石英舟和扩散炉制造技术

本申请涉及一种石英舟和扩散炉。石英舟包括舟托和多个连接于舟托的舟体。舟体包括机架、舟耳以及设置于机架上的多个用于支撑硅片的支撑部。由于舟耳是连接在舟托上的，因此舟耳与支撑部的间距决定了硅片在舟托上的分布位置。对于两个相邻的舟体来说，由于舟耳和某一支撑部之间的第二间距不同，且相邻舟体的第二间距的差值不是相邻支撑部之间的第一间距的整数倍，即相邻的舟体上的硅片不会处于同一高度，使得相邻舟体上承载的硅片在舟托上能够依次错开。因此前一个硅片对炉体内的气流有一定的阻挡作用，使得气体流动至下一个硅片表面的流动阻力增加，从而延长反应时间，使得气体在硅片表面的反应更为充分，获得更好的扩散效果。果。果。

【技术实现步骤摘要】
石英舟和扩散炉


[0001]本申请涉及石英舟
，特别是涉及石英舟和扩散炉。

技术介绍

[0002]在现有的太阳能光伏晶体硅电池生产过程中，扩散制备PN结工艺是晶体硅太阳能电池的生产过程的关键工序之一，它是将P型硅片在扩散后表面变成N型，从而形成P
‑
N结，硅片由此才具有光伏效应。扩散工艺需要使用石英舟，通常，需要将硅片放置在石英舟上，然后再将装有硅片的石英舟放置在碳化桨上，送入扩散炉内进行集中扩散。
[0003]相关技术中，扩散炉内的气体在硅片之间的流动性较强，使得硅片与气体之间的接触时间较短，影响硅片与气流之间的充分反应，进而影响硅片PN结电性能。

