一种物理气相沉积设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种物理气相沉积设备，包括壳体，所述壳体的内部自下而上依次开设有真空覆膜室、清洁室、储水室；所述真空覆膜室的内侧设置有用于工件转动、升降的调整组件；所述真空覆膜室与清洁室之间设置有通孔，所述通孔的内侧开设有收纳槽，所述收纳槽的内部滑动连接有密封板，所述壳体的外部固定安装有用于控制密封板移动的第二电动推杆；所述清洁室的内部设置有用于工件清洁的清洁组件。本实用新型专利技术将工件的清洁、覆膜一体化，无需在转运浪费时间，也避免工件受污染，导致气相沉积不均匀。导致气相沉积不均匀。导致气相沉积不均匀。

【技术实现步骤摘要】
一种物理气相沉积设备


[0001]本技术涉及气相沉积设备
，尤其涉及一种物理气相沉积设备。

技术介绍

[0002]物理气相沉积技术表示在真空条件下，采用物理方法，将材料源，固体或液体表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子，并通过低压气体(或等离子体)过程，在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术，物理气相沉积的主要方法有，真空蒸镀、溅射镀膜、电弧等离子体镀、离子镀膜，及分子束外延等，发展到目前，物理气相沉积技术不仅可沉积金属膜、合金膜、还可以沉积化合物、陶瓷、半导体、聚合物膜等。
[0003]现有技术中，一般物理气相沉积设备只能够单单的进行物体表面镀膜，功能单一，目前，物体在镀膜前需要对物体表面进行清洗，去除物体表面杂质和污垢，以便于镀膜能够更好地贴近，在清洁后物体还需转移至真空覆膜机内进行覆膜，转移的过程中容易受污染，导致气相沉积不均匀，降低了覆膜的效果。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种物理气相沉积设备，其将工件的清洁、覆膜一体化，无需在转运浪费时间，也避免工件受污染，导致气相沉积不均匀。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0006]一种物理气相沉积设备，包括壳体，所述壳体的内部自下而上依次开设有真空覆膜室、清洁室、储水室；
[0007]所述真空覆膜室的内侧设置有用于工件转动、升降的调整组件；
[0008]所述真空覆膜室与清洁室之间设置有通孔，所述通孔的内侧开设有收纳槽，所述收纳槽的内部滑动连接有密封板，所述壳体的外部固定安装有用于控制密封板移动的第二电动推杆；
[0009]所述清洁室的内部设置有用于工件清洁的清洁组件；
[0010]所述壳体的上端开设有用于储水室加水的进水口。
[0011]优选地，所述真空覆膜室的左端通过隔板形成用于收集清洁水的回收室，所述真空覆膜室与清洁室之间设置有排水口。
[0012]优选地，所述调整组件包括固定安装在真空覆膜室内底部上的第一电动推杆，所述第一电动推杆的伸缩端固定安装有固定板，所述固定板的上端转动连接有转盘，所述固定板的下端固定安装有用于驱动转盘的驱动电机。
[0013]优选地，所述清洁组件包括固定安装在清洁室内顶部上的水泵，所述水泵的进水端延伸至储水室内，所述清洁室的内顶部固定安装有喷水盘，所述水泵的输出端与喷水盘联通。
[0014]优选地，所述壳体的上端固定安装有风机，所述清洁室的内顶部固定安装有吹风
盘，所述风机通过管道与吹风盘联通。
[0015]优选地，所述吹风盘的出风方向朝向通孔处。
[0016]本技术具备以下有益效果：
[0017]1、通过调整组件的设计，能够调整工件的位置，以便于进行清洁处理，并且能够使得工件转动，能够更好的对工件进行覆膜；
[0018]2、通过真空覆膜室、清洁室、储水室的设计，使得工件的清洁、覆膜一体化，无需在转运浪费时间，也避免工件受污染，导致气相沉积不均匀。
附图说明
[0019]图1为本技术提出的一种物理气相沉积设备的剖面结构示意图；
