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本申请涉及加热工艺技术领域，特别涉及一种腔室预热方法。通过对腔室进行加热，并对腔室实际温度进行实时监测，缩短预热时间，腔室实际温度升高一定数值后再开启外冷水路和主冷水路，缩短预热时间的同时减少能耗。通过延迟开启外冷水路和主冷水路，可有效缩短...
该专利属于广东利元亨智能装备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东利元亨智能装备股份有限公司授权不得商用。

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