技术实现思路

[0004]基于此，有必要针对现有的硅片在扩散工艺中形成的PN结电性能不佳的问题，提供一种石英舟。
[0005]一种石英舟，包括：
[0006]舟托；
[0007]多个舟体，多个所述舟体沿第一方向布置；每一所述舟体均包括机架以及连接于所述机架的舟耳，所述舟耳用于与所述舟托连接；每一所述舟体的所述机架上均设置有多个沿第二方向间隔均布的支撑部，所述支撑部用于支撑硅片；沿所述第二方向，每一所述舟体中，相邻的所述支撑部具有第一间距；所述第二方向与所述第一方向垂直；
[0008]每一所述舟体中，以多个所述支撑部中沿所述第二方向位于端部的一个所述支撑部作为参考标识，所述舟耳均与所述参考标识之间具有第二间距；相邻的所述舟体的第二间距不的差值为所述第一间距的N倍，其中，N不是整数。
[0009]在其中一个实施例中，沿所述第一方向，两两相邻的所述舟体的第二间距的差值成等差数列递增或递减。
[0010]在其中一个实施例中，相邻的所述舟体的第二间距的差值为所述第一间距的一半。
[0011]在其中一个实施例中，所述支撑部包括设置于所述机架上的齿槽，所述齿槽的槽壁用于支撑所述硅片。
[0012]在其中一个实施例中，所述支撑部还包括可拆卸连接于所述齿槽的槽壁的支撑板；所述支撑板相对所述机架沿所述第一方向伸出，所述支撑板用于支撑所述硅片。
[0013]在其中一个实施例中，所述机架包括第一基板、第二基板以及多个连接于所述第一基板和所述第二基板之间的支撑件；所述支撑部设置于所述支撑件上。
[0014]在其中一个实施例中，所述舟体还包括连接于所述第一基板和所述第二基板之间的限位件；所述限位件与所述支撑件间隔布置，所述限位件用于与所述硅片抵接并限位。
[0015]在其中一个实施例中，所述第一基板和所述第二基板上分别设置有第一调节槽和
第二调节槽，所述第一调节槽和所述第二调节槽的位置对应；
[0016]所述支撑件能够可拆卸连接于所述第一调节槽和所述第二调节槽的任意位置。
[0017]在其中一个实施例中，每一所述舟体上，两个所述支撑件之间连接有横杆，所述舟耳设置于所述横杆上。
[0018]在其中一个实施例中，所述第一基板和所述第二基板中的至少一者构造有通风孔；所述第一基板、所述第二基板以及多个所述支撑件之间围成的腔室与所述通风孔连通。
[0019]一种扩散炉，所述扩散炉内安装有如上所述的石英舟。
[0020]上述石英舟，包括舟托和多个连接于舟托的舟体。舟体包括机架以及舟耳，机架上设置有多个用于支撑硅片的支撑部。由于舟耳是连接在舟托上的，因此舟耳与支撑部的间距决定了硅片在舟托上的分布位置。对于两个相邻的舟体来说，由于舟耳和某一支撑部之间的第二间距不同，且相邻舟体的第二间距的差值不是相邻支撑部之间的第一间距的整数倍，即相邻的舟体上的硅片不会处于同一高度，使得相邻舟体上承载的硅片在舟托上能够依次错开。因此前一个硅片对炉体内的气流有一定的阻挡作用，使得气体流动至下一个硅片表面的流动阻力增加，从而延长反应时间，使得气体在硅片表面的反应更为充分，获得更好的扩散效果。
附图说明
[0021]图1为本申请一实施例提供的的石英舟中的多个舟体的布置示意图。
[0022]图2为图1所示的石英舟中的舟体的立体示意图。
[0023]图3为图2所示的石英舟中的舟体在另一视角的示意图。
[0024]附图标号：10、石英舟；200、舟体；210、第一基板；220、第二基板；221、通风孔；230、支撑件；240、支撑部；241、支撑板；250、舟耳；260、横杆；270、限位件。
具体实施方式
[0025]为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本申请的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请。但是本申请能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本申请内涵的情况下做类似改进，因此本申请不受下面公开的具体实施例的限制。
[0026]在本申请的描述中，需要理解的是，若有出现这些术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等，这些术语指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。
[0027]此外，若有出现这些术语“第一”、“第二”，这些术语仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本申请的描述中，若有出现术语“多个”，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
[0028]在本申请中，除非另有明确的规定和限定，若有出现术语“安装”、“相连”、“连接”、
“
固定”等，这些术语应做广义理解。例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
[0029]在本申请中，除非另有明确的规定和限定，若有出现第一特征在第二特征“上”或“下”等类似的描述，其含义可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0030]需要说明的是，若元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。若一个元件被认为是“本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石英舟，其特征在于，所述石英舟包括：舟托；多个舟体(200)，多个所述舟体(200)沿第一方向布置；每一所述舟体(200)均包括机架以及连接于所述机架的舟耳(250)，所述舟耳(250)用于与所述舟托连接；每一所述舟体(200)的所述机架上均设置有多个沿第二方向间隔均布的支撑部(240)，所述支撑部(240)用于支撑硅片；沿所述第二方向，每一所述舟体(200)中，相邻的所述支撑部(240)具有第一间距；所述第二方向与所述第一方向垂直；每一所述舟体(200)中，以多个所述支撑部(240)中沿所述第二方向位于端部的一个所述支撑部作为参考标识，所述舟耳(250)均与所述参考标识之间具有第二间距；相邻的所述舟体(200)的第二间距的差值为所述第一间距的N倍，其中，N不是整数。2.根据权利要求1所述的石英舟，其特征在于，沿所述第一方向，两两相邻的所述舟体(200)的第二间距的差值成等差数列递增或递减。3.根据权利要求1所述的石英舟，其特征在于，相邻的所述舟体(200)的第二间距的差值为所述第一间距的一半。4.根据权利要求1所述的石英舟，其特征在于，所述支撑部(240)包括设置于所述机架上的齿槽，所述齿槽的槽壁用于支撑所述硅片。5.根据权利要求4所述的石英舟，其特征在于，所述支撑部(240)还包括可拆卸连接于所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘成法，赵瑞，吴晓鹏，张雅倩，张帅，陆玉刚，
申请(专利权)人：天合光能宿迁光电有限公司，
类型：新型
国别省市：