装置的控制方法还包括研磨机控制回路功能的检测步骤，测频仪主界面“研磨”按钮按下，开始研磨前和石英晶片研磨到达目标频率停机时，对研磨机控制回路功能的检测步骤一样，其具体步骤如下：201)研磨机停止控制端口1输出高电平，研磨机停止控制模块1光耦不导通；研磨机停止控制端口2输出高电平，研磨机停止控制模块2光耦不导通；202)延时100ms，等待信号稳定；
203)读取研磨机控制自检输入端口1电平，记为Flag11；读取研磨机控制自检输入端口2电平，记为Flag12；204)延时100ms，用于信号干扰消除；205)再次读取研磨机控制自检输入端口1电平，记为Flag21；再次读取研磨机控制自检输入端口2电平，记为Flag22；206)判断Flag11是否等于Flag21，且值是否为真；判断Flag12是否等于Flag22，且值是否为真；207)若满足步骤206)所述都条件成立都为真，则研磨机控制端口1...

【专利技术属性】
技术研发人员：潘凌锋，陈浙泊，郭彬，陈一信，
申请(专利权)人：浙江大学台州研究院，
类型：发明
国别省市：