一种盒盖及具有其的晶圆盒制造技术

本发明专利技术涉及半导体晶圆存放技术领域，具体涉及一种盒盖及具有其的晶圆盒。所述盒盖具有设于其内部的容纳空间，所述容纳空间内设有锁舌、驱动件、上导向壁、下导向壁，锁舌为一体式设计；锁舌两侧设有第一引导壁和第二引导壁，上导向壁、下导向壁与第一引导壁、第二引导壁相对应，使得锁舌在伸缩的整个运动过程中均受到导向壁的导向，避免了在左右方向上大幅度的晃动；且锁舌在缩回状态下，两侧引导壁的最高点不低于上导向壁的最低点，使得锁舌在整个运动过程中均不会脱离上导向壁，保证锁舌伸缩动作的顺畅。作的顺畅。作的顺畅。

【技术实现步骤摘要】
一种盒盖及具有其的晶圆盒


[0001]本专利技术涉及半导体晶圆存放
，具体涉及一种盒盖及具有其的晶圆盒。

技术介绍

[0002]晶圆盒是半导体制程中被使用来保护、运送、并储存晶圆的一种容器，晶圆盒由盒体和盒盖构成，盒体用于容纳晶圆片，对于前开式的晶圆盒来说，其盒体的前部设有开口，盒盖用于开闭该开口。其中，盒盖内部设有可伸缩的锁舌，盒体的对应位置处设有与锁舌相配合的锁止槽。
[0003]现有技术中，锁舌一般都是沿一个倾斜角度伸出盒盖从而将盒盖与盒体锁定，为了实现倾斜伸出，将锁舌分为相铰接的两部分，即锁舌包括伸缩部和锁止部，伸缩部在驱动件的驱动下实现伸缩，锁止部铰接于伸缩部的前端，在倾斜导向面的导向下倾斜伸出。
[0004]然而，伸缩部和锁止部采用铰接的方式进行连接，在运动的过程中难免会摩擦产生出细小颗粒，如此将会污染晶圆片。

