导流结构和无阀压电微泵制造技术

本发明专利技术提供了一种导流结构和无阀压电微泵，导流结构包括：本体，所述本体的第一侧设有螺旋形的流道，所述本体上设有间隔开分布的第一开口和第二开口，所述第一开口与所述流道的第一端连通，所述第二开口与所述流道的第二端连通；阻流件，所述阻流件位于所述流道，以对沿从所述第二开口向所述第一开口的流体产生第一流动阻力，对沿从所述第一开口向所述第二开口的流体产生第二流动阻力，所述第一流动阻力大于所述第二流动阻力。本发明专利技术实施例的导流结构，不仅有利于减小流体的回流量，有利于实现流道内流体定向流动，还具有占用空间小的优点。点。点。

【技术实现步骤摘要】
导流结构和无阀压电微泵


[0001]本专利技术涉及流体系统
，更具体地，涉及一种导流结构和包括该导流结构的无阀压电微泵。

技术介绍

[0002]现有的导流装置可以用于微型泵领域。其中，微型泵是微流体系统的核心部件，其性能的好坏直接决定微流体系统的性能。微型泵的运动部件通常是致动部件和微阀膜或阀瓣。微泵可以通过利用压电、静电、热气动、气动或磁效应来产生驱动力。
[0003]压电微型泵是一种常见的往复隔膜泵。通过依靠压电陶瓷的逆压电效应实现压电陶瓷片的振动，使泵腔的体积产生变化，从而达到输送流体的目的。压电微泵具有结构紧凑、体积小、响应快、不受电磁干扰等影响的优点，广泛应用在化学、生物医学、液体冷却以及燃料供应的多个不同领域。
[0004]压电微泵可分为有阀微泵和无阀微泵；有阀微泵通过止回阀的开闭实现流体的定向流动；无阀微泵对液体的吸取和泵送主要是靠收缩管/扩张管的压力损失差来实现的，无阀微泵因无止回阀，结构更简单、可靠性更高、寿命更长，更易制造。
[0005]然而，现有的导流装置在对流体进行输送时，通常难以实现流体的定向流动，并且导流装置的占用空间还较大。在导流装置应用于无阀微泵时，也存在上述问题，在输送流体时不仅难以实现流体的定向流动，而且输送的流体的流量也较小，流速较慢，并且占用空间大。