[0020]图2为本技术提出的一种物理气相沉积设备的正面结构示意图。
[0021]图中：1壳体、2真空覆膜室、3清洁室、4储水室、5隔板、6第一电动推杆、7驱动电机、8固定板、9转盘、10密封板、11第二电动推杆、12吹风盘、13喷水盘、14水泵、15风机、16进水口。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0023]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0024]参照图1
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图2，一种物理气相沉积设备，包括壳体1，壳体1的内部自下而上依次开设有真空覆膜室2、清洁室3、储水室4；
[0025]真空覆膜室2的左端通过隔板5形成用于收集清洁水的回收室，真空覆膜室2与清洁室3之间设置有排水口；
[0026]真空覆膜室2的内侧设置有用于工件转动、升降的调整组件，调整组件包括固定安装在真空覆膜室2内底部上的第一电动推杆6，第一电动推杆6的伸缩端固定安装有固定板8，固定板8的上端转动连接有转盘9，固定板8的下端固定安装有用于驱动转盘9的驱动电机7；
[0027]真空覆膜室2与清洁室3之间设置有通孔，通孔的内侧开设有收纳槽，收纳槽的内部滑动连接有密封板10，壳体1的外部固定安装有用于控制密封板10移动的第二电动推杆11；
[0028]清洁室3的内部设置有用于工件清洁的清洁组件，清洁组件包括固定安装在清洁室3内顶部上的水泵14，水泵14的进水端延伸至储水室4内，清洁室3的内顶部固定安装有喷水盘13，水泵14的输出端与喷水盘13联通，壳体1的上端固定安装有风机15，清洁室3的内顶部固定安装有吹风盘12，风机15通过管道与吹风盘12联通，吹风盘12的出风方向朝向通孔处；
[0029]壳体1的上端开设有用于储水室4加水的进水口16。
[0030]工作原理：
[0031]工作时，首先将工件置于转盘9上，随后第二电动推杆11拉动密封板10收入收纳槽内，打开通孔，此时，第一电动推杆6推动固定板8上移将工件移至清洁室3内，打开水泵14，将储水室4内的水抽出并从喷水盘13喷出，能够对物件进行冲洗处理，冲洗完毕后，打开风机15，风机15产生风力通过管道最后从吹风盘12吹出，能够将工件进行风干处理，以便于后续的覆膜处理，随后第一电动推杆6、第二电动推杆11依次收缩，达到复位的目的，在覆膜时，打开驱动电机7，能够带动转盘9转动，使得工件转动，能够更好的对工件进行覆膜。
[0032]以上，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，根据本技术的技术方案及其技术构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种物理气相沉积设备，包括壳体(1)，其特征在于：所述壳体(1)的内部自下而上依次开设有真空覆膜室(2)、清洁室(3)、储水室(4)；所述真空覆膜室(2)的内侧设置有用于工件转动、升降的调整组件；所述真空覆膜室(2)与清洁室(3)之间设置有通孔，所述通孔的内侧开设有收纳槽，所述收纳槽的内部滑动连接有密封板(10)，所述壳体(1)的外部固定安装有用于控制密封板(10)移动的第二电动推杆(11)；所述清洁室(3)的内部设置有用于工件清洁的清洁组件；所述壳体(1)的上端开设有用于储水室(4)加水的进水口(16)。2.根据权利要求1所述的一种物理气相沉积设备，其特征在于，所述真空覆膜室(2)的左端通过隔板(5)形成用于收集清洁水的回收室，所述真空覆膜室(2)与清洁室(3)之间设置有排水口。3.根据权利要求1所述的一种物理气相沉积设备，其特征在于，所述调整组件包括固定安装在真...

【专利技术属性】
技术研发人员：钟成林，吕琛，王世波，高存旺，
申请(专利权)人：山东华通新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：