技术实现思路

[0005]因此，本专利技术着眼于现有技术中的上述问题，从而提供一种盒盖及具有其的晶圆盒。
[0006]本专利技术采用的技术方案如下：一种盒盖，所述盒盖具有设于其内部的容纳空间，所述容纳空间内设有：锁舌，所述锁舌为一体式设计，所述锁舌沿其横向方向具有第一侧和第二侧，所述锁舌在其第一侧具有第一引导壁，在其第二侧具有第二引导壁，所述第一引导壁和所述第二引导壁沿所述锁舌的纵向延伸；驱动件，适于驱动所述锁舌沿所述锁舌的纵向方向上伸出或缩回于所述盒盖，使得所述锁舌具有位于极限缩回位置的缩回状态，以及位于极限伸出位置的伸出状态；并且，所述锁舌在所述伸出状态下，其相对于所述缩回状态倾斜向上；上导向壁，位于所述容纳空间的上部并沿纵向延伸；所述上导向壁包括对应于所述第一引导壁的第一上导向壁，以及对应于所述第二引导壁的第二上导向壁；下导向壁，位于所述容纳空间的下部并沿纵向延伸；所述下导向壁包括对应于所述第一引导壁的第一下导向壁，以及对应于所述第二引导壁的第二下导向壁；其中，在所述缩回状态下，所述第一引导壁的最高点不低于所述第一上导向壁的最低点，所述第二引导壁的最高点不低于所述第二上导向壁的最低点。
[0007]可选择地，在所述伸出状态下，所述第一引导壁的最低点不高于所述第一下导向壁的最高点，所述第二引导壁的最低点不高于所述第二下导向壁的最高点。
[0008]可选择地，所述第一上导向壁的至少一部分壁面相比于所述第一下导向壁更靠近于所述第一引导壁，所述第二上导向壁的至少一部分壁面相比于所述第二下导向壁更靠近于所述第二引导壁。
[0009]可选择地，所述锁舌还具有舌板，所述舌板沿其纵向依次包括锁止部、本体部和连接部，所述锁止部能够伸出于所述盒盖，所述连接部适于与所述驱动件连接，所述本体部的第一侧设有所述第一引导壁，所述本体部的第二侧设有所述第二引导壁；所述第一引导壁和所述第二引导壁以凸出于所述舌板的最高平面的方式向上延伸。
[0010]可选择地，所述驱动件包括转盘，所述转盘上设有弧形槽孔，所述连接部设有垂直于所述连接部向上的引导销，所述弧形槽孔的宽度与所述引导销的直径相适配，所述引导销能够从所述转盘的下方插入到所述弧形槽孔中并沿着所述弧形槽孔移动，从而带动所述锁舌伸缩。
[0011]可选择地，所述锁舌自其所述第一侧朝向其横向中线形成第一切面，自其所述第二侧朝向其横向中线形成第二切面，所述连接部分别与所述第一切面和所述第二切面相交，所述连接部的宽度小于所述本体部的宽度，从而使得所述锁舌在所述连接部与所述第一引导壁所在平面之间、以及所述连接部与所述第二引导壁所在平面之间分别形成避让缺槽；在转动所述转盘，带动所述锁舌伸出和缩回的过程中，所述锁舌不对所述转盘的转动产生干涉。
[0012]可选择地，所述连接部位于所述锁舌的横向中部，所述第一切面和所述第二切面相对于所述锁舌的横向中线对称分布，所述第一切面和所述第二切面为相同角度的斜切面，所述第一切面相对于所述第一引导壁、所述第二切面相对于所述第二引导壁的斜切角度为8
°‑
20
°
。
[0013]可选择地，所述连接部的宽度占所述锁舌的整体宽度的25%
‑
35%，所述锁舌在所述伸出状态下，其相对于所述缩回状态倾斜向上的角度为8
°‑
15
°
。
[0014]可选择地，所述盒盖包括第一盖体和第二盖体，所述第一盖体覆盖于所述第二盖体的上方，所述第一盖体和所述第二盖体之间形成所述容纳空间，所述上导向壁自所述第一盖体的顶壁向下延伸，所述下导向壁自所述第二盖体的底壁向上延伸。
[0015]本专利技术还提供一种晶圆盒，包括盒体以及前述的盒盖，所述盒体上设有与所述锁舌相配合的锁止槽。
[0016]本专利技术的技术方案，具有如下优点：本专利技术提供的盒盖，直接将锁舌设计为一体式，锁舌可在驱动件的驱动之下整体直进直出，相较于分体铰接而成的锁舌来说，一体式的锁舌无连接件相连接，避免了多个分体相对运动以及铰接件运动所引起的颗粒污染。
[0017]由于一体式的锁舌长度较长，在运动过程中左右晃动的程度较大，本专利技术提供的盒盖，其内部设置了上导向壁和下导向壁，锁舌在其两侧也设置了相对应的引导壁，使得锁舌在伸缩的整个运动过程中均受到导向壁的导向，避免了在左右方向上大幅度的晃动。
