一种测试方法及测试装置制造方法及图纸

本公开实施例提供了一种测试方法，用于测试被测芯片，被测芯片包括至少一个外部管脚和至少一个内部管脚，外部管脚为被引出连接至测试探针的数据管脚，内部管脚为未被引出连接至测试探针的数据管脚，该方法包括：确定测试管脚；测试管脚为不存在缺陷的外部管脚，测试管脚与N个内部管脚连接，N为大于0的整数；通过测试管脚向N个内部管脚中写入预设数据序列；对N个内部管脚进行数据读取，确定目标数据序列；根据预设数据序列和目标数据序列，确定测试结果。这样，可以实现在测试探针的资源有限的情况下，准确定位出发生缺陷的内部管脚，从而给工程分析提供了更加便利和精准的数据。工程分析提供了更加便利和精准的数据。工程分析提供了更加便利和精准的数据。

【技术实现步骤摘要】
一种测试方法及测试装置


[0001]本公开涉及半导体
，尤其涉及一种测试方法及测试装置。

技术介绍

[0002]相关技术中，由于探针卡(Probe Card)的资源有限，通常将位于同一通道(Channel)中的内部管脚(Pin)通过一个外部管脚引出并进行测试，此时，虽然可以确定当前通道中的内部管脚存在缺陷，但无法准确定位是哪一个内部管脚存在缺陷，从而给工程分析增加了不便。

技术实现思路

[0003]本公开实施例提供了一种测试方法及测试装置。
[0004]第一方面，本公开实施例提供了一种测试方法，用于测试被测芯片，所述被测芯片包括至少一个外部管脚和至少一个内部管脚，所述外部管脚为被引出连接至测试探针的数据管脚，所述内部管脚为未被引出连接至所述测试探针的数据管脚，所述方法包括：
[0005]确定测试管脚；所述测试管脚为不存在缺陷的所述外部管脚，所述测试管脚与N个内部管脚连接，N为大于0的整数；
[0006]通过所述测试管脚向所述N个内部管脚中写入预设数据序列；
[0007]对所述N个内部管脚进行本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种测试方法，其特征在于，用于测试被测芯片，所述被测芯片包括至少一个外部管脚和至少一个内部管脚，所述外部管脚为被引出连接至测试探针的数据管脚，所述内部管脚为未被引出连接至所述测试探针的数据管脚，所述方法包括：确定测试管脚；所述测试管脚为不存在缺陷的所述外部管脚，所述测试管脚与N个内部管脚连接，N为大于0的整数；通过所述测试管脚向所述N个内部管脚中写入预设数据序列；对所述N个内部管脚进行数据读取，确定目标数据序列；根据所述预设数据序列和所述目标数据序列，确定测试结果。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述确定测试管脚，包括：通过所述测试探针分别对每一所述外部管脚进行缺陷测试，确定每一所述外部管脚是否存在缺陷；将不存在缺陷的所述外部管脚确定为所述测试管脚。3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述被测芯片内包括可测试性电路，所述预设数据序列包括N个预设数据；所述通过所述测试管脚向所述N个内部管脚中写入预设数据序列，包括：通过可测试性电路将所述N个内部管脚与所述测试管脚连接；按照预设顺序依次向所述测试管脚输入所述N个预设数据，并通过所述可测试性电路将所述N个预设数据分别对应写入所述N个内部管脚。4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述被测芯片还包括至少一个地址管脚和译码电路，所述地址管脚为被引出连接至测试探针的数据管脚；所述按照预设顺序依次向所述测试管脚输入所述N个预设数据，并通过所述可测试性电路将所述N个预设数据分别对应写入所述N个内部管脚，包括：按照所述预设顺序向所述至少一个地址管脚依次输入N个地址信号，并传输至所述译码电路；以及按照所述预设顺序依次向所述测试管脚输入所述N个预设数据；通过所述译码电路对所述地址信号进行译码处理，依次确定N个目标地址；所述N个目标地址用于对应定位所述N个内部管脚；在根据第i个所述目标地址定位出第i个所述内部管脚时，通过所述可测试性电路将第i个所述预设数据写入第i个所述内部管脚；i为大于0且小于或者等于N的整数。5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：向所述可测试性电路发送使能信号，以使得所述可测试性电路将所述预...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱智惟，陈宏宗，
申请(专利权)人：长鑫科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：