一种抛光装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及半导体抛光技术领域，且公开了一种抛光装置，包括工作板和玻璃挡板，工作板左右两侧均固定连接有连接机构，连接板内部固定连接有抛光机构；抛光机构包括移动组件和夹持组件，夹持组件设置于移动组件底部，移动组件包括第一T型槽，第一T型槽开设于左右两个连接板相靠近一侧，第一T型槽内部滑动连接有第一T型块，第一T型块另一侧固定连接有连接块，连接块顶部固定连接有第一电机，第一电机底部固定连接有螺纹杆。该抛光装置，通过设置抛光机构，在抛光机构运行下，能在对半导体物料进行表面抛光时，能将半导体物料进行位置限位，这时能方便后期进行抛光，同时也能在对其抛光时可由电力带动，降低由人为进行手持操作。作。作。

【技术实现步骤摘要】
一种抛光装置


[0001]本技术涉及半导体抛光
，具体为一种抛光装置。

技术介绍

[0002]半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，且常见材料包含有硅、锗、砷化镓，硅是各种半导体材料应用中最具有影响力的一种，在半导体的加工中，需要将硅片进行抛光后才能使用，而抛光机就是进行硅片抛光。
[0003]如专利号为CN217371853U的一种半导体加工用抛光装置，包括底板，所述底板的顶部固定连接有操作箱，所述操作箱内腔两侧的顶部滑动连接有连接板，所述连接板顶部的两侧均固定连接有电动推杆，所述电动推杆的底部与连接板固定连接，所述连接板的顶部固定连接有第一电机，所述第一电机的输出端贯穿连接板并固定连接有抛光盘。
[0004]针对上述描述内容，申请人认为存在以下问题：
[0005]上述技术在使用过程中，该技术方案中只是针对将半导体物料进行抛光时对其进行翻转，但是在进行抛光过程中会产生大量的硅粉，而这些硅粉在抛光机的作用下会抛散在空气中，并且会被工作人员吸入到身体里，长时间的吸入硅尘会导致人体患上尘肺病，严重损害了工作本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种抛光装置，包括工作板(2)和玻璃挡板(4)，其特征在于：所述工作板(2)底部固定连接有支撑板(1)，所述工作板(2)顶部中心处固定连接有放置盒(7)，所述工作板(2)顶部左右两侧均固定连接有连接板(3)，所述工作板(2)左右两侧均固定连接有连接机构(6)，所述连接板(3)内部固定连接有抛光机构(5)；所述抛光机构(5)包括移动组件(51)和夹持组件(52)，所述夹持组件(52)设置于移动组件(51)底部；所述移动组件(51)包括第一T型槽(517)，所述第一T型槽(517)开设于左右两个连接板(3)相靠近一侧，所述第一T型槽(517)内部滑动连接有第一T型块(518)，所述第一T型块(518)另一侧固定连接有连接块(512)，所述连接块(512)顶部固定连接有第一电机(511)，所述第一电机(511)底部固定连接有螺纹杆(513)，所述螺纹杆(513)底部转动连接有长板(515)，左右两个所述连接板(3)相靠近一侧固定连接有限位板(514)，所述限位板(514)内部开设有螺纹孔(516)，所述螺纹杆(513)表面和螺纹孔(516)内部螺纹连接，所述长板(515)顶部中心处固定连接有第二电机(5102)，所述第二电机(5102)底部固定连接有转轴(5101)，所述转轴(5101)底部固定连接有抛光片(5103)。2.根据权利要求1所述的一种抛光装置，其特征在于：所述螺纹杆(513)数量为两个，两个所述螺纹杆(513)表面的螺纹线规格一致且方向相同。3.根据权利要求1所述的一种抛光装置，其特征在于：所述夹持组件(52)包括第三滑槽(528)，所述第三滑槽(528)开设于放置盒(7)内壁前后两侧，所述第三滑槽(528)内部左右两侧均滑动连接有固定板(522)，两个所述固定板(522)相远离一侧均固定连接有第一弹簧(524)，所述第一弹簧(524)另一侧和...

【专利技术属性】
技术研发人员：王解兵，袁争，刘军，
申请(专利权)人：东润万博科技北京有限公司，
类型：新型
国别省市：