[0018]本专利技术提供的盒盖，对锁舌的两侧引导壁的高度进行了优化，在缩回状态下，两侧引导壁的最高点不低于上导向壁的最低点，也就是说，锁舌在最低位置的状态下，其两侧的引导壁仍然能够接触到上导向壁，如此便使得锁舌在整个运动过程中均不会脱离上导向壁，上导向壁不会对锁舌的伸缩造成干涉，避免出现锁舌在缩回状态下脱离上导向壁，进而在伸出过程中与上导向壁重新配合的瞬间发生卡顿，甚至会阻碍锁舌正常倾斜伸出的情况，保证锁舌伸缩动作的顺畅。
[0019]并且，锁舌在伸出状态下，两侧引导壁的最低点不高于上导向壁的最高点，也就是
说，锁舌在最高位置的状态下，其两侧的引导壁仍然能够接触到下导向壁，如此便使得锁舌在整个运动过程中均不会脱离下导向壁，下导向壁不会对锁舌的伸缩造成干涉，避免出现锁舌在伸出状态下脱离下导向壁，进而在缩回过程中与下导向壁重新配合的瞬间发生卡顿，甚至会阻碍锁舌正常回缩的情况，保证锁舌伸缩动作的顺畅。
[0020]本专利技术提供的盒盖，第一上导向壁的至少一部分壁面相比于第一下导向壁更靠近于第一引导壁，第二上导向壁的至少一部分壁面相比于第二下导向壁更靠近于第二引导壁，也就是说，下导向壁相较于上导向壁更加远离锁舌的两侧，也能够保证下导向壁不会对锁舌的伸缩造成干涉，保证锁舌伸缩动作的顺畅。
[0021]本专利技术提供的盒盖，其在锁舌的连接部两侧相对于锁舌的本体部形成避让缺槽，由于锁舌的一体式设计，其在倾斜伸出和倾斜回缩的过程中，锁舌整体都是处于倾斜状态，转盘在带动锁舌运动时与锁舌的连接部相接触，避让缺槽的设置避免了锁舌两侧较高的引导壁对转盘的转动产生干涉。
附图说明
[0022]为了更清楚地说明本专利技术具体实施方式或现有技术中的技术方案本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种盒盖，其特征在于，所述盒盖具有设于其内部的容纳空间，所述容纳空间内设有：锁舌，所述锁舌为一体式设计，所述锁舌沿其横向方向具有第一侧和第二侧，所述锁舌在其第一侧具有第一引导壁，在其第二侧具有第二引导壁，所述第一引导壁和所述第二引导壁沿所述锁舌的纵向延伸；驱动件，适于驱动所述锁舌沿所述锁舌的纵向方向上伸出或缩回于所述盒盖，使得所述锁舌具有位于极限缩回位置的缩回状态，以及位于极限伸出位置的伸出状态；并且，所述锁舌在所述伸出状态下，其相对于所述缩回状态倾斜向上；上导向壁，位于所述容纳空间的上部并沿纵向延伸；所述上导向壁包括对应于所述第一引导壁的第一上导向壁，以及对应于所述第二引导壁的第二上导向壁；下导向壁，位于所述容纳空间的下部并沿纵向延伸；所述下导向壁包括对应于所述第一引导壁的第一下导向壁，以及对应于所述第二引导壁的第二下导向壁；其中，在所述缩回状态下，所述第一引导壁的最高点不低于所述第一上导向壁的最低点，所述第二引导壁的最高点不低于所述第二上导向壁的最低点。2.根据权利要求1所述的盒盖，其特征在于，在所述伸出状态下，所述第一引导壁的最低点不高于所述第一下导向壁的最高点，所述第二引导壁的最低点不高于所述第二下导向壁的最高点。3.根据权利要求1或2所述的盒盖，其特征在于，所述第一上导向壁的至少一部分壁面相比于所述第一下导向壁更靠近于所述第一引导壁，所述第二上导向壁的至少一部分壁面相比于所述第二下导向壁更靠近于所述第二引导壁。4.根据权利要求3所述的盒盖，其特征在于，所述锁舌还具有舌板，所述舌板沿其纵向依次包括锁止部、本体部和连接部，所述锁止部能够伸出于所述盒盖，所述连接部适于与所述驱动件连接，所述本体部的第一侧设有所述第一引导壁，所述本体部的第二侧设有所述第二引导壁；所述第一引导壁和所述第二引导壁以凸出于所述舌板的最高平面的方式向上延伸。5.根据权利要求4所述的盒盖，其特征在于，所述驱动件包括转盘，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：王征，
申请(专利权)人：芯岛新材料浙江有限公司，
类型：发明
国别省市：