技术实现思路

[0006]本专利技术的一个目的是提供一种导流结构的新技术方案，能够解决现有技术中的导流结构难以实现流体的定向流动，而且占用空间大的技术问题。
[0007]本专利技术的又一个目的是提供一种无阀压电微泵的新技术方案，该无阀压电微泵包括上述导流结构。
[0008]根据本专利技术的一个目的，提供了一种导流结构，包括：本体，所述本体的第一侧设有螺旋形的流道，所述本体上设有间隔开分布的第一开口和第二开口，所述第一开口与所述流道的第一端连通，所述第二开口与所述流道的第二端连通；阻流件，所述阻流件位于所述流道，以对沿从所述第二开口向所述第一开口的流体产生第一流动阻力，对沿从所述第一开口向所述第二开口的流体产生第二流动阻力，所述第一流动阻力大于所述第二流动阻力。
[0009]可选地，所述流道包括：底壁和两个侧壁，两个所述侧壁间隔开分布且相对设置，每个所述侧壁与所述底壁连接，所述流道上沿着从所述第一开口向所述第二开口的方向，至少一个所述侧壁包括依次连接的第一段体、第二段体和第三段体，所述阻流件设于所述底壁，所述阻流件的侧壁面上与所述第三段体对应的部分的曲率大于所述第三段体的曲率，所述阻流件的侧壁面与所述第二段体之间的间距大于所述阻流件的侧壁面与所述第三
段体之间的间距。
[0010]可选地，所述阻流件的侧壁面与所述第一段体之间的间距小于所述阻流件的侧壁面与所述第二段体之间的间距。
[0011]可选地，沿着从所述第一开口向所述第二开口的流体流动方向，所述阻流件的侧壁面上与所述第二开口对应的部分设有向内凹陷的槽体。
[0012]可选地，所述流道包括：第一槽，所述第一槽的第一端与所述第一开口连通；第二槽，所述第二槽的第一端与所述第一槽的第二端连通，所述第二槽内设有所述阻流件；第三槽，所述第三槽的第一端与所述第二槽的第二端连通，所述第三槽的第二端与所述第二开口连通；其中，所述第一槽和/或所述第二槽的至少一部分为曲线形槽。
[0013]可选地，所述第一开口的径向尺寸大于所述第一槽的径向尺寸，和/或，所述第二开口的径向尺寸大于所述第三槽的径向尺寸。
[0014]可选地，所述阻流件的数量为多个，多个所述阻流件沿所述流道的延伸方向间隔开分布。
[0015]可选地，所述第一开口靠近所述本体的中心位置，所述第二开口靠近所述本体的外边缘位置。
[0016]根据本专利技术的又一个目的，提供了一种无阀压电微泵，包括底板和上壳，所述底板具有流体进口，所述上壳具有流体出口；导流结构，所述导流结构位于所述底板和所述上壳之间，所述导流结构为上述任一所述的导流结构，所述第一开口与所述流体进口连通，所述第二开口与所述流体出口连通；驱动结构，所述驱动结构驱动流体通过所述流体进口进入所述第一开口，并依次穿过所述第二开口和所述流体出口，流出所述上壳。
[0017]可选地，所述本体的第一侧与所述底板相对，所述本体的第二侧与所述上壳相对，所述本体的第二侧设有凹槽，所述凹槽与所述第二开口连通，所述驱动结构包括：振动膜，所述振动膜的至少一部分可活动地安装于所述本体的第二侧，所述振动膜上设有第一通孔或者所述振动膜的外边缘与所述导流结构之间形成有所述第一通孔；板体，所述板体位于所述振动膜和所述本体之间，所述板体和所述凹槽的内壁面配合形成泵腔，所述板体设有与所述泵腔连通的第二通孔；控制元件，所述控制元件与所述振动膜连接，以用于控制所述振动膜的至少一部分相对于所述板体往复活动，以将所述泵腔内的流体通过所述第二通孔输入所述振动膜和板体之间的空间，所述空间内的流体再通过所述第一通孔流出。
[0018]可选地，所述振动膜包括：固定部，所述固定部安装于所述本体的第二侧；活动部，所述活动部与所述控制元件连接，所述活动部和所述固定部可活动地连接且两者之间具有所述第一通孔。
[0019]可选地，所述活动部靠近所述板体的一侧设有环形凸起部，所述第二通孔位于所述环形凸起部的内侧，所述第一通孔位于所述环形凸起部的外侧。
[0020]可选地，所述凹槽的内侧壁具有台阶部，所述板体安装于所述台阶部。
[0021]根据本专利技术实施例的导流结构采用本体和阻流件相结合，不仅有利于减小流体的回流量，有利于流道内流体定向流动，还有利于实现流体更大的输送量，并且能够减小导流结构的整体占用空间，实现小体积的导流结构的设计目的，有利于后续小体积、微型的无阀压电微泵的设计。
[0022]通过以下参照附图对本专利技术的示例性实施例的详细描述，本专利技术的其它特征及其
优点将会变得清楚。
附图说明
[0023]被结合在说明书中并构成说明书的一部分的附图示出了本专利技术的实施例，并且连同其说明一起用于解释本专利技术的原理。
[0024]图1是根据本专利技术的一个实施例的无阀压电微泵的剖面图；
[0025]图2是根据本专利技术的一个实施例的无阀压电微泵的爆炸图；
[0026]图3是根据本专利技术的一个实施例的导流结构的结构示意图；
[0027]图4是根据本专利技术的一个实施例的流体沿正方向活动的流动示意图；
[0028]图5是根据本专利技术的一个实施例的流体沿反方向活动的流动示意图；
[0029]图6是根据本专利技术的一个实施例的振动膜向上振动时的示意图；
[0030]图7是根据本专利技术的一个实施例的振动膜向下振动时的示意图。
[0031]附图标记
[0032]无阀压电微泵100；
[0033]导流结构10；
[0034]本体11；流道111；第一槽1111；第二槽1112；第三槽1113；凹槽116；台阶部1161；
[0035]第一开口1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种导流结构，其特征在于，包括：本体，所述本体的第一侧设有螺旋形的流道，所述本体上设有间隔开分布的第一开口和第二开口，所述第一开口与所述流道的第一端连通，所述第二开口与所述流道的第二端连通；阻流件，所述阻流件位于所述流道，以对沿从所述第二开口向所述第一开口的流体产生第一流动阻力，对沿从所述第一开口向所述第二开口的流体产生第二流动阻力，所述第一流动阻力大于所述第二流动阻力。2.根据权利要求1所述的导流结构，其特征在于，所述流道包括：底壁和两个侧壁，两个所述侧壁间隔开分布且相对设置，每个所述侧壁与所述底壁连接，所述流道上沿着从所述第一开口向所述第二开口的方向，至少一个所述侧壁包括依次连接的第一段体、第二段体和第三段体，所述阻流件设于所述底壁，所述阻流件的侧壁面上与所述第三段体对应的部分的曲率大于所述第三段体的曲率，所述阻流件的侧壁面与所述第二段体之间的间距大于所述阻流件的侧壁面与所述第三段体之间的间距。3.根据权利要求2所述的导流结构，其特征在于，所述阻流件的侧壁面与所述第一段体之间的间距小于所述阻流件的侧壁面与所述第二段体之间的间距。4.根据权利要求2所述的导流结构，其特征在于，所述阻流件的侧壁面上与所述第二开口对应的部分设有向内凹陷的槽体。5.根据权利要求1所述的导流结构，其特征在于，所述流道包括：第一槽，所述第一槽的第一端与所述第一开口连通；第二槽，所述第二槽的第一端与所述第一槽的第二端连通，所述第二槽内设有所述阻流件；第三槽，所述第三槽的第一端与所述第二槽的第二端连通，所述第三槽的第二端与所述第二开口连通；其中，所述第一槽和/或所述第二槽的至少一部分为曲线形槽。6.根据权利要求5所述的导流结构，其特征在于，所述第一开口的径向尺寸大于所述第一槽的径向尺寸，和/或，所述第二开口的径向尺寸大于所述第三槽的径向尺寸。7.根据权利要求1所述的导流结构，其特征在于，所述阻流件的数量为多个，多个所述阻流件沿所述流道的延伸方向间隔开分布。8.根据权利要求1所述的导...

【专利技术属性】
技术研发人员：张兴邦，俞胜平，蒋朝阳，张丹阳，魏迎迎，
申请(专利权)人：歌尔微电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：