一种超宽幅高分辨率卷对卷生产在线光学量测系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种超宽幅高分辨率卷对卷生产在线光学量测系统，包括量测机械主体、服务器柜与电气柜，其中量测机械主体与服务器柜、电气柜电连接，电气柜用于提供量测机械主体与服务器柜的供电分流以及自动化控制，量测机械主体用于将卷带料输送、并通过工业相机对卷带料表面状态拍摄，基于服务器柜内置的算法服务器进行AI识别运算；量测机械主体包括机架、上表面相机模组、下表面相机模组与输送辊，其中机架具有下架体、上架体，其中下架体包括两组侧框架以及通过螺栓锁固连接于两组之间侧框架的连接横梁。本实用新型专利技术能实现线扫场景下小视野多相机排布，保证相机之间视野存在小范围的重叠，以覆盖全部设计视野，实现宽幅覆盖和高精度量测。覆盖和高精度量测。覆盖和高精度量测。

【技术实现步骤摘要】
一种超宽幅高分辨率卷对卷生产在线光学量测系统


[0001]本技术涉及柔性线路板、柔性显示、柔性掩膜板生产领域，具体为一种超宽幅高分辨率卷对卷生产在线光学量测系统。

技术介绍

[0002]柔性电路板、柔性显示屏以及柔性金属掩膜的大宽幅(大于100mm)卷对卷生产，有利于生效效率的提高。但也带来工艺过程及最终产品良率低的难题。光学量测作为良率控制的有效手段，已经在微纳制造领域广泛应用。针对超大宽幅的柔性卷对卷生产，单个光学量测传感器的视野范围不能覆盖完整宽幅。本技术创造提出了一种特殊的阵列式排布方法来覆盖完整宽幅。随着微电子集成度增加，柔性微电子产品的精细度(小于50um)也在提升，对量测传感器的精度、以及传感器提出了更高的要求。采用传感器阵列时，高精度量测对象，对传感器阵列的相对精度也提出了很高的要求。
[0003]通常的线扫相机检测场景下，相机镜头往往为小倍率工作状态，通常工作视野远大于相机本身尺寸。但在大宽幅柔性卷对卷生产检测项目中，需要同时满足大倍率大视野的拍摄需求，从而导致产品需要排布多个相机，且相机拍摄视野较小。经计算单相机拍摄本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种超宽幅高分辨率卷对卷生产在线光学量测系统，其特征在于，包括量测机械主体、服务器柜(1)与电气柜(2)，其中量测机械主体与服务器柜(1)、电气柜(2)电连接，电气柜(2)用于提供量测机械主体与服务器柜(1)的供电分流以及自动化控制，量测机械主体用于将卷带料输送、并通过工业相机对卷带料表面状态拍摄，基于服务器柜(1)内置的算法服务器进行AI识别运算；所述量测机械主体包括机架(3)、上表面相机模组、下表面相机模组(14)与输送辊(4)，其中所述机架(3)具有下架体(5)、上架体(6)，其中下架体(5)包括两组侧框架以及通过螺栓锁固连接于两组之间侧框架的连接横梁，下架体(5)上安装有多个输送辊(4)，上架体(6)焊连于下架体(5)上端，上架体(6)顶侧安装电气柜(2)。2.根据权利要求1所述的一种超宽幅高分辨率卷对卷生产在线光学量测系统，其特征在于：所述上表面相机模组安装在上架体(6)下侧，上表面相机模组包括A相机模组、B相机模组，其中A相机模组、B相机模组结构一致且其呈交错排布于输送辊(4)两侧，A相机模组、B相机模组均具有单体自由度调整模块、相机(7)、镜头以及整体自由度调整模块组成，其中单体自由度调整模块具有单体绕Z轴调节单元(8)、单体Y向调节单元(9)、单体X向调节单元(10)与单体绕Y俯仰角单元(11)，相机(7)、镜头安装在单体自由度调整模块底侧，相机(7)、镜头可通过单体自由度调整模块实现绕Z轴旋转、沿Y方向平移、沿X方向平移、绕Y俯仰角；所述单体绕Z轴调节单元(8)包括上调节支架(81)、下调节支架(82)，其中上调节支架(81)上端两侧均设有圆形腰孔，上调节支架(81)下端两侧设有调节插槽(83)；所述下调节支架(82)设于上调节支架(81)正下方且其上端设于上调节支架(81)内侧，下调节支架(82)两侧设有伸进调节插槽(83)内的插块(84)，上调节支架(81)侧端设有顶丝安装孔，该顶丝安装孔处装有胶头顶丝(85)；所述下调节支架(82)包括支架体A(821)、支架体B(822)，单体Y向调节单元(9)具有顶块(91)与第一胶头调位顶丝(92)，其中支架体A(821)上端设有圆形腰孔，支架体B(822)设于支架体A(821)正下方且其相近面贴合，支架体B(822)上设有与圆形腰孔配合的定位销钉，支架体A(821)、支架体B(822)侧端中部设有顶块(91)，该顶块(91)两侧设置有螺纹孔，该螺纹孔内设有第一胶头调位顶丝(92)，并通过第一胶头调位顶丝(92)进行Y向的位置调整；所述单体X向调节单元(10)安装在上调节支架(81)上端，单体X向调节单元(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，
申请(专利权)人：上海点莘技术有限公司，
类型：新型
国别省市：