一种腔室预热方法技术

本申请涉及加热工艺技术领域，特别涉及一种腔室预热方法。通过对腔室进行加热，并对腔室实际温度进行实时监测，缩短预热时间，腔室实际温度升高一定数值后再开启外冷水路和主冷水路，缩短预热时间的同时减少能耗。通过延迟开启外冷水路和主冷水路，可有效缩短腔室的预热时间，同时减少腔室的实际加热温度与所需的工艺温度之间的偏差，提高腔室预热的温度准确性，避免多次试产，并且避免冷却和加热同步进行造成能源浪费的问题。进行造成能源浪费的问题。进行造成能源浪费的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种腔室预热方法


[0001]本申请涉及加热工艺
，特别涉及一种腔室预热方法。

技术介绍

[0002]PECVD工艺中，在停机后或其他原因，如工艺腔清洗，将腔室温度降低至低于工艺温度后，需要将腔室温度重新升温至工艺温度，现有的升温工艺中，多是采用在腔室的四个竖直侧壁及底壁设置相应的加热机构分别加热(底壁的加热温度要高出其余侧壁的温度，且差值大)，并通过设置于腔室中温度探头测得腔室中某一区域的温度，以此判断是否达到工艺温度，同时为简化升温控制，在升温过程中，腔室的冷却水路都是保持设定的工艺参数运行的，这不仅导致测得的温度与所需的工艺温度存在偏差，往往需要多次试产才能达到稳定，并且冷却和加热同步进行造成能源浪费严重。

技术实现思路

[0003]为了解决上述技术问题之一，本申请提供一种腔室预热方法，所述腔室由若干个壁体围成，壁体上设置有的外冷水路、主冷水路和加热机构，其特征在于：包括以下步骤：
[0004]S1、预设腔室温度区间和壁体外侧温度区间，获取当前腔室实际温度，壁体上的加热机构以预设功率运行；
[0005本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种腔室预热方法，所述腔室由若干个壁体围成，壁体内设置有的外冷水路、主冷水路和加热机构，其特征在于：包括以下步骤：S1、预设腔室温度区间和壁体外侧温度区间，获取当前腔室实际温度，壁体上的加热机构以预设功率运行；S2：实时获取壁体外侧表面温度，比较壁体外侧表面温度与壁体外侧温度区间，壁体外侧表面温度大于壁体外侧温度区间时，启动外冷水路，将壁体外侧表面温度降低至壁体外侧温度区间内；S3：实时获取腔室实际温度，比较腔室实际温度与腔室温度区间的大小关系，当腔室实际温度大于腔室温度区间时，加热机构持续以预设功率运行，并启动主冷水路，并调整主冷水路的冷却介质参数，主冷水路冷却壁体朝向腔室的表面的温度，使得腔室实际温度调整至腔室温度区间内；S4：将腔室实际温度调整至腔室温度区间后，修改主冷水路冷却介质参数并以预设的冷却介质参数运行。2.根据权利要求1所述的腔室预热方法，其特征在于：在步骤S1中，还预设有若干个温度范围值，每个温度范围值对应设置有相应的预设加热功率，所述加热机构根据腔室实际温度所处在的温度范围值所对应的预设加热功率进行加热。3.根据权利要求1所述的腔室预热方法，其特征在于：在步骤S2中，启动外冷水路后，外冷水路保持预设的冷却介质参数持续运行。4.根据权利要求1所述的腔室预热方法，其特征在于：还包括设在壁体上的元器件和用于冷却所述元器件的点冷水路，在步骤S2中，还包括冷却元器件的步骤：获取元器件的区域温度，若元器件的区域温度大于元器件标准温度，则启用点冷水路，点冷水路以预设参数持续运行。5.根据权利要求4所述的腔室预热方法，其特征在于：设置元器件温度的预设值，在启用点冷水路后，实时获取元器件的区域温度，比较元器件的区域温度与元器件温度的预设值，若元器件的区域温度达到元器件温度的预设值，则启动主冷水路，辅助冷却元器件，且主冷水路以第一预设冷却介质参数运...

【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，
申请(专利权)人：广东利元亨智能装备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：