【技术实现步骤摘要】
一种管式炉控温设备
[0001]本申请涉及机械领域,尤其涉及一种管式炉控温设备。
技术介绍
[0002]目前,在光伏电池制造行业,通常利用管式炉来进行等离子体化学气相沉积工艺。
[0003]然而,在碳化硅桨将硅电池片送入炉内进行气相沉积时,由于需要进行开关炉门的操作,并且打开炉门后,碳化硅桨将硅电池片送入炉内的动作耗时也较长,使得炉口区域温度直线下降,炉内温度难以保持一致,从而导致炉内硅电池片气相沉积的均匀性较差。
技术实现思路
[0004]本申请提供一种管式炉控温设备,能够用于解决目前炉口区域温度下降,导致炉内硅电池片气相沉积均匀性较差的技术问题。
[0005]本申请实施例提供一种管式炉控温设备,所述控温设备包括管式炉和加热装置;所述管式炉具有炉口;其中,所述加热装置设置在所述管式炉靠近所述炉口的一端;所述加热装置包括多个第一加热丝,所述多个第一加热丝沿所述炉口至所述管式炉的炉尾的方向依次排列,所述多个第一加热丝均呈螺旋弹簧状,越靠近所述炉口的第一加热丝的螺旋弯曲程度越大,越远离所述炉口的第一加 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种管式炉控温设备,其特征在于,所述控温设备包括管式炉和加热装置;所述管式炉具有炉口;其中,所述加热装置设置在所述管式炉靠近所述炉口的一端;所述加热装置包括多个第一加热丝,所述多个第一加热丝沿所述炉口至所述管式炉的炉尾的方向依次排列,所述多个第一加热丝均呈螺旋弹簧状,越靠近所述炉口的第一加热丝的螺旋弯曲程度越大,越远离所述炉口的第一加热丝的螺旋弯曲程度越小;或者,所述加热装置包括一个第一加热丝,所述第一加热丝中越靠近所述炉口的部分螺旋弯曲程度越大,越远离所述炉口的部分螺旋弯曲程度越小。2.根据权利要求1所述的管式炉控温设备,其特征在于,在所述加热装置包括多个第一加热丝的情况下,各所述第一加热丝分别连接不同的控制开关。3.根据权利要求1所述的管式炉控温设备,其特征在于,所述控温设...
【专利技术属性】
技术研发人员:张恒,张伟洋,李会滨,
申请(专利权)人:滁州捷泰新能源科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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